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[发明专利]尺寸测试结构及方法-CN202210133747.9在审
发明人：刘福海;许文山;王欣;汪锋;石继龙 -专利权人：长江存储科技有限责任公司
申请日： 2022-02-08 - 公布日： 2022-06-21 - 主分类号： H01L23/544 文献下载
摘要：本发明实施例公开了一种尺寸测试结构及方法，其中，所述尺寸测试结构用于测试第一类浅沟槽隔离(STI)结构的尺寸，所述尺寸测试结构包括：位于衬底中的晶体管的源极和漏极；位于所述晶体管的源极及漏极之间的所述第一类STI结构；所述第一类STI结构包括氧化物层，所述氧化物层的顶面高于所述衬底的表面；位于所述氧化物层顶面上的栅极结构；以及位于所述源极与所述漏极之间的沟道区域。
尺寸测试结构方法

[实用新型]一种控制外层蚀刻药水耗量的添加装置-CN201721468468.9有效
发明人： 石继龙 -专利权人：建业科技电子（惠州）有限公司
申请日： 2017-11-07 - 公布日： 2018-06-01 - 主分类号： C23F1/08 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种控制外层蚀刻药水耗量的添加装置，包括添加装置本体、溶液辅槽、溶液主槽、抽风机、搅拌机、搅拌棒、溶液腔体、进液口、出液口、阀门、排气孔、浮杆架、第一通孔、第二通孔、金属杆、浮杆、第一金属感应器、第二金属感应器、通气孔、蚀刻泵、电磁阀、连接管和NE040S时间控制器，所述添加装置本体内部设置有溶液辅槽，所述溶液辅槽一侧设置有溶液主槽，所述溶液辅槽另一侧设置有抽风机，所述溶液辅槽上端左部安装有搅拌机，本实用新型装置结构简单，安装有搅拌机可有效的防止蚀刻药水发生沉淀，安装感应器感应液面高度变化，蚀刻泵工作抽取蚀刻药水，通过此装置可完成蚀刻药水耗量的自动添加，减少人工劳动量。
蚀刻药水辅槽添加装置搅拌机本实用新型金属感应器外层蚀刻抽风机浮杆通孔主槽液面高度变化感应器感应人工劳动量时间控制器内部设置装置结构自动添加出液口电磁阀搅拌棒金属杆进液口连接管排气孔溶液腔通气孔上端阀门左部沉淀抽取

[实用新型]一种新型内层残铜水喷装置-CN201721468379.4有效
发明人： 石继龙 -专利权人：建业科技电子（惠州）有限公司
申请日： 2017-11-07 - 公布日： 2018-05-29 - 主分类号： B05B9/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种新型内层残铜水喷装置，包括本体、水泵、二次加压水泵、干燥器、风干风扇、支架、限位板、限位弹簧、第一喷头和第二喷头，所述本体内部顶端设置有干燥器，所述本体两侧设置有风干风扇，所述本体下方一侧设置有支架，所述支架上安装有水泵，所述水泵一侧设置有限位弹簧，所述限位弹簧一端设置有限位板，所述本体下方另一侧设置有二次加压水泵，所述二次加压水泵出水口连接第一喷头，除第一喷头之外，还设置有第二喷头，本实用新型结构合理，使用安全方便，设置有二次加压水泵，可以提高出水口的水压，可以更加高效的除去残铜，设置有干燥器和风干风扇，可以使本体内部始终保持干燥。
喷头水泵二次加压风干干燥器风扇残铜支架本实用新型水喷装置限位弹簧内层水泵出水口顶端设置两侧设置一端设置出水口限位板水压弹簧

[实用新型]一种改进型厚铜丝印气泡夹具-CN201721468547.X有效
发明人： 石继龙 -专利权人：建业科技电子（惠州）有限公司
申请日： 2017-11-07 - 公布日： 2018-05-15 - 主分类号： B41F15/18 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种改进型厚铜丝印气泡夹具,包括旋转台、锁紧螺杆手柄、移动夹台、压力传感器和伺服电机，所述砚台的上方设置有移动夹台，所述定夹台的一端设置有压力传感器，所述齿轮的上方设置有伺服电机，所述砚台的一侧设置有丝杆，且砚台的另一侧设置有操作盒，所述支撑台的一侧设置有锁紧螺杆手柄，所述锁紧螺杆手柄的下方设置有旋转台，本实用新型结构科学合理，使用安全方便，设置了压力传感器，可以根据不用的材质，设定不同的压力，防止压力过大，损坏产品，设置了前进开关和后退开关，可以使夹具自身做到操控定夹台的位置，不需自己掌控，节省了时间的同时，更节省了劳动力。
一种改进型铜丝气泡夹具

[发明专利]一种消除显影机泡沫缸内打泡方法-CN201711094338.8在审
发明人： 石继龙;毛敏 -专利权人：建业科技电子（惠州）有限公司
申请日： 2017-11-09 - 公布日： 2018-05-08 - 主分类号： G03F7/30 文献下载
摘要：本发明公开了一种消除显影机泡沫缸内打泡方法，包括如下步骤：一次消泡、二次消泡和三次消泡；本发明根据反应液液面高低自行控制装置高低，消泡沫效率高，不影响原有搅拌效率，增加反应液反应效率，降低生产成本，提供产生产出率对泡沫缸内的各个层面进行搅拌消除泡沫，有效提高了产品质量和提高生产效率，通过回流管连接除泡装置的回流孔及化学原料桶，用于将气泡排回该化学原料桶，回收化学液，可节省成本且环保；且除泡装置内的化学液保持在液位高度高于该两下隔板及输出孔，所以即使进行大流量的化学液输送，也不会将气泡排入工艺过程中，同时通过泡泡沫检测装置，便于有效的防止含有泡沫的液料输出。
一种消除显影泡沫打泡方法

[发明专利]控制独立孔孔径和独立线厚度制作方法-CN201711094339.2在审
发明人： 石继龙;毛敏 -专利权人：建业科技电子（惠州）有限公司
申请日： 2017-11-09 - 公布日： 2018-05-08 - 主分类号： H05K3/00 文献下载
摘要：本发明公开了控制独立孔孔径和独立线厚度制作方法，包括如下步骤：基板修整、基板表面处理、激光布线图案成型、线路成型、设计线路菲林、基板钻孔、基板和线路菲林对位、加压固化、钻孔蚀刻和入库存储，所述步骤1)中打磨机的转速为400‑550r/min，所述步骤3)中的激光调制频率为1200‑5000Hz，脉冲宽度为60‑150ns，激光的平均功率为10‑200W，所述步骤2)非金属光诱导催化剂醛类为固态或液态或者气态的三元醇，所述热塑性承载材料为聚氯乙烯、聚碳酸酯和聚对苯二甲酸丁二醇酯，所述步骤6)将基板装到真空吸盘上后，要用对位标记使钻孔光束与线路板相配，本发明，结构简单，使用方便，便于精确控制孔径的大小和电路线的厚度，有效提升使用的方便性。
控制独立孔径厚度制作方法

[发明专利]设计外层菲林对位稳定工艺-CN201711094336.9在审
发明人： 石继龙;毛敏 -专利权人：建业科技电子（惠州）有限公司
申请日： 2017-11-09 - 公布日： 2018-04-13 - 主分类号： G03F9/00 文献下载
摘要：本发明公开了设计外层菲林对位稳定工艺，包括如下步骤菲林制作、对位圆设计、验证圆设计、绘制定位孔、菲林定位孔成型、电路板定位孔成型、菲林对位和对位检测，所述步骤1)得到的三维数据要满足生长放大所需要的尺寸和表面精度条件；所述在生长放大时，根据样本上立体纹的局部相似性对二维模型进行过渡、融合，所述对位圆排列结构的对位圆和验证圆排列结构的验证圆均直线形排列，对位圆排列结构的对位基准圆和验证圆排列结构的验证基准圆均位于直线形的首位上，所述步骤7)为确保菲林对位精准，首先要在二次元准确量涨缩，本发明，结构简单，制作方便，有效提升菲林的对位精确度和对位速度，提升使用的方便性。
设计外层对位稳定工艺

[发明专利]一种增加内层对位准确度孔环工艺-CN201711094321.2在审
发明人： 石继龙;毛敏 -专利权人：建业科技电子（惠州）有限公司
申请日： 2017-11-09 - 公布日： 2018-03-30 - 主分类号： H05K3/36 文献下载
摘要：本发明公开了一种增加内层对位准确度孔环工艺，包括如下步骤开设对位孔和检测孔开设对位孔和检测孔、一次对位、二次对位和检测对位精度；本发明通过开设有检测孔和对位检测，便于对内层的对位精度进行检测，同时通过一次对位和二次对位，便于提高内层的对位准确度，进而方便提高线路板的生产质量和生产效率，可以实现正反曝光图形的精准对位，精确度较高，适用性强，以及上孔盘和下孔盘的中心分别设有检测孔，通过检测检测孔的中心距离，能够知晓检测内层板的对位情况，知晓内层板之间的对位情况或对位的偏差大小，进一步增强内层板的准确对位，避免造成电路板的报废，再二次对位中体积小，成本低，而且对位精度高。
一种增加内层对位准确度工艺

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