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[发明专利]一种多阶梯周期光栅结构及其制备方法-CN202310349195.X在审
发明人：石云波;赵锐;祖凯旋;沈富明;张旭;刘豪 -专利权人：中北大学
申请日： 2023-04-04 - 公布日： 2023-06-30 - 主分类号： G02B5/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种多阶梯周期光栅结构及其制备方法，涉及微位移检测技术领域。包括周期性的多阶梯光栅结构，每个周期的多阶梯光栅结构均包括衬底基板与四阶梯光栅结构，四阶梯光栅结构均设于衬底基板上，四阶梯光栅结构按照单周期内从右到左的顺序，分别为第一阶梯光栅结构、第二阶梯光栅结构、第三阶梯光栅结构、第四阶梯光栅结构，为三个不同高度的层结构阵列。本发明通过结构改进实现对零级衍射光的调控削弱，以达到提高检测系统激光器稳定性的效果，通过对应制备方法所制备的多阶梯周期光栅结构具有零级光调控减弱作用，能够实现一定范围的光强调控，同时便于制备和集成，具备较高的衍射效率，能够应用于集成化高精度位移检测领域中。
一种阶梯周期光栅结构及其制备方法

[发明专利]一种力反馈高灵敏MOEMS集成加速度传感器-CN202310422641.5在审
发明人：石云波;刘俊;赵锐;沈富明;栗文凯;祖凯旋;刘豪;张旭 -专利权人：中北大学
申请日： 2023-04-20 - 公布日： 2023-05-23 - 主分类号： G01P15/03 文献下载
摘要：本发明属于传感器技术领域，具体为一种力反馈高灵敏MOEMS集成加速度传感器，解决了其对低刚度、抗横向干扰机械敏感结构和高性能力反馈方式的需求，包括外部壳体、电磁反馈部分、机械敏感结构和光学检测模块，电磁反馈部分包括永磁铁和圆形线圈，机械敏感结构包括质量块和悬臂梁，光学检测模块包括反射薄膜、光栅、玻璃平面、光电探测器、激光器和基底。本发明通过低刚度机械敏感结构与光学检测技术结合，提高了加速度传感器灵敏度，旋转对称放置的悬臂梁减小横向灵敏度，设计的线圈和永磁铁可以提供较大的电磁力，反馈电磁力与输入电流呈线性关系，使质量块维持在原始位置，该传感器稳定性好、抗电磁干扰，可对加速度信号进行高精度检测。
一种反馈灵敏 moems 集成加速度传感器