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[实用新型]一种多晶元减薄工艺处理系统-CN202121523398.9有效
发明人： 耿林茹;高伦 -专利权人：河北光森电子科技有限公司
申请日： 2021-07-06 - 公布日： 2022-01-25 - 主分类号： B24B7/22 文献下载
摘要：本实用新型涉及晶元生产技术领域，尤其是一种多晶元减薄工艺处理系统，包括机架、多轴研磨机器人和研磨工位，机架内固定有调节电机，调节电机的输出端固定有调节环，研磨工位包括第一工件座、第二工件座和第三工件座，第一工件座、第二工件座和第三工件座的外壁均设有限位环，机架、第二工件座和第三工件座的内壁均设有限位槽，第一工件座、第二工件座和第三工件座的底部分别设有第一调节座、第二调节座和第三调节座，本实用新型可适配不同型号尺寸晶元的减薄作业，相比与传统的晶云减薄机，可实现一机多用，调节便捷，工作效率高，适配性强，具有市场前景，适合推广。
一种多晶元减薄工艺处理系统

[实用新型]一种芯片老化测试装置-CN202121550815.9有效
发明人： 耿林茹;李娜 -专利权人：河北光森电子科技有限公司
申请日： 2021-07-08 - 公布日： 2021-12-14 - 主分类号： G01R31/28 文献下载
摘要：本实用新型涉及芯片测试技术领域，尤其是一种芯片老化测试装置,包括芯片检测端子、传送带和旋转气缸，旋转气缸固定在传送带机架一侧，旋转气缸的顶部固定有支架，支架的两端对称固定有两个伸缩气缸，伸缩气缸的输出端固定有夹持气缸，芯片检测端子固定在夹持气缸的底部，夹持气缸设有两个相对位移的输出端，夹持气缸的输出端固定有移动拨块，传送带上等距均分固定设有若干夹持工装,夹持工装上以可拆卸的方式安装内置芯片的芯片载盒，本实用新型自动化程度高，能对测试的芯片进行合格和不合格的有效分类分离，可连续测试，自动卸料，工作效率高，具有市场前景，适合推广。
一种芯片老化测试装置

[实用新型]一种半导体光刻工艺中的晶元匀胶设备-CN201921994384.8有效
发明人： 耿林茹;高向芝 -专利权人：河北光森电子科技有限公司
申请日： 2019-11-15 - 公布日： 2020-06-30 - 主分类号： G03F7/16 文献下载
摘要：本实用新型涉及混合搅拌的技术领域，特别是涉及一种半导体光刻工艺中的晶元匀胶设备，其可以使原料再次进行混合搅拌，提高成品质量，提高实用性；包括第一混合搅拌外壳、支撑架、底座、入口、第一混合搅拌电机、第一减速器、转动轴、混合搅拌桨叶、第一漏管和第一阀门，第一混合搅拌外壳内部设置有内腔，第一混合搅拌外壳的底端设置有支撑架，支撑架的底端设置有底座，入口连通安装在第一混合搅拌外壳上，第一混合搅拌电机安装在第一混合搅拌外壳顶端，第一减速器安装在第一混合搅拌外壳顶端，并且第一混合搅拌电机的输出端与第一减速器的输入端连接，转动轴安装在第一混合搅拌外壳内部，转动轴上设置有混合搅拌桨叶。
一种半导体光刻工艺中的晶元匀胶设备

[实用新型]一种半导体光刻工艺中的晶元匀胶设备-CN201920058630.2有效
发明人： 耿林茹;高向芝 -专利权人：河北光森电子科技有限公司
申请日： 2019-01-14 - 公布日： 2020-04-10 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型涉及晶片光刻技术领域，且公开了一种半导体光刻工艺中的晶元匀胶设备。该半导体光刻工艺中的晶元匀胶设备，包括工作台，所述工作台的上表面包括支撑板、环形槽、固定板、电动推杆、滑槽、滑杆、滑块、定位块、连接杆、连接板、转轴、支撑杆、挡板和进料口，环形槽位于支撑板的表面开设，环形槽的内壁与固定板的内壁滑动连接，固定板的底部与电动推杆的上表面固定连接。该半导体光刻工艺中的晶元匀胶设备，通过定位块将晶片固定在支撑板中心处，支撑板的中心与进料口的中心在同一垂直面内，通过进料口即可将胶滴在晶片中心处，防止在匀胶时，未将胶准确的滴在晶片中心处，容易导致胶无法均匀的分布在晶圆片上的问题。
一种半导体光刻工艺中的晶元匀胶设备

[实用新型]一种半导体传感器芯片检验装置-CN201920058652.9有效
发明人：白晔茹;褚伊娜;耿林茹 -专利权人：河北光森电子科技有限公司
申请日： 2019-01-14 - 公布日： 2019-11-12 - 主分类号： G01R31/28 文献下载
摘要：本实用新型涉及半导体芯片检验技术领域，且公开了一种半导体传感器芯片检验装置。该半导体传感器芯片检验装置，包括底座、机体和空腔，所述机体的底部与底座的顶部固定连接，所述空腔位于机体的内部，所述空腔的内部包括有支撑座、两个侧板、支撑板、芯体和固定机构。该半导体传感器芯片检验装置，通过设置了支撑座、侧板、支撑板和固定机构，使得芯体可以放置在支撑板的顶部，然后通过设置有固定机构，便于对芯体的位置进行固定，使得芯体可以固定在装置的内部，从而使得该装置在使用时达到了便于固定的效果，解决了现有的一些装置在对芯片进行检验时固定起来比较麻烦，影响了装置的工作效率的问题。
半导体传感器芯片检验装置芯体固定机构支撑板空腔支撑座侧板底座半导体芯片本实用新型工作效率固定的检验芯片