专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]微波等离子体处理装置-CN201480048097.1有效
  • 金载浩;神田创 - 独立行政法人产业技术综合研究所
  • 2014-08-29 - 2019-03-22 - H05H1/30
  • 本发明的课题在于提供一种微波激发等离子体处理装置,其即便在中间气压及高气压下也能够产生较高的均匀性与高密度、且低温的宽幅的等离子体射流,该微波等离子体处理装置的特征在于具备:介电质基板;锥形部,设置在所述介电质基板的一端部,且为该介电质基板的厚度慢慢变小的形状;微波传输带线路;接地导体;微波输入部;气体输入口,用以将气体输入至所述介电质基板内;等离子体产生部;气流宽幅化部,用以对所述等离子体产生部供给具有均匀流速的宽幅的气流而设置在所述介电质基板内部,且以随着气流前进而气流宽度变宽的方式形成;气体流路,用以将气体供给至所述气流宽幅化部;以及喷嘴,用以喷出等离子体。
  • 微波等离子体处理装置

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