专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [实用新型]一种晶圆固定工装-CN202223560996.0有效
  • 王春琴;尚博文;程谦;王虎;胡韵爽;贺慧婷;徐马记 - 武汉锐晶激光芯片技术有限公司
  • 2022-12-30 - 2023-06-27 - H01L21/687
  • 本实用新型涉及半导体制造技术领域,特别涉及一种晶圆固定工装。本实用新型提供的晶圆固定工装,具有容置槽,晶圆薄片可卡接于容置槽中,当晶圆固定工装放置在自动光学检测设备的载台上时,载台上的负压可吸附住晶圆固定工装,并且在卡接晶圆薄片的过程中,可将晶圆薄片的N面朝向容置槽的底壁,从而实现在不损伤晶圆薄片N面的情况下,将晶圆薄片固定在自动光学检测的载台上进行检测,而无需对晶圆薄片进行贴膜;当检测完毕后,晶圆薄片可直接存放于晶圆固定工装中,无需将晶圆薄片从膜上取下来放置在晶圆薄片盒中,从而省去了重复贴膜、取片的步骤,提高了生产效率,避免了原辅材料浪费。
  • 一种固定工装
  • [实用新型]一种过滤器组件及晶圆片处理装置-CN202320121789.0有效
  • 王春琴;郭可满;王虎;胡韵爽;徐马记;贺慧婷 - 武汉锐晶激光芯片技术有限公司
  • 2023-01-13 - 2023-05-16 - B01D46/10
  • 本申请公开了一种过滤器组件及晶圆片处理装置,解决了现有技术中真空泵过滤器中过滤组件不方便更换,影响使用寿命的技术问题。其中过滤器组件包括第一筒体、第二筒体和过滤件,其中第一筒体设有连通的第一筒腔、用于对接真空装置的第一出口和用于对接研磨设备的第一入口;第二筒体设于第一筒腔内,第二筒体设有连通的第二筒腔、用于对接第一出口的第二出口和用于对接第一筒腔的第二入口;过滤件设于第一筒腔内。在使用真空装置对研磨设备进行抽真空的过程中,气体经第一入口进入至第一筒腔内,经过过滤件的吸附,可以将研磨过程产生的固体小颗粒废渣和水汽进行吸附,使气体得到净化,从而达到保护真空装置、延长真空装置使用寿命的目的。
  • 一种过滤器组件晶圆片处理装置
  • [发明专利]一种电缆拉敷装置-CN202111219572.5在审
  • 胡成;侯锦福;曾书俐;王春琴;邓斌;赵海军;刘也 - 中船黄埔文冲船舶有限公司
  • 2021-10-20 - 2023-04-21 - H02G1/06
  • 本发明涉及电缆技术领域,尤其涉及一种电缆拉敷装置,其包括第一支架,所述第一支架呈U形,包括依次连接的第一安装杆、第二安装杆和第三安装杆;第一滚筒组件,所述第一滚筒组件转动设置在所述第一安装杆上;第二滚筒组件,所述第二滚筒组件转动设置在所述第二安装杆上;第三滚筒组件,所述第三滚筒组件转动设置在所述第三安装杆上;连接杆,所述连接杆设置在所述第二安装杆上;固定组件,所述固定组件设置在所述连接杆上,所述固定组件用于与船舶连接。本发明能够减轻牵引人员的劳动强度,提升电缆敷设的速度,而且可以减轻对电缆的损伤。
  • 一种电缆装置
  • [实用新型]一种晶圆定位装置-CN202123379447.9有效
  • 陈志刚;韩俊伟;王春琴;段先虎 - 武汉锐晶激光芯片技术有限公司
  • 2021-12-29 - 2022-06-14 - H01L21/68
  • 本实用新型公开了一种晶圆定位装置,解决现有技术中辅助工具与晶圆之间发生粘片导致在移动辅助工具时晶圆随之联动并掉落在操作台面碎片的技术问题。该晶圆定位装置包括压柄和底座,其中,压柄具有第一气道;底座连接于所述压柄,所述底座具有用于接触所述晶圆的定位端面和与所述第一气道连通的第二气道,且所述第二气道的出气端位于所述定位端面,晶圆定位装置保持晶圆的位置固定,以避免移动造成的电镀电极不均匀的缺陷。同时通过定位端面和晶圆朝上的N面之间的气压和气体实现晶圆与底座的安全分离,从而解决粘片的技术问题,大大降低了操作过程中人为的疏忽导致碎片风险。
  • 一种定位装置
  • [实用新型]一种晶圆研磨夹具及装置-CN202123426090.5有效
  • 程谦;郭可满;王春琴;王虎 - 武汉锐晶激光芯片技术有限公司
  • 2021-12-31 - 2022-05-17 - B24B37/30
  • 本实用新型涉及晶圆研磨技术领域,具体涉及一种晶圆研磨夹具及装置。本申请提供的晶圆研磨夹具,包括本体,一侧开设有吸附孔,且所述本体与真空机构相连,以通过所述吸附孔将所述晶圆吸附在所述本体的一侧;至少一个限位件,设置在所述本体的一侧。本申请提供的一种晶圆研磨夹具及装置,晶圆在研磨过程中,随着厚度被不断削减,本体随之下降,直至限位件抵接于研磨盘时,在限位件的限位下,晶圆无法再继续研磨,即研磨完成,晶圆的最终厚度与限位件一致,由于限位件的长度不变,因此,每一个通过该夹具吸附的晶圆研磨完成的最终厚度均与限位件一致,避免了各个晶圆的厚度不一致的情况发生,保证了减薄抛光工艺的稳定性。
  • 一种研磨夹具装置
  • [实用新型]一种金属丝材清洗设备-CN202020586327.2有效
  • 刘毅;王春琴;陈登权;马丽华;虞坤;罗姝杰;苏鑫;熊智;熊自江;张安强;桓源辉 - 昆明贵研新材料科技有限公司
  • 2020-04-17 - 2021-01-26 - B08B3/12
  • 本实用新型涉及一种金属丝材清洗设备,包括主动放线装置、清洗装置、烘干装置和收取装置;主动放线装置包括主动放线装置箱体、放线张力杆、放线高度调节导轮和放线轴;清洗装置包括清洗装置箱体、超声波发生器、增压水箱、清洗内槽、导向槽和外槽回水槽;烘干装置包括涂覆台、风淋区和热干区三个部件,这三个部件沿烘干工序依次排列,金属丝材清洗时按顺序通过以完成涂覆、风淋和烘干操作;收取装置包括收线高度调节导轮、收线张力杆和收线轴三个部件,这三个部件沿收取工序依次排列,金属丝材清洗时按顺序通过以完成收线操作。本实用新型采用模块化设计,操作方便,能够快速有效的完成金属丝材的清洗,具有良好的应用前景。
  • 一种金属丝清洗设备

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