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专利名称

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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]工艺平台-CN202310833174.5在审
发明人：李海卫;管长乐;赵文斌;罗功林;范强 -专利权人：北京屹唐半导体科技股份有限公司
申请日： 2023-07-07 - 公布日： 2023-10-10 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本公开提供了一种工艺平台，涉及半导体技术领域，具体包括传输仓、容置仓和多个反应腔室。传输仓内设有第一传输部，第一传输部设有多个抓取机构。容置仓与传输仓连通，容置仓用于装载晶圆。多个反应腔室均与传输仓连通，每个反应腔室中均设有至少一个载片台，载片台的顶面设有可升降地顶针。根据本公开的方案，通过设置多个反应腔室，使工艺平台可以对多个晶圆进行工艺反应，通过设置多个抓取机构，可以提高反应腔室与容置仓之间传输晶圆的效率，使工艺平台可以不间断的进行工艺反应，提高了工艺平台的工艺产能。
工艺平台

[实用新型]传送装置和处理系统-CN202121468265.6有效
发明人：辛孟阳;余飞;罗功林 -专利权人：北京屹唐半导体科技股份有限公司;玛特森技术公司
申请日： 2021-06-30 - 公布日： 2021-12-24 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本公开提供了一种传送装置和处理系统。该传送装置可以包括第一传送组件，用于向腔室传送第一工件；第二传送组件，用于从该腔室传送出第二工件；阻隔组件，设置于该第一传送组件与该第二传送组件之间，用于阻隔该第一工件和该第二工件的能量传递；支撑组件，用于将该阻隔组件限制在该第一传送组件与该第二传送组件之间。本公开实施例通过阻隔组件阻隔第一传送组件之上的工件和第二传送组件之上的工件的能量传递，可以防止或避免第二传送组件之上的工件对第一传送组件之上的工件产生影响，有利于采用可重复的工艺对工件进行处理，提高工件产量。
传送装置处理系统

[发明专利]传送装置和处理系统-CN202110734999.2在审
发明人：辛孟阳;余飞;罗功林 -专利权人：北京屹唐半导体科技股份有限公司;玛特森技术公司
申请日： 2021-06-30 - 公布日： 2021-10-08 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本公开提供了一种传送装置和处理系统。该传送装置可以包括第一传送组件，用于向腔室传送第一工件；第二传送组件，用于从该腔室传送出第二工件；阻隔组件，设置于该第一传送组件与该第二传送组件之间，用于阻隔该第一工件和该第二工件的能量传递；支撑组件，用于将该阻隔组件限制在该第一传送组件与该第二传送组件之间。本公开实施例通过阻隔组件阻隔第一传送组件之上的工件和第二传送组件之上的工件的能量传递，可以防止或避免第二传送组件之上的工件对第一传送组件之上的工件产生影响，有利于采用可重复的工艺对工件进行处理，提高工件产量。
传送装置处理系统

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