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[实用新型]一种夹具传递工装-CN202223590503.8有效
发明人：杨希;胡韵爽;徐马记;贺慧婷 -专利权人：武汉锐晶激光芯片技术有限公司
申请日： 2022-12-27 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： B65D43/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种夹具传递工装，包括主体、底座和盖体，在主体内设置顶部开口的空腔，并在主体的空腔内设置底座，底座上间隔布置有多个用于夹具插设的卡槽，将夹具插设置于底座上的卡槽中，多个卡槽的大小不同，以用于将不同尺寸规格的夹具分别进行精准的放置，然后通过盖体盖设在主体上，盖体封闭空腔的顶部开口，以形成对放置有夹具的空间的保护，有效避免杂质污染夹具表面，伴随主体整体进行传递，夹具可以稳定的插设在卡槽内，并保持夹具之间的相对位置关系稳定，避免摇晃倾倒发生碰撞，保持夹具稳定的精度要求，且主体进行的整体传递有效降低夹具直接掉落的风险，保持夹具安全、洁净的在不同的作业工序之间传递。
一种夹具传递工装

[实用新型]一种晶圆固定工装-CN202223560996.0有效
发明人：王春琴;尚博文;程谦;王虎;胡韵爽;贺慧婷;徐马记 -专利权人：武汉锐晶激光芯片技术有限公司
申请日： 2022-12-30 - 公布日： 2023-06-27 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本实用新型涉及半导体制造技术领域，特别涉及一种晶圆固定工装。本实用新型提供的晶圆固定工装，具有容置槽，晶圆薄片可卡接于容置槽中，当晶圆固定工装放置在自动光学检测设备的载台上时，载台上的负压可吸附住晶圆固定工装，并且在卡接晶圆薄片的过程中，可将晶圆薄片的N面朝向容置槽的底壁，从而实现在不损伤晶圆薄片N面的情况下，将晶圆薄片固定在自动光学检测的载台上进行检测，而无需对晶圆薄片进行贴膜；当检测完毕后，晶圆薄片可直接存放于晶圆固定工装中，无需将晶圆薄片从膜上取下来放置在晶圆薄片盒中，从而省去了重复贴膜、取片的步骤，提高了生产效率，避免了原辅材料浪费。
一种固定工装

[实用新型]一种保护螺丝用螺母-CN202320081374.5有效
发明人：刘德超;逯卓野;彭运虎;王政奥;胡韵爽;徐马记;贺慧婷 -专利权人：武汉锐晶激光芯片技术有限公司
申请日： 2023-01-13 - 公布日： 2023-06-13 - 主分类号： F16B37/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种保护螺丝用螺母，属于镀膜辅助结构技术领域，解决了现有的镀膜设备内衬板上的螺丝容易被镀上金属的技术问题。一种保护螺丝用螺母，包括螺母本体和挡片，螺母本体上设置有内螺纹孔，挡片设置于螺母本体的一端以遮挡内螺纹孔的一端。本申请能够减少了螺母的损耗且提高了拆装螺母的速度。
一种保护螺丝螺母

[实用新型]一种用于冷却MOCVD尾气的冷却装置及处理系统-CN202320081315.8有效
发明人：孙同享;陈恳;赵阳;沈俊龙;贺慧婷;胡韵爽;徐马记 -专利权人：武汉锐晶激光芯片技术有限公司
申请日： 2023-01-13 - 公布日： 2023-05-16 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：本申请公开了一种用于冷却MOCVD尾气的冷却装置及处理系统，解决了现有技术中粉尘经过上方水冷装置时冷却结垢，造成清洗不便，且容易堵塞排气通道的技术问题，其中。其中冷却装置包括冷却筒、水冷管和进气通道，其中水冷管设置于冷却筒内；进气通道设有出气段以及与出气段连通的第一进气段和第二进气段，第一进气段用于MOCVD尾气输入，第二进气段用于吹扫气输入。在冷却MOCVD尾气时，通过吹扫气对进气通道内的对MOCVD尾气进行吹扫，可以减少MOCVD尾气在经过水冷管时冷凝，吹扫气会将MOCVD尾气进行吹扫，而不会单独沉积在水冷管周围堵塞管道，提高了冷却装置的冷却效率。
一种用于冷却 mocvd 尾气装置处理系统

[实用新型]一种用于芯片检测的辅助工装-CN202223529535.7有效
发明人：刘维源;邓思豪;王威;徐马记;贺慧婷;胡韵爽 -专利权人：武汉锐晶激光芯片技术有限公司
申请日： 2022-12-26 - 公布日： 2023-05-16 - 主分类号： G01R1/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于芯片检测的辅助工装，其包括第一主体和第二主体，第一主体内设有第一移槽，第二主体可沿第一移槽的延伸方向移动，第二主体远离第一主体的端面上设有多个用于放置芯片的容置槽，容置槽内设有排气孔，待检测的芯片被预先放置在第二主体的容置槽内，并跟随第二主体一起在第一移槽内移动，取代了采用胶粘的定位方式，避免反复取放导致芯片出现的污染和损伤，且芯片同步第二主体的移动，保持芯片在检测过程中不需要进行二次操作，进一步避免芯片被污染或者操作损坏，第二主体的移动速度可以根据芯片的检测速度进行对应匹配，提高检测效率，提高生产节拍。
一种用于芯片检测辅助工装

[实用新型]一种导流泵-CN202223562048.0有效
发明人：尚博文;李明;王虎;程谦;胡韵爽;贺慧婷;徐马记 -专利权人：武汉锐晶激光芯片技术有限公司
申请日： 2022-12-30 - 公布日： 2023-05-16 - 主分类号： F04B53/14 文献下载
摘要：本实用新型涉及半导体制造技术领域，特别涉及一种导流泵。本实用新型提供的导流泵，将活塞组件向背离吸水口的方向移动时，溶液在负压的作用下，会随着活塞组件的移动进入吸水管内，由于翻盖组件设置在所述吸水腔内，且翻盖组件可自由翻转地设置在所述吸水口上，因此溶液会冲开翻盖组件，并由吸水口进入吸水腔内，当吸水腔内的溶液液面到达排水口的位置后，部分溶液会由排水口排出，此时再将活塞组件朝向吸水口的方向移动，翻盖组件覆盖吸水口，吸水腔内剩下的溶液受到活塞组件的挤压，也由排水口排出，这样一来，通过活塞组件的移动，便可将溶液抽取到吸水腔中，并由排水口排出，从而避免人工倾倒溶液，保障了操作人员的安全。
一种导流

[实用新型]一种光刻板吸附辅助工具-CN202223564390.4有效
发明人：游雨田;郭可满;薛凡;王睿;贺慧婷;胡韵爽;徐马记 -专利权人：武汉锐晶激光芯片技术有限公司
申请日： 2022-12-30 - 公布日： 2023-05-16 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本实用新型涉及光刻板技术领域，特别涉及一种光刻板吸附辅助工具。本实用新型提供的光刻板吸附辅助工具，用于辅助光刻板吸附到光刻板吸附台上，包括主体和操作组件，其中，将第一把手的第二端和第二把手的第二端靠近，使第一把手的第一端和第二把手的第一端远离，以带动抬升件抬升光刻板，直至光刻板与光刻板吸附台贴合，此时再操作真空吸附系统，便可使光刻板吸附在光刻板吸附台上。即本申请提供的一种光刻板吸附辅助工具，无需人手将光刻板按压在光刻板吸附台上，从而一定程度上避免了光刻板在吸附过程中，有掉落的风险、吸附完成后的光刻板角度各异以及容易对光刻板造成污染的技术问题。
一种刻板吸附辅助工具

[实用新型]一种过滤器组件及晶圆片处理装置-CN202320121789.0有效
发明人：王春琴;郭可满;王虎;胡韵爽;徐马记;贺慧婷 -专利权人：武汉锐晶激光芯片技术有限公司
申请日： 2023-01-13 - 公布日： 2023-05-16 - 主分类号： B01D46/10 文献下载
摘要：本申请公开了一种过滤器组件及晶圆片处理装置，解决了现有技术中真空泵过滤器中过滤组件不方便更换，影响使用寿命的技术问题。其中过滤器组件包括第一筒体、第二筒体和过滤件，其中第一筒体设有连通的第一筒腔、用于对接真空装置的第一出口和用于对接研磨设备的第一入口；第二筒体设于第一筒腔内，第二筒体设有连通的第二筒腔、用于对接第一出口的第二出口和用于对接第一筒腔的第二入口；过滤件设于第一筒腔内。在使用真空装置对研磨设备进行抽真空的过程中，气体经第一入口进入至第一筒腔内，经过过滤件的吸附，可以将研磨过程产生的固体小颗粒废渣和水汽进行吸附，使气体得到净化，从而达到保护真空装置、延长真空装置使用寿命的目的。
一种过滤器组件晶圆片处理装置

[实用新型]一种COS盒存放装置-CN202223503715.8有效
发明人：贺慧婷;黄然;王威;南田田;徐马记;胡韵爽 -专利权人：武汉锐晶激光芯片技术有限公司
申请日： 2022-12-27 - 公布日： 2023-05-05 - 主分类号： B65D25/10 文献下载
摘要：本实用新型提出了一种COS盒存放装置，其包括箱体及与所述箱体铰连接的箱盖；所述箱盖与箱体之间折叠设置有多层相互平行的置物板；所述置物板上间隔设置有若干固定装置，所述固定装置包括固定座、安装座及自锁组件；所述固定座水平固定设置在置物板上表面，所述固定座上设置有第一安装区域和第二安装区域；所述安装座水平滑动设置在第一安装区域，用于水平装夹装COS盒；所述自锁组件活动设置在第二安装区域，用于使安装座在固定座锁止或解锁。本实用新型公开的存放装置可以保证COS盒存储固定可靠，取放方便，能够保证COS盒存取过程中安全性。
一种 cos 存放装置

[实用新型]一种晶圆挂式电镀阴极夹具-CN202223555697.8有效
发明人：程谦;郭可满;王虎;徐马记;胡韵爽;贺慧婷 -专利权人：武汉锐晶激光芯片技术有限公司
申请日： 2022-12-29 - 公布日： 2023-05-02 - 主分类号： C25D17/08 文献下载
摘要：本实用新型提出了一种晶圆挂式电镀阴极夹具，其包括底座与环形电极，环形电极设置在底座上，且可盖合至底座的一侧；还包括缓冲部，缓冲部设置在底座与环形电极之间，用于缓冲环形电极盖合至底座上的压力。该晶圆挂式电镀阴极夹具，通过设置缓冲部在环形电极配合底座夹紧晶圆的过程中，缓冲部和底座与环形电极接触，并缓冲底座与环形电极之间的压力，使得晶圆所受压力变化更为平滑，避免压力突变较大导致晶圆产生破损。设置防贴槽，可使底座与晶圆接触面留有间隙，防止底座与晶圆的一面完全贴合，方便晶圆镀膜后，将晶圆从底座上取下，避免晶圆吸附在底座上导致取下困难或对晶圆造成较大磨损。
一种晶圆挂式电镀阴极夹具

[实用新型]一种分子束外延炉盘出样装置-CN202223494032.0有效
发明人：陈晨;陈创;徐马记;王俊;胡韵爽;贺慧婷 -专利权人：武汉锐晶激光芯片技术有限公司
申请日： 2022-12-27 - 公布日： 2023-05-02 - 主分类号： C30B23/02 文献下载
摘要：本实用新型提出了一种分子束外延炉盘出样装置，包括载台与盖板，载台上设置有用于容置炉盘的凹槽；盖板设置在载台上，所述盖板用于盖合至载台上，并遮挡凹槽内的炉盘，所述盖板上设置有若干个让位口，通过所述让位口可卸除炉盘上的螺栓。该分子束外延炉盘出样装置，通过设置载台与盖板，在组装或拆卸炉盘时，由盖板遮挡解理条上的镀膜面，避免拆取或组装过程中机械磨损产生的脏污落到镀膜面，同时，操作过程双手无需直接触碰炉盘，避免了炉盘在高温状态下烫伤作业人员，提高了作业安全性。
一种分子外延炉盘出样装置

[实用新型]晶圆片复合托盘-CN202223483608.3有效
发明人：李永安;胡韵爽;徐马记;贺慧婷 -专利权人：武汉锐晶激光芯片技术有限公司
申请日： 2022-12-26 - 公布日： 2023-04-25 - 主分类号： B65D19/44 文献下载
摘要：本实用新型提出了一种晶圆片复合托盘，其包括托盘本体，还包括若干个承载件，托盘本体的一侧开设有若干个通孔；若干个承载件均为一端开口一端封闭的结构，且各承载件滑动设置在相对应的通孔内；其中，承载件朝着远离开口的一侧延伸，并穿过通孔伸出到托盘本体外，增大承载件外壁与空气的接触面积，通过承载件滑动设置在通孔内，进而在工艺时可将承载件向下移动并从托盘本体内伸出，进而可增大承载件外壁与空气的接触面积，有效提高了散热性能，可防止晶圆片在生产工艺中发生高温变性，影响生产质量，通过在承载件的外臂以及底部开设有的散热孔，可形成空气对流，进而可将晶圆片的热量带走，进一步提高晶圆片的散热效果。
晶圆片复合托盘

[实用新型]一种放置外延片的载物台-CN202223263825.1有效
发明人：胡维;王虎;邱旋;胡韵爽;徐马记 -专利权人：武汉锐晶激光芯片技术有限公司
申请日： 2022-12-06 - 公布日： 2023-04-18 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本申请提供一种放置外延片的载物台，涉及半导体晶圆片测试装载技术领域，包括载物台体和设置在载物台上的外延片固定机构，载物台体的顶端面为用于放置外延片的测试平台，外延片固定机构由若干个真空吸附槽构成，真空吸附槽位于测试平台的顶端面，且真空吸附槽向测试平台底部的方向进行开设，真空吸附槽的底部与外部真空器件进行导通连接，充分利用真空吸附作用将外延片背面吸附牢固，且吸附作用均匀分布，避免外延片某一边翘曲，影响晶面角度测量结果，有效避免了外延片边缘被金属弹片划伤的风险，避免了金属弹片固定样品松紧不一，样品旋转掉落的风险。
一种放置外延载物台

[实用新型]一种制作金属电极用加热平台-CN202320081278.0有效
发明人：逯卓野;刘德超;彭运虎;王政奥;徐马记;胡韵爽;贺慧婷 -专利权人：武汉锐晶激光芯片技术有限公司
申请日： 2023-01-13 - 公布日： 2023-04-18 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种制作金属电极用加热平台，属于电极制作设备技术领域，解决了现有的加热平台上的蓝宝石片容易滑脱的技术问题。加热平台包括：座体、加热板、隔热板和阻挡件，加热板设置于座体顶端；多个隔热板设置于座体的顶面，多个隔热板绕设于加热板的四周，隔热板与加热板的侧壁之间具有间隙；多个阻挡件间隔设于加热板的四周，阻挡件的底端设置于间隙内，阻挡件的顶端高于加热板的顶端。本申请能够有效阻挡蓝宝石片滑脱。
一种制作金属电极加热平台

[实用新型]一种芯片老化测试转运机构-CN202223290842.4有效
发明人：贺慧婷;黄然;南田田;徐马记;胡韵爽 -专利权人：武汉锐晶激光芯片技术有限公司
申请日： 2022-12-08 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： B62B3/02 文献下载
摘要：本实用新型提出了一种芯片老化测试转运机构，所述转运机构包括推车及用于承载芯片的老化夹具；还包括多个储存箱体，所述储存箱体具有开口向上的容纳腔，所述老化夹具设置在所述容纳腔中；所述推车内沿其高度方向上层叠设置与储存箱体数量对应的容置空间，所述储存箱体活动设置在所述容置空间中，所述储存箱体可相对于所述推车进出所述容置空间。本实用新型公开的转运机构，在芯片转运过程中，储存箱体位于容置空间中，使的芯片处于封闭环境中，避免或减少外部环境中的污染物与芯片接触污染，提高芯片老化测试的准确性。
一种芯片老化测试转运机构

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