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[发明专利]一种薄片阵列热流传感器-CN201310383435.4有效
发明人：谢贵久;白庆星;何峰;景涛;陈伟;陈云锋;曹勇飞;张川;袁云华 -专利权人：中国电子科技集团公司第四十八研究所
申请日： 2013-08-29 - 公布日： 2014-01-15 - 主分类号： G01K17/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种薄片阵列热流传感器，包括热流感知片、阵列式热电堆和法兰盘，阵列式热电偶堆包括两排以上导热层，每排导热层包括一个热障层和由两个以上被折弯成几字形的热电偶连接组成的导热体，导热体中相邻两个热电偶的接点两端为不同极性的热偶材料，导热体竖直部分固定在所述热障层内，导热体竖直部分上下两端的水平部分分别固定在所述热障层上表面和下表面；所有导热层的导热体通过引线串联。本发明的阵列热流传感器能够在高温环境下测量热流，其突出的优点是可以利用热障层的上下表面温差来直接计算热流，大大提高了热流测试的准确性；阵列式热电偶堆的独特设计使测试信号得到数倍的放大，提高了传感器的测试精度。
一种薄片阵列热流传感器

[实用新型]一种气体浓度传感器探头-CN201320489388.7有效
发明人：王玉明;景涛;白庆星;曹勇全;潘喜成;章良;宋祖殷;陈云锋 -专利权人：中国电子科技集团公司第四十八研究所
申请日： 2013-08-12 - 公布日： 2013-12-25 - 主分类号： G01N33/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种气体浓度传感器探头，属于气体传感器领域。所述气体浓度传感器探头包括敏感芯体、外壳和与该外壳固定相连的压环；所述敏感芯体设置在外壳与压环之间，所述敏感芯体与压环之间设有过滤元件；所述外壳上开有多个管脚孔，每个管脚孔内装有一根管脚引线，各管脚引线均与所述敏感芯体电连接。本实用新型设计独特，结构简洁，降低了成本，并适于多种传感器敏感芯体封装，适合大规模推广应用。
一种气体浓度传感器探头

[发明专利]一种气体浓度传感器探头-CN201310348499.0无效
发明人：王玉明;谢贵久;景涛;白庆星;张建国;曹勇飞;袁云华;李建果 -专利权人：中国电子科技集团公司第四十八研究所
申请日： 2013-08-12 - 公布日： 2013-12-11 - 主分类号： G01N33/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种气体浓度传感器探头，属于气体传感器领域。所述气体浓度传感器探头包括敏感芯体、外壳和与该外壳固定相连的压环；所述敏感芯体设置在外壳与压环之间，所述敏感芯体与压环之间设有过滤元件；所述外壳上开有多个管脚孔，每个管脚孔内装有一根管脚引线，各管脚引线均与所述敏感芯体电连接。本发明设计独特，结构简洁，降低了成本，并适于多种传感器敏感芯体封装，适合大规模推广应用。
一种气体浓度传感器探头

[实用新型]一种金属薄膜桥点火器-CN201220553797.4有效
发明人：景涛;白庆星;何迎辉;程文进;黄华山;王玉明;王栋;任伟 -专利权人：中国电子科技集团公司第四十八研究所
申请日： 2012-10-26 - 公布日： 2013-05-29 - 主分类号： F23Q13/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种金属薄膜桥点火器，主要用于汽车安全气囊和安全装置，还可推广应用于武器弹药系统、卫星及民用防撞气囊和爆破工程。该点火器采用了导热系数更小的基片、过渡层薄膜和热隔离层薄膜，使得Ni-Cr合金薄膜桥点火器发火电压低于4V，发火能量约为80微焦，发火时间小于50μs，有效降低了点火器的工作电压，提高了点火器的点火时间。同时，通过基片表面的通孔实现了点火器插塞极针与薄膜桥电极区的无引线连接，提高了点火器抗环境冲击能力，极大的提高了点火器的可靠性水平。采用了微细加工技术，金属薄膜桥点火器具有成本低、易批量生产等优点。
一种金属薄膜点火器

[实用新型]纳米硅薄膜压力传感器-CN201220540296.2有效
发明人：谢贵久;白庆星;安志超;谢锋;何迎辉;颜志红;黄华山;龚星 -专利权人：中国电子科技集团公司第四十八研究所
申请日： 2012-10-22 - 公布日： 2013-05-29 - 主分类号： G01L9/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种压力传感器，尤其涉及一种采用半导体材料硅制作的纳米硅薄膜压力传感器，将压力腔后端面作为弹性膜片，并在压力腔后端面安装由纳米硅应变材料制成的4个纳米硅薄膜应变电阻，4个纳米硅薄膜应变电阻按压力腔中心轴对称分布构成惠斯登电桥。采用半导体材料硅制作纳米硅薄膜压力传感器，由于纳米硅薄膜电阻应变系数为n+με（微应变）到100με（微应变），纳米硅薄膜压力传感器的输出灵敏度大幅提高，比现有技术的采用金属薄膜应变计的薄膜压力传感器的灵敏度高1-2个数量级。
纳米薄膜压力传感器

[发明专利]一种金属薄膜桥点火器及其制备方法-CN201210416288.1无效
发明人：谢贵久;景涛;颜志红;白庆星;张建国 -专利权人：中国电子科技集团公司第四十八研究所
申请日： 2012-10-26 - 公布日： 2013-02-13 - 主分类号： F23Q13/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种金属薄膜桥点火器及其制备方法，主要用于汽车安全气囊和安全装置，还可推广应用于武器弹药系统、卫星及民用防撞气囊和爆破工程。该点火器采用了导热系数更小的基片、过渡层薄膜和热隔离层薄膜，使得Ni-Cr合金薄膜桥点火器发火电压低于4V，发火能量约为80微焦，发火时间小于50μs，有效降低了点火器的工作电压，提高了点火器的点火时间。同时，通过基片表面的通孔实现了点火器插塞极针与薄膜桥电极区的无引线连接，提高了点火器抗环境冲击能力，极大的提高了点火器的可靠性水平。采用了微细加工技术，金属薄膜桥点火器具有成本低、易批量生产等优点。
一种金属薄膜点火器及其制备方法

[发明专利]一种薄膜温度烧蚀复合传感器及其制备方法-CN201210362540.5无效
发明人：景涛;谢贵久;颜志红;程文进;白庆星;何峰;王栋;张环宇 -专利权人：中国电子科技集团公司第四十八研究所
申请日： 2012-09-26 - 公布日： 2013-01-30 - 主分类号： G01D21/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种薄膜温度烧蚀复合传感器及其制备方法，所述传感器是一种绝热层材料烧蚀温度与烧蚀速率测量集成型薄膜传感器。本发明采用微机械加工技术在基片表面制作了一组薄膜热电偶，然后将薄膜热电偶垂直埋设于绝热层内，这样，在绝热层材料的烧蚀过程中，就可以通过薄膜热电偶组测量出绝热层烧蚀面以及绝热层不同深度点的温度，并可通过薄膜热电偶的通断判断绝热层烧蚀面的位置，结合烧蚀时间，可得出绝热层材料的烧蚀速率。采用这种发明的有益效果是可同时对绝热层材料烧蚀过程中的温度变化及绝热层烧蚀速率进行测量，为绝热层的设计提供数据参考，并且采用这种发明的薄膜温度烧蚀传感器制备工艺简单，结构可靠。
一种薄膜温度复合传感器及其制备方法