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- [实用新型]晶舟-CN200920208275.9有效
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胡轶强;苏捷峰
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中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
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2009-08-21
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2010-05-19
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H01L21/673
- 一种晶舟,包括多个均匀排列的晶片放置槽,所述的晶片放置槽根据所在位置的不同,被划分为不同的区域,不同区域的晶片放置槽上设置不同的标记。采用本实施例所述的晶舟,晶片放置槽上的序号突出醒目,晶片放置槽区域分明,大大降低了错误发生的几率,并且方便我们在测试试验的过程中观察晶片的装载,保证特定的晶片被正确的装载到实验仪器中去,提高了测试的准确性和效率;同时,还可以借助深、浅色带分界处的平行分割线,判断晶片的放置是否水平,避免出现斜放晶片的情况。
- 晶舟
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