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[实用新型]一种可加快固化点胶机-CN202221125485.3有效
发明人：秦有贵;辛奇;胡凯;徐峰;杨军;闫乐成;秦宝宏 -专利权人：上海芯立电子科技有限公司
申请日： 2022-05-13 - 公布日： 2022-11-22 - 主分类号： B05C5/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种可加快固化点胶机，涉及到点胶机领域，包括箱体，固定安装有箱体顶部的加热箱与设置在箱体顶部的调节接组件、以及设置在箱体内壁两侧下方的输送组件和控制器，通过输送组件将点胶产品输送到调节接组件的下方，并通过调节接组件带动点胶枪进行多方位调节移动，实现对产品进行点胶工作，再通过输送组件将点胶完成后的产品，输送加热箱到下方，使风扇与加热丝产生的温风吹再点胶产品上，有效对点胶产品进行快速固化，提高点胶固化的工作效率，通过温度传感器感应到加热箱内吹出的温度过高时，将消息传至控制器，控制器控制风扇的转速与加热丝的加热温度，防止温度过高对胶造成伤害，提高了固化点胶的质量。
一种加快固化点胶机

[实用新型]一种涂胶显影机用的传送手臂-CN202221139345.1有效
发明人：秦有贵;辛奇;胡凯;徐峰;杨军;闫乐成;秦宝宏 -专利权人：上海芯立电子科技有限公司
申请日： 2022-05-13 - 公布日： 2022-11-22 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种涂胶显影机用的传送手臂，包括固定基板，所述固定基板底部的表面开设有固定槽，所述固定基板的表面固定连接有Z字形固定板，所述Z字形固定板的表面固定连接有驱动机构，所述驱动机构的输出处固定连接有升降机构，所述升降机构的输出端固定连接有连接板。吸盘表面与硅片进行接触，通过微型抽气泵经管道和存尘管使吸盘对硅片进行吸附，在此通过电动伸缩杆使吸盘进行上升，在通过驱动机构使硅片移动到合适的位置时，关闭微型抽气泵，在伸缩弹簧的作用下，使接触柱经滑块在限位槽内进行向下滑动，从而推出硅片，通过上述的技术方案，对硅片表面进行吸附，增加了吸附面积，从而表面在传送的过程中发生硅片掉落的情况。
一种涂胶显影传送手臂

[实用新型]一种扩散炉管道清洗设备-CN202221120981.X有效
发明人：秦有贵;辛奇;胡凯;徐峰;杨军;闫乐成;秦宝宏 -专利权人：上海芯立电子科技有限公司
申请日： 2022-05-11 - 公布日： 2022-11-22 - 主分类号： F27D25/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种扩散炉管道清洗设备，包括清洗套，所述清洗套外壁固定连接有多个清洗块，所述清洗套内壁设有基管，所述基管内设有限位槽，所述限位槽内壁底部转动连接有转动杆，所述基管周侧嵌有多个安装槽，所述转动杆通过安装槽、限位机构与清洗套内壁固定连接，所述基管一侧固定连接有定位杆，所述限位机构包括与安装槽固定连接的安装箱，所述安装箱内壁固定连接有弹簧，本实用新型中限位机构的设置便于更好的对清洗套进行限位，便于更好的将清洗套带入基管内部，弹簧的设置便于更好的带动清洗套怼向管道，便于更好的对管道进行清洗，限位珠的设置便于更好的减少滑块与安装箱之间的摩擦力。
一种扩散炉管清洗设备

[实用新型]一种扩散炉送料机构-CN202221105805.9有效
发明人：秦有贵;辛奇;胡凯;徐峰;杨军;闫乐成;秦宝宏 -专利权人：上海芯立电子科技有限公司
申请日： 2022-05-11 - 公布日： 2022-09-13 - 主分类号： F27D3/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种扩散炉送料机构，包括固定机架，所述固定机架底部的边角处均安装有移动滑轮，所述固定机架前后两端的顶部分别固定连接有第一手扶架和第二手扶架；所述固定机架是由铝合金材料拼接组合而成，且第一手扶架和第二手扶架在固定机架前后两端的顶部呈对称设计；所述固定机架一端的顶部固定连接有贴合定位机构，所述固定机架顶部的中心安装有支撑导向机构；所述固定机架顶部的中心安装有与支撑导向机构相对应的自动送料机构。本实用新型通过设计外置式的固定机架、贴合定位机构、支撑导向机构以及自动送料机构，可以先完成待加工产品的预备料，并利用自动送料结构完成置料架的自动推送，工作效率大大提高。
一种扩散炉送料机构

[实用新型]一种清洗机喷枪胶管连接卡扣-CN202221105979.5有效
发明人：秦有贵;辛奇;胡凯;徐峰;杨军;闫乐成;秦宝宏 -专利权人：上海芯立电子科技有限公司
申请日： 2022-05-11 - 公布日： 2022-09-13 - 主分类号： B05B15/65 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种清洗机喷枪胶管连接卡扣，包括外接管，所述外接管内壁开设有多个卡槽，所述外接管靠近卡槽的一侧固定连接有多个密封圈，所述外接管外壁贴合有喷料嘴，所述喷料嘴通过滑槽、滑块滑动连接有转动环，所述转动环外壁固定连接有多个防滑块，所述喷料嘴通过限位机构与卡槽贴合，所述限位机构通过连接架与喷料嘴固定连接，所述喷料嘴位于限位机构一侧固定连接有绳盘，本实用新型中限位机构中弹簧的设置便于更好的对外接管进行限位，限位珠的设置便于更好的减少安装箱与滑板之间的摩擦力，滑杆与安装箱的设置便于更好的对外接管进行限位，拉绳的设置便于更好的带动滑杆移动。
一种清洗喷枪胶管连接

[实用新型]一种高压清洗机喷枪枪头快速连接机构-CN202221114404.X有效
发明人：秦有贵;辛奇;胡凯;徐峰;杨军;闫乐成;秦宝宏 -专利权人：上海芯立电子科技有限公司
申请日： 2022-05-11 - 公布日： 2022-09-13 - 主分类号： B05B15/65 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种高压清洗机喷枪枪头快速连接机构，包括与清洗机内壁固定连接的基板，所述基板周侧固定连接有多个固定板，所述基板一侧固定连接有导管，所述基板远离导管的一侧分别开设有T形滑槽、环形滑槽、卡槽与密封槽，所述环形滑槽内壁贴合有转动环，所述转动环底部固定连接有把手，所述基板一侧分别固定连接有定位轮与隔板，所述隔板另一端固定连接有弹簧，所述弹簧一侧固定连接有固定块，所述固定块通过T形滑块与T形滑槽滑动连接，本实用新型中T形滑槽与T形滑块的设置便于更好的对固定块进行竖向限位，便于更好的对喷头进行限位，弹簧的设置便于更好的对固定块进行限位，从而更好的更换喷头。
一种高压清洗喷枪快速连接机构

[实用新型]一种硅晶片甩干机-CN202221120931.1有效
发明人：秦有贵;辛奇;胡凯;徐峰;杨军;闫乐成;秦宝宏 -专利权人：上海芯立电子科技有限公司
申请日： 2022-05-11 - 公布日： 2022-09-13 - 主分类号： F26B5/08 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种硅晶片甩干机，包括底部动力箱，底部动力箱上表面中心位置固定连接有顶部甩干桶，顶部甩干桶内设置有固定支撑框，固定支撑框内壁固定连接有吸水海绵，所述固定支撑框外壁位置贯穿开设有若干均匀分布的排水孔，顶部甩干桶实现对固定支撑框进行支撑，吸水海绵有效的在硅晶片放置框甩水时，将水吸收，避免硅晶片放置框甩出的水飞溅重新粘附在硅晶片上，造成甩水不彻底，排水孔使得甩干的水排入顶部甩干桶内并排出，所述吸水海绵内侧设置有硅晶片放置装置。本实用新型使得硅晶片方便妥善放置，并通过水枪进行冲洗，冲洗后通过本实用新型进行甩干，甩干时效率高，且在甩干时水渍被充分的吸收，避免水渍飞溅造成硅晶片甩干不彻底。
一种晶片甩干机

[实用新型]一种注入机传片报警装置-CN202221120982.4有效
发明人：秦有贵;辛奇;胡凯;徐峰;杨军;闫乐成;秦宝宏 -专利权人：上海芯立电子科技有限公司
申请日： 2022-05-11 - 公布日： 2022-09-13 - 主分类号： G08B3/10 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种注入机传片报警装置，包括箱体外壳，所述箱体外壳的内壁顶部安装有显示架板，所述显示架板的底部安装有显示控制机构，所述箱体外壳的一侧开设有报警输出通口，所述箱体外壳在远离报警输出通口的一侧底部开设有多个线路通口，所述箱体外壳内壁固定连接有与报警输出通口相对应的报警放大器，所述报警放大器在远离报警输出通口的一侧固定连接有蜂鸣器放置盒，所述箱体外壳的中心底部安装有散热机构，所述箱体外壳底部固定连接有底板，所述底板顶部靠近线路通口的一侧安装有多个线路限位通道，多个所述线路限位通道在远离线路通口的一侧固定连接有线路集成固定架。本实用新型通过增加散热机构和排线装置提升了装置的使用寿命。
一种注入机传片报警装置

[实用新型]一种光刻机的取片装置-CN202221120985.8有效
发明人：秦有贵;辛奇;胡凯;徐峰;杨军;闫乐成;秦宝宏 -专利权人：上海芯立电子科技有限公司
申请日： 2022-05-13 - 公布日： 2022-09-13 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种光刻机的取片装置，涉及到光刻机领域，包括基板，其特征在于：所述基板的下侧均布固定安装有三个电机，所述电机的输出端固定安装有第一齿轮，所述基板的上表面固定安装有螺纹套筒，三个所述第一齿轮的周侧啮合有与所述螺纹套筒螺纹配合的第二齿轮，所述第二齿轮的上表面固定安装有滑动块，所述基板的上表面固定安装有固定板。本实用新型通过电机的装设能带动滑动块进行滑动，从而使得三个夹持块能相互靠近，使得该装置能对不同直径的晶圆进行夹紧，则从而使得该装置能对不同直径的晶圆进行夹取，夹持块的装设能对不同厚度的晶圆进行夹紧，则使得该装置能对不同厚度的晶圆进行夹持。
一种光刻装置

[实用新型]一种多工位硅片光刻机-CN202221125625.7有效
发明人：秦有贵;辛奇;胡凯;徐峰;杨军;闫乐成;秦宝宏 -专利权人：上海芯立电子科技有限公司
申请日： 2022-05-13 - 公布日： 2022-09-13 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种多工位硅片光刻机，涉及到光刻机领域，包括固定架，所述固定架的两侧对称固定安装有两个电机，两个所述电机之间固定安装有固定座，所述固定座的周侧均布固定安装有六个气缸，六个所述气缸的周侧固定安装有导向架，所述气缸输出端的周侧固定安装有限位块，所述限位块的一侧滑动配合设置有限位板。本实用新型通过电机的装设可以带动夹持板进行转动，使得被夹持板夹紧的晶圆可以进行自动转动，使得刻蚀机能自动对下一片晶圆进行刻蚀，减少了由于夹取晶圆片造成的时间浪费，气缸的装设可以带动夹持板滑动，使得两个夹持板能够相互靠近，使得该光刻机能对不同直径的晶圆进行夹紧。
一种多工位硅片光刻

[实用新型]一种便于胶液固化的点胶机-CN202221142676.0有效
发明人：秦有贵;辛奇;胡凯;徐峰;杨军;闫乐成;秦宝宏 -专利权人：上海芯立电子科技有限公司
申请日： 2022-05-13 - 公布日： 2022-09-13 - 主分类号： B05C5/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种便于胶液固化的点胶机，涉及到点胶机领域，包括基座、固定安装在所述基座顶部的箱体，所述箱体的内壁顶部分别固定安装有温度检测器与第一电动伸缩杆，所述第一电动伸缩杆的输出端固定安装有第一电机，所述第一电机的输出端固定连接有转盘，所述转盘的底部通过连接杆固定连接有紫外线灯管，所述箱体内壁一侧开设有圆孔；通过第一电动伸缩杆推动紫外线灯管向下移动调节，使紫外线灯管处于点胶模组的上方，同时通过第一电机带动转盘与紫外线灯管进行旋转，实现对点胶产品进行多角度固化处理，提高了胶液受热固化的均匀性，有效增加了胶液的粘黏性，增强了产品的合格质量。
一种便于固化点胶机

[实用新型]一种溅射靶材加热平台-CN202221143506.4有效
发明人：秦有贵;辛奇;胡凯;徐峰;杨军;闫乐成;秦宝宏 -专利权人：上海芯立电子科技有限公司
申请日： 2022-05-13 - 公布日： 2022-09-13 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种溅射靶材加热平台，涉及到靶材领域，包括基板，所述基板的下表面固定安装有气缸，所述气缸的输出端贯穿所述基板固定安装有的电机，所述气缸输出端的两侧对称转动配合设置有两个转动配合设置在所述基板内的夹持架，两个所述夹持架之间转动配合设置有转动盘，所述电机的输出端固定安装有滑动配合设置在转动盘内的转动块。本实用新型通过电机的装设能带动加热条进行转动，使得多个加热条在转动的状态下对靶材进行加热，使得该平台在对靶材进行加热的时候加热更均匀，则进一步提高了该平台加热的均匀性，气缸与电机的装设能带动多个加热条相互远离，使得多个相互远离后的加热条能对不同大小的靶材进行加热。
一种溅射加热平台

[实用新型]一种可改善蚀刻均匀性的PCB板蚀刻机-CN202221143508.3有效
发明人：秦有贵;辛奇;胡凯;徐峰;杨军;闫乐成;秦宝宏 -专利权人：上海芯立电子科技有限公司
申请日： 2022-05-13 - 公布日： 2022-09-13 - 主分类号： H05K3/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种可改善蚀刻均匀性的PCB板蚀刻机，涉及到蚀刻机领域，包括箱体与分别固定安装在所述箱体顶部的支架、混合箱与蚀刻箱，所述蚀刻箱的一侧固定安装有防护箱，所述防护箱的顶部设置有升降组件，所述升降组件的底部固定安装有盖板，通过蚀刻剂箱与水箱用于储放蚀刻剂与水箱，做好前期工作，打开阀门将蚀刻剂箱与水箱内的水与蚀刻剂按比例要求放入混合箱内，启动第一电机带动搅拌杆，将水与蚀刻剂充分混合，第一水泵将混合后的蚀刻液抽到蚀刻箱内，启动加热棒调节适应温度，再启动气泵向蚀刻箱内充入气泡，有效对蚀刻箱内的PCB板进行均匀蚀刻，提高PCB板的蚀刻生产效率。
一种改善蚀刻均匀 pcb

[实用新型]一种晶圆片显影机的定位机构-CN202221144781.8有效
发明人：秦有贵;辛奇;胡凯;徐峰;杨军;闫乐成;秦宝宏 -专利权人：上海芯立电子科技有限公司
申请日： 2022-05-13 - 公布日： 2022-09-13 - 主分类号： G03F7/30 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种晶圆片显影机的定位机构，涉及到显影机领域，包括支撑架、第一操作台和第二操作台，所述支撑架的上表面分别固定连接有若干个支撑柱、水箱和过滤箱，所述支撑柱一侧的表面固定连接有滑动机构，所述连接基块的表面固定连接有移动机构，所述第二操作台的内壁固定连接有夹持机构，所述第一电动伸缩杆的输出端固定连接有真空吸盘。本实用新型结构合理，通过真空吸盘将晶圆片吸附在其表面，再通过电动滑轨、电机和第一电动伸缩杆，充分调整真空吸盘的位置，将晶圆片移动至第二操作台的表面，通过夹持机构可以对不同大小的晶圆片进行夹持，避免在显影过程中晶圆片发生移动，提高了显影机的实用性。
一种晶圆片显影定位机构

[发明专利]一种溅射机用硅片转用装置-CN202210533037.5在审
发明人：秦有贵;辛奇;胡凯;徐峰;杨军;闫乐成;秦宝宏 -专利权人：江苏芯悦电子科技有限公司
申请日： 2022-05-17 - 公布日： 2022-08-12 - 主分类号： B65D61/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种溅射机用硅片转用装置，包括移动底座，所述移动底座顶侧四角均安装有固定柱，每个所述固定柱上均等距离安装有若干个限位板座，所述移动底座顶侧且位于固定柱之间对称安装有中柱，所述中柱上滑动安装有滑座，且滑座底侧对称转动安装有支撑杆，所述支撑杆上放置有承载硅片的承载板；当硅片依次放置于承载板上时，此时将盖罩盖在承载板上，盖罩的齿座经过限位槽位于底壳与限位齿啮合，此时通过第四电机工作带动限位齿旋转，进而调整盖罩在承载板上的位置，保证通过盖罩的橡胶板对承载板上的硅片进行压制限位，实现对不同规格的硅片的限位，避免在转运的过程中，硅片在承载板上出现位移，进而影响后续取料。
一种溅射硅片转用装置

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