|
|
钻瓜专利网为您找到相关结果 13个，建议您 升级VIP下载更多相关专利
- [发明专利]ZMO靶材及其制备方法-CN202110381326.3有效
-
张玉玲;甘志俭
-
基迈克材料科技（苏州）有限公司
-
2021-04-09
-
2023-02-14
-
C23C14/35
- 本发明涉及一种ZMO靶材及其制备方法。ZMO靶材的制备方法包括如下步骤：将ZnO粉末、MgO粉末、Al2O3粉末、分散剂、粘接剂和水混合均匀，研磨后得到浆料；将浆料进行喷雾造粒，得到ZMO粉体；将ZMO粉体进行烧结，得到ZMO烧结粉体；在保护气体氛围下，将ZMO烧结粉体热喷涂于背靶上，得到ZMO靶坯；以及将ZMO靶坯进行抛光和加工处理，得到ZMO靶材。上述ZMO靶材的制备方法工艺简单，有利于提高生产效率。经试验证明，本发明的上述ZMO靶材的制备方法制备得到ZMO靶材的相对密度≥90％，ZMO靶材的电阻率≤5×10‑3Ω·cm，因此，通过上述ZMO靶材的制备方法能够得到致密度和导电性良好的高性能ZMO靶材。此外，本发明还涉及一种ZMO靶材的制备方法。
- zmo及其制备方法
- [发明专利]氧化铝陶瓷及其制备方法-CN202010517344.5有效
-
甘志俭;程银兵;杨斌;庄志杰
-
基迈克材料科技（苏州）有限公司
-
2020-06-09
-
2022-05-24
-
C04B35/111
- 本发明公开了一种氧化铝陶瓷及其制备方法，该方法包括如下步骤：将氧化铝粉制成浆料，得到粒径D90小于或等于0.8μm的氧化铝浆料；将氧化铝浆料干燥，得到氧化铝细粉；氧化铝粉中氧化铝的含量≥99wt％；将光敏树脂、第一分散剂和润滑剂加热融化后，加入氧化铝细粉和紫外光吸收剂，混合均匀后进行抽真空处理，得到氧化铝光固化浆料；将氧化铝光固化浆料经3D打印成型，得到氧化铝陶瓷坯体；将氧化铝陶瓷坯体经过常压脱脂烧结，得到氧化铝陶瓷；常压脱脂烧结的条件为：以(0.2～1)℃/min的速率升温至550℃～650℃，保温6h～10h，然后以(1～5)℃/min的速率升温至1200℃～1400℃，保温5h～8h。采用该方法制得的氧化铝陶瓷的致密度高、机械性能好，能够满足半导体设备对陶瓷材料的要求。
- 氧化铝陶瓷及其制备方法
- [发明专利]ITiO旋转靶材及其制备方法-CN202010116105.9在审
-
甘志俭;庄志杰;诸斌;庄猛;杨斌
-
基迈克材料科技（苏州）有限公司
-
2020-02-25
-
2020-06-05
-
C04B35/01
- 本发明涉及一种ITiO旋转靶材及其制备方法。ITiO旋转靶材的制备方法包括如下步骤：按照质量份数，将90份～99.5份的In2O3纳米粉体、0.5份～10份的TiO2纳米粉体、0.5份～5份的分散剂、0.5份～5份的粘接剂与水混合均匀，研磨后得到浆料；其中，In2O3纳米粉体的比表面积为5m2/g～20m2/g，TiO2纳米粉体的比表面积为20m2/g～50m2/g；将浆料进行喷雾造粒，得到ITiO粉体；将ITiO粉体装入模具中，使用冷等静压成型，得到旋转靶材素坯；以及将旋转靶材素坯进行烧结，退火之后得到ITiO旋转靶材。经试验证明，本发明的上述ITiO旋转靶材的制备方法制备得到ITiO旋转靶材的相对密度≥98％，ITiO旋转靶材的电阻率≤4.0×10‑4Ω·cm，因此，通过上述ITiO旋转靶材的制备方法能够得到致密度和导电性良好的高性能ITiO旋转靶材。
- itio旋转及其制备方法
|
