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[发明专利]快速控温载片台、去胶刻蚀设备及去胶工艺-CN202311029596.3有效
发明人：范雄;王兆丰;田文康;张笑语 -专利权人：无锡尚积半导体科技有限公司
申请日： 2023-08-16 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种快速控温载片台、去胶刻蚀设备及去胶工艺，快速控温载片台包括：底座，所述底座中分布有冷却回路，所述冷却回路设有进口和出口；加热层，设置于底座上；电热丝，布设在加热层中；隔层，设置在底座与加热层之间，用于物理隔离电热丝与冷却回路；所述隔层为热的良导体；温度传感器，温度传感器的传感部穿过隔层与加热层接触。本发明能够在晶圆去胶工艺过程中，通过校准流量的工艺冷却液控制载片台温度略微下降，抵消去胶工艺过程中晶圆表面温度上升导致刻蚀速率不断上升的趋势，控制去胶速率基本达到匀速的效果；在保证完全去胶的前提下，更加精确地控制去胶后的留余时间，尽可能减小易氧化膜层的氧化程度。
快速控温载片台刻蚀设备工艺

[实用新型]一种电缆分支箱应急安装支架-CN202320913679.8有效
发明人：韩建国;翁建;刘志慧;王瑞阳;王兆丰;赵艳峰;李东亮 -专利权人：平山县世景新能源有限公司
申请日： 2023-04-21 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： H02G15/10 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种电缆分支箱应急安装支架，包括底架，所述底架的侧壁开设有两个滑槽，所述底架的侧壁开设有凹槽，所述凹槽内转动连接有转轮，所述转轮的侧壁上固定连接有双头螺纹杆，所述双头螺纹杆延伸至滑槽内，且各所述滑槽内均滑动连接有横向压板，两个所述横向压板分别螺纹连接在双头螺纹杆的两个螺纹段上，所述横向压板的侧壁开设有驱动槽，所述驱动槽内滑动连接有第一齿条与第二齿条。本实用新型通过设置双头螺纹杆、第一齿条、第二齿条及移动机构，能够实时调节两个横向压板及竖向压板之间的距离，如此可匹配不同尺寸的分支箱，能够在更换新的分支箱后，临时对分支箱进行固定，从而快速恢复供电，避免造成重大损失。
一种电缆分支应急安装支架

[发明专利]协同控压式刻蚀装置-CN202311150299.4在审
发明人：田文康;王兆丰;范雄;王世宽 -专利权人：无锡尚积半导体科技有限公司
申请日： 2023-09-07 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种协同控压式刻蚀装置，包括刻蚀筒和控压部；刻蚀筒内部形成刻蚀腔体，所述刻蚀腔体内设置有ESC底座，所述ESC底座上设置用于吸附晶圆的ESC；控压部包括控压内环和控压外环，所述控压内环的圆柱面上均匀布置有若干内环出气通道，所述控压外环位于控压内环外表面，所述控压外环的圆柱面上均匀布置有若干外环出气通道；其中，所述控压外环与所述控压内环之间能够产生相对运动，以使得至少部分所述外环出气通道与至少部分所述内环出气通道连通并形成控压通道。本申请能够均匀控制等离子的流向分布，更加精准的控制工艺腔体内部压力。
协同控压式刻蚀装置

[发明专利]一种高氯盐高有机质类废料的预处理方法-CN202310986151.8在审
发明人： 王兆丰;李书锋;路明;倪敬禹;葛锡印;周志杰;李国豪;孟翔成 -专利权人：山东郯创环保科技发展有限公司
申请日： 2023-08-07 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： B09B3/80 文献下载
摘要：本发明涉及危险废物处置技术领域，公开了一种高氯盐高有机质类废料的预处理方法，包括以下步骤：首先称取合适质量的高氯盐高有机质类废料倒入容器中；然后向容器中加入有机溶剂进行有机质溶解分离处理。该高氯盐高有机质类废料的预处理方法，通过加入适当的废有机溶剂，使高氯盐高有机质类危险废物中的有机质完全溶解，从而使其中的有机质溶解在有机溶剂中，进而实现危险废物中盐和有机质的分离，达到以废治废的作用，减少焚烧处置过程中的氯及盐含量，经过前处理后，不仅大大降低烟气中的氯化氢的含量及焚烧时的耗碱量，减少了焚烧废水中的含盐量，防止焚烧系统的腐蚀；降低焚烧物料中含盐量，防止焚烧炉的结焦，延长焚烧系统持续运行时间。
一种高氯盐高有机质废料预处理方法

[实用新型]一种位置度检具-CN202321008414.X有效
发明人：赵林然;于志远;刘云峰;鲁月新;陈志;刘兴华;张元鑫;王兆丰;林峰;赵国强 -专利权人：中信戴卡股份有限公司
申请日： 2023-04-28 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： G01B5/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种新型位置度检具，该新型位置度检具包括支板、检轴、定位轴、手柄、主连接螺栓、桥接部、侧连接螺栓。检轴与支板通过盈配合连接，支板与桥接部通过侧连接螺栓进行螺纹连接，主连接螺栓穿过定位轴、桥接部与手柄通过螺纹连接。桥接部、手柄可从检具上进行拆卸，从而保证了桥接部与手柄可重复利用于同尺寸的检具。现场在检测轮毂螺栓孔位置度是否合格的过程中，使用该新型位置度检具能够有效降低现场劳动强度、延长检具的使用寿命，降低检具的使用成本。解决了因检具上某一部分精度下降而导致的检具整体报废，传统位置度检具操作不便、劳动强度大，容易出现由于检察员疲劳而导致的检具检测不充分、不准确的问题。
一种位置度检具

[实用新型]一种香菇接种装置-CN202320990874.0有效
发明人： 王兆丰;杜石勇;强睿斌;马瑞林;郭永红 -专利权人：天水师范学院
申请日： 2023-04-27 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： A01G18/50 文献下载
摘要：本实用新型涉及香菇技术领域，且公开了一种香菇接种装置，包括底座，所述底座的顶部固定连接有液压装置，所述液压装置的顶部固定连接有顶板，所述顶板的顶部固定连接有存液桶，所述存液桶的底部固定连接有接种装置，所述顶板的底部活动连接有固定装置，本实用新型通过设有接种装置，有利于液体自动的流出，无需人工手动对液体的流出进行控制，使用起来方便快捷，加快了工作的效率，使得工作变得更加的轻松，通过设有固定装置，有利于固定香菇菌棒，使得香菇菌棒能够被固定住，防止其在进行接种时发生位移，保证其稳定性，且通过调节使得其能够将不同长度的菌菇棒固定住。
一种香菇接种装置

[发明专利]一种果树拉枝设备-CN202310895027.0有效
发明人：郭志刚;黄亚萍;王兆丰;呼丽萍;邹亚丽 -专利权人：天水师范学院
申请日： 2023-07-20 - 公布日： 2023-09-15 - 主分类号： A01G17/10 文献下载
摘要：本发明涉及农业种植技术领域，且公开了一种果树拉枝设备，解决了不便于对多个果树枝干进行拉枝调整的问题，其包括支撑座，所述支撑座的两侧分别设有弧形板，两个弧形板的一端分别与支撑座转动连接，两个弧形板的另一端通过插接锁定结构连接，弧形板上设有用于夹持果树主干的主干夹持器，弧形板上固定连接有导向条，弧形板的一侧设有若干活动座，活动座上开设有与导向条相配合的第一导向槽，且导向条贯穿第一导向槽，活动座的一侧设有转动连接的第一转轴；可以驱动若干个支架同步旋转，以使若干个支架保持相同的倾斜角度，使得果树枝干拉枝后整体协调美观，以及便于同时对若干个果树枝干进行拉枝，操作步骤简单便捷，提高了便利性。
一种果树设备

[发明专利]一种层状岩体隧道围岩大变形评估方法-CN202310799444.5在审
发明人：潘鹏志;迟福东;李凤琼;刘旭锋;周扬一;陈鸿杰;杨世界;王兆丰;张西波 -专利权人：中国科学院武汉岩土力学研究所;华能澜沧江水电股份有限公司;中国电建集团昆明勘测设计研究院有限公司
申请日： 2023-07-03 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： G06F30/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种层状岩体隧道围岩大变形评估方法，所述评估方法包括将层状岩体的隧道围岩按其大变形程度分为多个等级，各大变形等级通过以下过程确定：通过获得的隧址区围岩最大主应力σ、岩体各向异性强度、层厚及岩性类型，及地下水类型，对大变形等级进行初评；其后通过获得的最大主应力与隧道洞轴线的夹角α以及岩体的层理产状信息对大变形初评等级进行修正，得到修正后的大变形等级。本发明能够对层状围岩大变形灾害的风险等级进行多指标综合后的准确评估，提高了分级准确度。
一种层状隧道围岩变形评估方法

[发明专利]晶圆夹持装置-CN202310702095.0有效
发明人：田文康;范雄;王兆丰 -专利权人：无锡尚积半导体科技有限公司
申请日： 2023-06-14 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本申请公开了一种晶圆夹持装置，包括托盘、旋转限位块和至少两组固定限位组件，一组固定限位组件包括两个固定限位块，固定限位块上设有托槽，旋转限位块上设有托台；固定限位块可以作为夹持的基准，以便于晶圆受夹于预设位置；旋转限位块能够通过转动改变其与固定限位组件之间的距离，以便于三个限位块夹持不同规格的晶圆；通过托槽和托台配合支撑晶圆，三个限位块能够抬起晶圆、从而避免晶圆的背面受到损害；通过增设固定限位组件，夹持装置能够夹持更多规格的晶圆；使得不同组的托槽处于不同高度，并使得远离旋转限位块的托槽位置更高，配合对应高度的托台，既能够稳定地支承晶圆、又能够避免被支承的晶圆受到其他组固定限位组件的干涉。
夹持装置

[发明专利]基于压力传感器的钻屑量测试装置及方法-CN201910164701.1有效
发明人：刘军;陈向军;单文娟;王兆丰;袁军伟;王林;陈立伟;李宁 -专利权人：河南理工大学
申请日： 2019-03-05 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： E21F17/18 文献下载
摘要：基于压力传感器的钻屑量测试装置，包括空心钻杆、钻头、螺旋板、滑动变阻器、数据转换器和显示器，每块螺旋板对应平行设置在每道螺旋叶片前端部的前侧，螺旋板的后侧面与螺旋叶片之间设置有若干个弹簧，螺旋叶片后侧面固定连接有L型连杆；滑动变阻器设置在空心钻杆内部并位于L型连杆后侧，所有的L型连杆在空心钻杆内部的一端通过驱动杆与滑动变阻器的滑片连接，滑动变阻器的接线柱通过电线与数据转换器连接，数据转换器通过控制线与显示器连接，显示器上设置有电源开关和节点按钮。本发明还公开了基于压力传感器的钻屑量测试装置的测试方法。本发明原理科学、结构简单、便于操作、安全可靠性强，可实时进行测试，测试数据准确度高。
基于压力传感器钻屑量测试装置方法

[发明专利]一种不含瓦斯煤渗吸高度测试装置与方法-CN201710918616.0有效
发明人：岳基伟;王兆丰;刘海;董家昕;蒋运良;陈金生;潘善波;李皓伟;詹梦清;罗佳 -专利权人：河南理工大学;百色百矿集团有限公司
申请日： 2017-09-30 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： G01N13/04 文献下载
摘要：本发明属于煤矿安全技术领域，具体涉及一种不含瓦斯煤渗吸高度测试装置与方法。目前没有行之有效的途径掌握煤体中的水分、湿润半径，因此无法合理的确定注水孔的参数（注水时间及注水孔间距），这些壁垒阻碍了煤层注水消突措施的发展。为解决此问题，本发明设计一种不含瓦斯煤渗吸高度的测试装置包括特殊处理后的型煤、等截面水槽、一定厚度的海绵、PVC管和抽水泵。在抽水泵循环抽水、注水保证型煤底部渗吸水位不变的条件下，通过水敏显色指示剂实时读取渗吸高度，保证了研究的可靠性，为认清煤层注水防突的机理打下坚实的理论基础，进而为现场煤层注水参数的确定提供科学理论的指导，从而降低煤层瓦斯含量，实现煤炭安全高效开采。
一种瓦斯煤渗吸高度测试装置方法

[发明专利]基于多相机微变形监测的微型钻孔应力测量装置及方法-CN202211534037.3有效
发明人：潘鹏志;封雨捷;王兆丰 -专利权人：中国科学院武汉岩土力学研究所
申请日： 2022-12-02 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： G01L1/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于多相机微变形监测的微型钻孔应力测量装置及方法，通过定焦广角相机组拍摄应力扰动或解除前后钻孔内壁的周向全景图像，基于三维立体视觉技术和数字图像相关方法对钻孔内壁进行三维重构和图像匹配计算，能够获取钻孔内壁的全场应变演化情况。设定钻孔平面计算参考线，根据弹性力学理论计算钻孔位置处平均扰动应力和地应力值。该装置和方法基于多相机微变形监测技术，使用微型光学设备观测钻孔内壁，测量效果稳定，对被测岩体损伤小，抗干扰能力强，能够实现钻孔孔壁三维应变场测量，适用于深部复杂环境应力测量。另外，本发明采用装配式结构，使用方便，可实现反复多次使用，能有效降低深部岩体应力测量成本。
基于多相变形监测微型钻孔应力测量装置方法

[发明专利]一种基于声纹检测的起重车辆失衡的报警装置及方法-CN202310365232.6在审
发明人： 王兆丰;李少鹏;徐智新;郭铧;黄正润;张铭辉;赵鑫成;吴一凡;刘兴宇;魏亦淋 -专利权人：国网福建省电力有限公司;国网福建省电力有限公司超高压分公司
申请日： 2023-04-07 - 公布日： 2023-08-18 - 主分类号： B66C15/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于声纹检测的起重车辆失衡的报警装置及方法，通过向声纹探头的电磁线圈接通电流，从而触发磁性撞子撞击起重车辆的支腿，检测支腿因振动产生的声纹，并通过判断声纹是否超出预设声纹范围来确定支腿的受力情况。因此，能够检测支腿受力的不平衡情况，起到对起重车辆进行倾倒预警的效果。
一种基于声纹检测起重车辆失衡报警装置方法

[实用新型]晶圆位置检测装置-CN202320934256.4有效
发明人： 王兆丰;田文康 -专利权人：无锡尚积半导体科技有限公司
申请日： 2023-04-24 - 公布日： 2023-08-11 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本申请公开了一种晶圆位置检测装置，包括机械手和检测机构，机械手上设有检测孔，检测机构发出的检测信号能够穿过检测孔；当机械手承托晶圆时，晶圆能够遮挡部分检测信号；一旦晶圆在机械手上偏离预设位置，无论晶圆相较于预设位置靠前、靠后、靠左还是靠右，晶圆暴露在检测孔中、并用于遮挡检测信号的部分必然会对应增加或者减少，此时，检测信号的被遮挡量会随之增加或者减少；当检测信号的实际被遮挡量区别于预设被遮挡量时，检测机构即可判定晶圆不处于预设位置。
位置检测装置

[发明专利]刻蚀装置及均匀刻蚀晶圆的方法-CN202310443781.0有效
发明人： 王兆丰;范雄 -专利权人：无锡尚积半导体科技有限公司
申请日： 2023-04-24 - 公布日： 2023-07-21 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本申请公开了一种刻蚀装置及均匀刻蚀晶圆的方法，刻蚀装置包括刻蚀腔，刻蚀腔上设有第一进气通道、第二进气通道和出气通道，第一进气通道和第二进气通道的出气端高于晶圆，出气通道低于晶圆，通过第一进气通道输入工艺气体、第二进气通道输入辅助气体，能够提高晶圆刻蚀的均匀性；检测刻蚀均匀度的方法通过在晶圆表面确定九个测试点，检测九个测试点的刻蚀速率后，通过公式(Max‑Min)/2Avg计算晶圆的刻蚀均匀性，由此确认晶圆的刻蚀情况；均匀刻蚀晶圆的方法通过反应气体促进晶圆边缘反应、惰性气体妨碍晶圆边缘反应，从而提高晶圆刻蚀的均匀性。
刻蚀装置均匀方法

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