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专利名称

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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]一种镜头的检测方法-CN202210186912.7在审
发明人：张飞飞;张雷 -专利权人： 源纳微光学科技（苏州）有限公司
申请日： 2022-02-28 - 公布日： 2023-06-27 - 主分类号： G01M11/00 文献下载
摘要：一种镜头的检测方法，首先对镜头进行能量标定获得能量表，所述能量表中包含获取镜头能量时采用的光源波段、镜头能量、光源电流和曝光剂量及相互之间的对应关系；然后根据检测所需的光源波段以及所需的曝光剂量，在能量表中获得相应的检测所需的光源电流，将光源电流设定为检测所需光源电流，测量镜头的实际镜头能量，将获得的实际镜头能量值和能量表中与检测所需的镜头光源的波段及曝光剂量对应的镜头能量值比较获得差值和/或者差值比例，判断镜头是否存在问题。标准统一，并且简化镜头检测流程，通过测试结果轻松获取镜头的性能参数。
一种镜头检测方法

[发明专利]一种运动平台的抖动检测方法及检测系统-CN202211210134.7在审
发明人：张书荣;胡传武;胥涛棚;张峰;张雷 -专利权人： 源纳微光学科技（苏州）有限公司
申请日： 2022-09-30 - 公布日： 2023-06-27 - 主分类号： G01D5/26 文献下载
摘要：本发明提出一种运动平台的抖动检测方法及检测系统，以运动平台匀速运动区域作为抖动检测区域，将抖动检测区域划分为多个子区域，每个子区域划分为多个抖动检测区域，通过稳定的时钟脉冲检测每个抖动检测区域中读数头读取光栅尺位置信息对应的实际时钟脉冲信息，依据每个抖动检测区域的实际时钟脉冲信息获得抖动检测区域的第一检测值，依据抖动检测区域的第一检测值获取对应子区域中的第二检测值，对子区域的第二检测值进行整合，获得抖动检测区域的第三检测值，所述第三检测值与抖动阈值进行比较，判断运动平台是否抖动。实时快速获取运动平台的抖动信息，及时修正运动平台，避免工件报废。
一种运动平台抖动检测方法系统

[发明专利]一种光源组件的温度实时监控方法及监控系统-CN202211298263.6在审
发明人：周黎;胥涛棚;朱道龙;张雷 -专利权人： 源纳微光学科技（苏州）有限公司
申请日： 2022-10-22 - 公布日： 2023-02-03 - 主分类号： H01S5/00 文献下载
摘要：一种光源组件的温度实时监控方法，通过检测光源组件，获取半导体激光器的驱动电流I和合束端的温度T的对应关系；基于半导体激光器的驱动电流I和合束端的温度T的对应关系，依据设定的半导体激光器的驱动电流，获得对应的标准恒定温度；依据标准恒定温度设置温度阈值；获取光源组件的实时合束端温度，与所述温度阈值进行比较，判断合束端温度是否异常。更精准的判断合束端的温度是否异常，避免光源组件由于异常导致的过热造成器件损坏。
一种光源组件温度实时监控方法系统

[实用新型]一种能量标定机构-CN202220141457.4有效
发明人：孙省江;张宇阳;董昱君;朱亮;周黎;张雷 -专利权人： 源纳微光学科技（苏州）有限公司
申请日： 2022-01-19 - 公布日： 2022-08-02 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本实用新型提出一种能量标定机构，包括多个能量感测单元、能量安装板、安装座、传动件、驱动源、基座，多个能量感测单元设置于能量安装板上，能量安装板与安装座连接，安装座固定于运动台面，能量安装板进一步与传动件相连，传动件与驱动源相连，驱动源通过基座连接至运动台面下方，驱动源通过传动件带动能量安装板进行翻转，使得能量安装板能够暴露于运动台面的一侧或者回收在运动台面下方。通过翻转方式实现在能量感测单元非工作期间回收于运动台面下，减小其占用空间且能避免磕碰。
一种能量标定机构

[发明专利]一种能量标定模块及标定方法-CN202210031741.0在审
发明人：周黎;胥涛棚;董昱君;张雷 -专利权人： 源纳微光学科技（苏州）有限公司
申请日： 2022-01-12 - 公布日： 2022-05-17 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提出一种能量标定模块，用于对直写式光刻机的曝光镜头进行能量标定，包括能量感测单元，配置为感应多个曝光镜头出射的光能量的大小而输出感测电流，比较单元，配置为对能量感测单元输出的感测电流进行比较并输出比较结果；开关单元，与能量感测单元对应设置，配置为接通或断开能量感测单元与比较单元的电性连接；控制器单元，配置为控制开关单元导通或断开，以及根据比较单元的比较结果调节多个曝光镜头出射的光能量。本发明通过使用能量感测单元将光能量转化为感测电流，并通过比较单元实时比较感测电流，从而调节待标定曝光镜头出射的光能量以达到基准曝光镜头出射的光能量，能量一致性更高。
一种能量标定模块方法

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