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[发明专利]等离子体处理装置的清洁方法-CN201310294419.8有效
发明人： 王兆祥;苏兴才 -专利权人：中微半导体设备（上海）有限公司
申请日： 2013-07-12 - 公布日： 2015-01-14 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明提供了一种等离子体处理装置的清洁方法，其中，所述等离子体处理装置包括一腔室，基片放置于腔室之中进行制程，其中，所述清洁方法包括如下步骤：a.在基片制程之前，在所述腔室表面沉积不含氟的聚合物层；b.执行基片制程，然后将基片移除出腔室以外；c.往腔室中通入清洁气体，并连接射频能量产生等离子体，以对腔室内部进行清洁。同时，由于不含氟的聚合物层的保护作用，基片制程过程中和清洁过程中对强势组件造成的腐蚀被大大降低，因此强势组件的使用寿命大大延长，降低了成本。
等离子体处理装置清洁方法

[发明专利]等离子体处理装置的清洁方法-CN201310294705.4有效
发明人： 王兆祥;苏兴才 -专利权人：中微半导体设备（上海）有限公司
申请日： 2013-07-12 - 公布日： 2015-01-14 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：一种等离子体处理装置的清洁方法，其中，所述等离子体处理装置包括一腔室，基片放置于腔室之中进行制程，其中，所述清洁方法包括如下步骤：a.在基片制程之后，在腔室表面沉积不含氟的聚合物层；b.往腔室中通入清洁气体，并连接射频能量产生等离子体，以对腔室内部进行清洁。本发明提供了一种安全可靠有效的等离子体腔室清洁方法，并且能够提高静电夹盘寿命，节省成本。
等离子体处理装置清洁方法

[实用新型]基板结构-CN201420374919.2有效
发明人：刘佳秤;张嘉雄;汪安昌;王兆祥;陈扬证 -专利权人：群创光电股份有限公司
申请日： 2014-07-08 - 公布日： 2014-12-31 - 主分类号： G02F1/133 文献下载
摘要：一种基板结构包括一第一基板、多个第一接合垫以及一接合层。第一基板具有一元件配置区及一周边区，周边区邻设于元件配置区的外围。这些第一接合垫间隔配置于周边区，且两相邻这些第一接合垫之间具有一间隙。接合层设置于第一基板上，并覆盖这些第一接合垫及这些间隙，且邻近元件配置区的接合层具有多个第一弧形边缘。本实用新型的基板结构经过长时间使用后，接合层可有效地阻挡水分或氧气进入，因此，除了可避免第一接合垫的锈蚀之外，更可具有较佳的接合粘着性。
板结

[实用新型]显示面板及显示装置-CN201420454852.3有效
发明人：陈政雄;王兆祥;陈奕静 -专利权人：群创光电股份有限公司
申请日： 2014-08-13 - 公布日： 2014-12-17 - 主分类号： G02F1/1343 文献下载
摘要：本实用新型提供一种显示面板及显示装置。显示面板包括一第一基板及与第一基板相对而设的一第二基板以及多个像素。这些像素配置于第一基板与第二基板之间，这些像素分别具有一第一电极层及一绝缘层，第一电极层设置于绝缘层上并具有一第一条状电极，这些像素中沿一第一方向排列的任两相邻像素分别定义为第一像素与第二像素；其中，第一像素中的第一条状电极具有相隔的第一侧边与第二侧边，且第一侧边比第二侧边靠近第二像素，第一侧边及第二侧边分别与绝缘层表面形成一第一角度与一第二角度，第二角度大于第一角度。本实用新型可使显示面板及显示装置较不易产生串音的现象，也具有较佳的显示品质，可满足消费者的需求。
显示面板显示装置

[实用新型]显示面板与显示装置-CN201420425036.X有效
发明人：刘淑白;张谢平;蔡英杰;陈奕静;王兆祥 -专利权人：群创光电股份有限公司
申请日： 2014-07-30 - 公布日： 2014-12-10 - 主分类号： G02F1/1343 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种显示面板及显示装置。显示面板包括一第一基板及与第一基板相对而设的一第二基板以及一像素阵列。像素阵列配置于第一基板上，并至少包含一像素，像素具有一第一电极层，第一电极层具有一辅助电极部及与辅助电极部连接的一驱动电极部，驱动电极部具有多个条状电极沿一第一方向间隔设置，辅助电极部的面积为A1，一光线通过像素时，像素具有一发光区域，发光区域的面积为B，其中，A1与B满足以下方程式：0.11×B≤A1≤0.27×B，且A1与B的单位相同。本实用新型提供一种显示面板及显示装置，具有较高穿透率。
显示面板显示装置

[实用新型]具不同弯曲程度的导线与遮光图案的液晶显示器-CN201420366766.7有效
发明人：杨舜臣;徐毓伦;颜崇纹;王兆祥 -专利权人：群创光电股份有限公司
申请日： 2014-07-03 - 公布日： 2014-12-10 - 主分类号： G02F1/1362 文献下载
摘要：本实用新型公开一种具不同弯曲程度的导线与遮光图案的液晶显示器。该液晶显示器包括一第一基板、相对于第一基板的一第二基板、设置于第一基板与第二基板之间的一液晶层、和位于第一基板与第二基板之间的一遮光图案。第二基板包括有多条导线。其中，该些导线之一以一第一方向投影至遮光图案以产生一投影线段，其中投影线段位于遮光图案内，且投影线段包括一弯曲部以及二连接该弯曲部两端的延伸部。其中，遮光图案的边缘与弯曲部之间在一第二方向上的距离，不相等于遮光图案的边缘与两延伸部之一之间在第二方向上的距离，其中，第一方向垂直于第二方向。
不同弯曲程度导线遮光图案液晶显示器

[实用新型]显示面板与显示装置-CN201420312650.5有效
发明人：徐毓伦;李宜锦;王兆祥;汪安昌 -专利权人：群创光电股份有限公司
申请日： 2014-06-12 - 公布日： 2014-10-08 - 主分类号： G02F1/1335 文献下载
摘要：本实用新型提供一种显示面板与显示装置，显示面板的一像素阵列配置于一第一基板上并至少包含一像素，像素具有一第一电极层，第一电极层具有多个电极部。一遮光层沿一第一方向间隔配置于一第二基板上，并具有一第一遮光部及一第二遮光部，第一电极层对应于第一遮光部与第二遮光部之间，第一遮光部沿第一方向具有远离第一电极层的一第一边缘，且这些电极部包含邻近第一遮光部的一第一电极部。像素沿第一方向的一亮度分布具有一第一亮度最大值对应于第二基板的一第一位置。其中PTB为第一位置沿第一方向到第一边缘的最小宽度，Px为像素沿第一方向的宽度，且满足：本实用新型的显示面板及显示装置可改善像素漏光所造成的色偏现象，进而可提高其显示品质。
显示面板显示装置

[发明专利]基片补偿刻蚀的方法-CN201310057688.2有效
发明人： 王兆祥;刘志强;邱达燕;苏兴才 -专利权人：中微半导体设备（上海）有限公司
申请日： 2013-02-22 - 公布日： 2014-08-27 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：一种用于等离子处理腔室的基片补偿刻蚀的方法，其中，所述基片置于腔室之中的基台之上进行刻蚀制程，当接收到预警信号时，相应腔室则停止其中对基片的刻蚀制程，待经过一段等待时间执行补偿刻蚀，其特征在于，所述方法包括：在所述等待时间期间，停止静电夹盘上的静电吸力，维持所述静电夹盘的冷却气体通道中的气体。本发明提供的基片补偿刻蚀的方法不会出现缺陷，良品率得到了提高。
补偿刻蚀方法

[发明专利]光刻胶去除方法-CN201310039528.5有效
发明人： 王兆祥;杜若昕;刘骁兵;刘志强 -专利权人：中微半导体设备（上海）有限公司
申请日： 2013-01-31 - 公布日： 2014-08-06 - 主分类号： H01L21/027 文献下载
摘要：本发明公开了一种光刻胶去除方法。其包括：采用主要含氧等离子工艺，去除介电层顶部平面的所有光刻胶以及刻蚀开口侧壁的部分光刻胶；采用主要既含氧，又含F或CL的等离子工艺，去除步骤1中溅射的介电颗粒，以及刻蚀开口侧壁经步骤1后刻蚀开口侧壁剩余光刻胶中的部分光刻胶；采用主要含氧等离子工艺去除刻蚀开口侧壁经过步骤1和2后剩余的所有光刻胶。通过形成刻蚀开口的过程中，在中间步骤等离子处理过程中在去除刻蚀开口内腔中部分光刻胶的同时，一并去除在前一等离子处理过程中溅射出的、沉积在光刻胶表面的介电颗粒。
光刻去除方法

[实用新型]移动式搅浆机-CN201320818497.9有效
发明人：董运昆;周新套;吕金龙;任大庆;孙小伟;吴建设;王兆祥 -专利权人：郑州东方安彩耐火材料有限公司
申请日： 2013-12-13 - 公布日： 2014-07-30 - 主分类号： B01F13/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种移动式搅浆机，包括铺设在沉淀池的两边上的并排的地轨，地轨之间设有沿其滑动的跑道车，跑道车的顶部设有与地轨垂直的并排轨道，跑道车的顶部设有沿轨道滑动的支撑架，支撑架上设有竖直的搅拌叶浆，搅拌叶浆的顶部设有电机，搅拌叶浆的下端伸入沉淀池内。本实用新型的移动式搅浆机不仅大大降低了操作者劳动强度，又降低人工成本、省时省力，最大的优点是使搅拌更均匀，最大程度避免了泥浆泵的堵塞。
移动式搅浆机

[发明专利]一种双射频脉冲等离子体的刻蚀方法及其刻蚀装置-CN201210594588.9有效
发明人：杜若昕;梁洁;王兆祥;苏兴才 -专利权人：中微半导体设备（上海）有限公司
申请日： 2012-12-31 - 公布日： 2014-07-09 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明提供一种双射频脉冲等离子体的刻蚀方法及其刻蚀装置，所述等离子体处理腔室具有上电极和下电极，通过源射频功率和偏置射频功率共同进行制程，所述腔室中放置有基片，所述下电极分别连接有源射频功率源和偏置射频功率源，所述偏置射频功率源以脉冲的方式输出偏置功率，所述偏置射频功率源交替输出第一低频频率和第二低频频率的两种脉冲信号进行制程，所述第一低频频率和第二低频频率的脉冲信号的频率相同且相位相反，本发明结合两种低频频率刻蚀方法，通过调节脉冲发生器的脉冲周期及占空比实现连续调节粒子密度和离子能量，使关键尺寸和均匀性都能得到连续的精确控制，对28nm刻蚀工艺或以下刻蚀工艺中关键尺寸精确控制提供有力帮助。
一种射频脉冲等离子体刻蚀方法及其装置

[实用新型]风力发电机塔筒海上运输固定装置-CN201420039642.8有效
发明人：张建军;张瑞佳;曹兆丰;付建良;王户省;王兆祥;张薇 -专利权人：河北长江中远吊索具有限公司
申请日： 2014-01-22 - 公布日： 2014-07-09 - 主分类号： B65D85/68 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种风力发电机塔筒海上运输固定装置。该风力发电机塔筒海上运输固定装置包括一对矩形固定支架，固定支架由左、右立柱、分别设于固定支架上端和底部用于搁置塔筒法兰的上支座和下支座组成，在固定支架中部设有梯子，梯子固定在上支座及下支座上，安装在固定支架上的紧固带以及通过开设在固定支架上的安装孔安装在固定支架上的塔筒法兰紧固机构，在固定支架的左、右立柱之间水平设置有横梁，横梁两端固定在左、右立柱上，横梁上开设有塔筒法兰紧固机构安装孔。本实用新型的优点是结构合理、操作简便，适用于各种规格、型号的塔筒装配固定，通用性好、适用范围广。
风力发电机海上运输固定装置

[发明专利]一种用于等离子体处理腔室的射频能量控制方法-CN201210580994.X有效
发明人： 王兆祥;邱达燕;刘志强;叶如彬;梁洁 -专利权人：中微半导体设备（上海）有限公司
申请日： 2012-12-27 - 公布日： 2014-07-02 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明提供一种用于等离子体处理腔室的射频能量控制方法，用于对放置在等离子体处理腔室中的晶片进行加工处理，所述等离子体处理腔室包括一上电极和一下电极，所述下电极连接一源射频功率源以及一偏置射频功率源，共同作用于所述等离子体处理腔室内以产生一射频电场，所述方法包括如下步骤：向所述等离子体处理腔室内通入反应气体；控制所述上电极和所述下电极对反应气体进行电离，产生等离子体；其中，所述源射频功率源的功率以及所述偏置射频功率源的功率中的至少一个大于零，所述射频电场在多个功率之间周期性交替变化，且所述射频电场的功率始终大于零。
一种用于等离子体处理射频能量控制方法

[发明专利]平面关节型机器人驱动机构及其驱动方法-CN201210567647.3有效
发明人：彭志诚;王兆祥;吴信贤 -专利权人：台达自働化股份有限公司
申请日： 2012-12-24 - 公布日： 2014-07-02 - 主分类号： B25J9/10 文献下载
摘要：本发明揭露一种平面关节型机器人驱动机构及其驱动方法。平面关节型机器人驱动机构包含有一本体、一关节旋臂、一水平旋臂、一线性马达线圈及一垂直磁化轴。前述关节旋臂枢装在本体上，而水平旋臂则枢装在关节旋臂上。线性马达线圈则安装在水平旋臂上。前述垂直磁化轴通过线性马达线圈而产生一非接触磁力，且垂直磁化轴在水平旋臂上被线性马达线圈往复带动。
平面关节机器人驱动机构及其方法

[发明专利]一种太阳能电池的制绒方法-CN201210528389.8在审
发明人： 王兆祥;邱达燕;倪图强;苏兴才 -专利权人：中微半导体设备（上海）有限公司
申请日： 2012-12-10 - 公布日： 2014-06-18 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明提供了一种太阳能电池的制绒方法，将基片放置于等离子体处理腔室中进行制程，其中，所述制绒方法包括：向腔室内部通入反应气体和侧壁保护气体；同时对所述基片表面进行刻蚀和侧壁保护，并在上述制程中施加脉冲式偏置射频电压，以形成绒面。本发明能够形成较好的表面绒面。
一种太阳能电池方法