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- [发明专利]贴膜机-CN201910963927.8在审
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范志平;程彦;胡丽兰
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广东思沃精密机械有限公司
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2019-10-11
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2021-04-13
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B29C63/02
- 本发明适用于自动化贴膜技术领域,提供了一种贴膜机,包括贴膜机构、用于将待贴膜件引导至贴膜机构之对应工位处的送料机构、用于将贴膜后的待贴膜件从贴膜机构中引出的移料机构和用于取放膜卷的搬运机构。与现有技术相比,本发明通过在贴膜机构的两侧分别设置送料机构与移料机构,送料机构可将待贴膜件自动送入贴膜机构中,贴膜机构完成对待贴膜件的自动贴膜操作后,移料机构可将贴膜后的待贴膜件从贴膜机构中自动引出,从而实现待贴膜件的送板、贴膜及出板的自动化操作;通过搬运机构可实现对膜卷的自动上下料操作。因此,该贴膜机无需人工送板、出板及膜卷上下料操作,实现全自动化贴膜作业,省时省力,生产效率高。
- 贴膜机
- [实用新型]贴膜台-CN202021206558.2有效
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程彦;张成宣;胡丽兰;胡龙
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东莞思沃智能装备有限公司
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2020-06-24
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2021-02-12
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B65B33/02
- 本申请公开了一种贴膜台,包括固定机构、滑动安装于固定机构的升降机构,以及安装于固定机构与升降机构之间且用于驱动升降机构相对固定机构滑动的第一升降驱动机构;固定机构包括固定架,以及安装于固定架的固定台,固定台上开设有供升降机构通过的第一让位孔;升降机构包括与第一升降驱动机构的输出端相连的升降架,以及安装于升降架且位于第一让位孔内的贴膜盘。对于某一厚度的晶圆,放置于贴膜台后,第一升降驱动机构带动升降机构上升或下降一定的高度,使得晶圆的上表面与固定台的上表面平齐,进行下一步的贴膜操作。因此,本申请实施例提供的贴膜台,可以适配不同厚度的晶圆。
- 贴膜台
- [实用新型]晶圆贴膜机-CN202021205502.5有效
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程彦;涂升琳;胡丽兰
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东莞思沃智能装备有限公司
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2020-06-24
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2021-01-08
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H01L21/67
- 本申请公开了一种晶圆贴膜机,包括工作台、贴膜台、压膜装置、压膜滑动驱动机构、剥膜装置、剥膜滑动驱动机构、放膜装置、收卷膜装置、送料装置,以及切膜装置。送料装置将晶圆输送至贴膜台上,放膜装置将保护膜输送至压膜台的上方,压膜滑动驱动机构带动压膜装置滑动至贴膜台的上方,压膜压膜装置将保护膜压紧于晶圆的表面,使得保护膜贴附于晶圆上。然后切膜装置动作,对晶圆的边缘处的保护膜进行切割,将未与晶圆粘接的保护膜切出形成废膜,此时废膜任粘接于贴膜台的暴露位置,然后剥膜装置将废膜夹住,剥膜滑动驱动机构带动剥膜装置移动的过程中,将废膜从贴膜台上拉离,剥膜装置解除对废膜的夹紧,收卷膜装置将废膜收卷,完成贴膜。
- 晶圆贴膜机
- [发明专利]晶圆贴膜机-CN202010586737.1在审
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程彦;张成宣;胡丽兰
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东莞思沃智能装备有限公司
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2020-06-24
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2020-10-02
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H01L21/67
- 本申请公开了一种晶圆贴膜机,包括工作台、贴膜台、压膜装置、压膜滑动驱动机构、剥膜装置、剥膜滑动驱动机构、放膜装置、收卷膜装置、送料装置,以及切膜装置。送料装置将晶圆输送至贴膜台上,放膜装置将保护膜输送至压膜台的上方,压膜滑动驱动机构带动压膜装置滑动至贴膜台的上方,压膜压膜装置将保护膜压紧于晶圆的表面,使得保护膜贴附于晶圆上。然后切膜装置动作,对晶圆的边缘处的保护膜进行切割,将未与晶圆粘接的保护膜切出形成废膜,此时废膜任粘接于贴膜台的暴露位置,然后剥膜装置将废膜夹住,剥膜滑动驱动机构带动剥膜装置移动的过程中,将废膜从贴膜台上拉离,剥膜装置解除对废膜的夹紧,收卷膜装置将废膜收卷,完成贴膜。
- 晶圆贴膜机
- [实用新型]贴膜机-CN201921703246.X有效
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范志平;程彦;胡丽兰
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广东思沃精密机械有限公司
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2019-10-11
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2020-09-29
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B29C63/02
- 本实用新型适用于自动化贴膜技术领域,提供了一种贴膜机,包括贴膜机构、用于将待贴膜件引导至贴膜机构之对应工位处的送料机构、用于将贴膜后的待贴膜件从贴膜机构中引出的移料机构和用于取放膜卷的搬运机构。与现有技术相比,本实用新型通过在贴膜机构的两侧分别设置送料机构与移料机构,送料机构可将待贴膜件自动送入贴膜机构中,贴膜机构完成对待贴膜件的自动贴膜操作后,移料机构可将贴膜后的待贴膜件从贴膜机构中自动引出,从而实现待贴膜件的送板、贴膜及出板的自动化操作;通过搬运机构可实现对膜卷的自动上下料操作。因此,该贴膜机无需人工送板、出板及膜卷上下料操作,实现全自动化贴膜作业,省时省力,生产效率高。
- 贴膜机
- [实用新型]搬运机构-CN201921701205.7有效
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范志平;程彦;胡丽兰
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广东思沃精密机械有限公司
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2019-10-11
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2020-09-04
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B65H19/12
- 本实用新型适用于自动化设备技术领域,提供了一种搬运机构,包括机架、用于支撑转轴之两端的取料组件、驱动取料组件沿水平方向移动的水平移动组件和驱动水平移动组件升降的竖直移动组件;取料组件滑动安装于水平移动组件上,水平移动组件滑动安装于竖直移动组件上,竖直移动组件安装于机架上。与现有技术相比,本实用新型通过取料组件可将膜卷的转轴之两端支撑提取,从而实现对膜卷的有效支撑;通过水平移动组件及竖直移动组件可分别驱动取料组件沿水平方向和竖直方向移动,便于将膜卷移动至对应的工位处。因此,该搬运机构可取代人工搬运膜卷的操作,具有膜卷上料效率高,安全系数高,省时省力等优点。
- 搬运机构
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