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专利名称
农业 化学；冶金 建筑 机械工程 区域搜索
主分类
A 农业
B 作业；运输
C 化学；冶金
D 纺织；造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]基板翻转装置以及基板处理装置-CN201380031528.9有效
  • 篠原敬;涩川润;加藤洋 - 斯克林集团公司
  • 2013-02-28 - 2015-02-25 - H01L21/677
  • 本发明的目的在于提供能够使多张基板一起适当地翻转的技术。为了达到该目的，基板翻转装置具有：支撑机构(70)，将多张基板(W)支撑为呈水平姿势且在上下方向上隔开间隔地层叠的状态；夹持翻转机构(80)，对被支撑机构(70)支撑的多张基板(W)分别进行夹持，并且使多张基板(W)一起翻转。在支撑机构(70)中，支撑基板(W)的支撑构件(74)一边在上下方向上观察时远离基板的中心，一边向下方移动，从支撑位置移动至待避位置。另一方面，在夹持翻转机构(80)中，夹持基板的夹持构件(83)通过夹持构件驱动部从远离位置移动至接近位置，在该接近位置被弹性构件朝向基板的侧面施加弹性力。
  • 翻转装置以及处理
  • [发明专利]基板处理装置-CN200910007769.5有效
  • 涩川润;清川信治;光吉一郎 - 大日本网屏制造株式会社
  • 2009-02-24 - 2009-09-02 - H01L21/00
  • 一种基板处理装置，包括：刷，其用于清洗基板；跷板构件，其能够以支撑构件为支点进行摆动，相对所述支点在一侧具有力点部，相对所述支点在另一侧具有作用点部；按压用驱动器，其向所述跷板构件的力点部施加驱动力，使该跷板构件以所述支点为中心进行摆动，从而向该跷板构件施加用于将所述刷按压于基板的按压力；传递构件，其具有被作用点部，所述被作用点部接受从所述跷板构件的所述作用点部施加给所述力点部的驱动力，并向所述刷传递用于将所述刷按压于基板的按压力。
  • 处理装置
  •  1 
  • 共 4 条
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