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- [实用新型]电互连阵列的测试结构-CN201220560105.9有效
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秦毅恒;明安杰;罗九斌;张昕;谭振新;顾强
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江苏物联网研究发展中心
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2012-10-29
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2013-04-03
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G01R31/02
- 本实用新型提供一种结构简单,能够方便的对每个互连点进行测试的电互连阵列的测试结构。该测试结构包括:带有导电体的两个衬底;衬底之间的垂直电互连阵列;与两个衬底相连的测试电缆和电子系统;带有导电体的两个衬底相向放置,垂直电互连阵列设于一个或两个衬底上,其图形互相匹配或与衬底上的导电体匹配,垂直电互连阵列将两衬底上的导电体连接,两衬底及其带有的导电体均有一部分延伸至另一衬底外侧,延伸至另一衬底外侧的导电体使用测试电缆与电子系统进行连接。该电互连结构可以为导电凸块、焊球或TSV;另外,该结构能够同时评价互连点两侧与衬底连接的质量;通过对测试方法进行优化,可以减少大量测试数据,从而提升测试效率。
- 互连阵列测试结构
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