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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]一种相位型衍射光栅-CN201811147241.3有效
发明人：刘子维;浦探超;史丽娜;谢常青;牛洁斌;王冠亚;李海亮;刘明 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2018-09-29 - 公布日： 2021-07-13 - 主分类号： G02B5/18 文献下载
摘要：本发明涉及衍射光栅技术领域，尤其涉及一种相位型衍射光栅，包括：薄膜衬底；所述薄膜衬底上均匀开设的形状和尺寸相同的多个栅孔，其中，所述多个栅孔在所述薄膜衬底上呈规则阵列排布；所述多个栅孔呈规则阵列排布时的横向周期为Px，纵向周期为Py；所述栅孔的尺寸与所述横向周期Px和纵向周期Py呈预设比例；所述薄膜衬底的厚度根据入射光的波长的值确定，由此获得±1级的绝对衍射效率值相对提高，0级和高级的绝对衍射效率得到有效抑制。
一种相位衍射光栅

[发明专利]一种纳米柱传感器、折射率检测装置及方法-CN201810859427.5有效
发明人：刘子维;史丽娜;浦探超;牛洁斌;李海亮;王冠亚;谢常青;刘明 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2018-08-01 - 公布日： 2021-04-27 - 主分类号： B81B7/00 文献下载
摘要：本申请公开一种纳米柱传感器、折射率检测装置及方法，所述纳米柱传感器包括：衬底、设置在所述衬底上的多个传感单元；所述多个传感单元在所述衬底上以预设间隔周期分布；所述多个传感单元中的每个传感单元包括多个纳米柱；其中，入射光照射到所述多个传感单元上时，根据所述多个传感单元产生的磁共振信号来确定所述纳米柱传感器所在空间的背景折射率。上述方案，能够提升纳米柱传感器的敏感度，且结构简单，易实现。
一种纳米传感器折射率检测装置方法

[发明专利]一种透射光栅-CN201610624132.0有效
发明人：史丽娜;刘子维;浦探超;李海亮;牛洁斌;谢常青;刘明 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2016-08-02 - 公布日： 2019-10-29 - 主分类号： G02B5/18 文献下载
摘要：本发明提供了一种透射光栅，包括：不透光薄膜及N个透光对称多边形孔；其中，N个透光对称多边形孔在不透光薄膜上呈斜方格子分布，且斜方格子的周期与对称多边形孔的大小之间具有预设的比例；如此，因N个透光对称多边形孔在不透光薄膜上呈斜方格子分布，完全抑制了背景噪声，提高了信噪比；且斜方格子的周期与所述对称多边形孔的大小之间按照预设的比例取值，使得所述光栅完全抑制了2级、3级、4级衍射，从而消除了谐波污染，提高了分辨率，进而确保分析结果的准确性，提高了摄谱精度；并且，该光栅能够实现自支撑，因此可以消除衬底带来的损耗；另外，由于该光栅结构上只存在透光和不透光两种区域，这种二值化的结构易于加工。
一种透射光栅

[发明专利]一种透射光栅-CN201611184567.4有效
发明人：史丽娜;李海亮;刘子维;浦探超;牛洁斌;谢常青;刘明 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2016-12-20 - 公布日： 2019-10-18 - 主分类号： G02B5/18 文献下载
摘要：本发明提供了一种透射光栅，所述透射光栅包括：不透光薄膜及N个透光狭缝；其中，所述N个透光狭缝在所述不透光薄膜上呈周期分布，且所述透光狭缝的大小与所述狭缝的分布周期之间具有预设的比例；所述狭缝沿所述光栅的y轴方向呈之字形；如此，因N个透光狭缝在所述不透光薄膜上呈周期分布，完全抑制了背景噪声，提高了信噪比；且所述光栅周期与所述之字形透光狭缝的大小之间按照预设的比例取值，使得所述光栅完全抑制了2级、3级、4级衍射，从而消除了谐波污染，提高了分辨率，进而确保分析结果的准确性，提高了摄谱精度；并且，由于该光栅结构简单，比已有单级衍射光栅易于加工；因透光狭缝的透光率高，提高了绝对衍射效率。
一种透射光栅

[发明专利]一种用于极紫外的二维单级衍射光栅-CN201710368980.4有效
发明人：刘子维;浦探超;史丽娜;谢常青;王冠亚;李海亮;牛洁斌;刘明 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2017-05-23 - 公布日： 2019-08-06 - 主分类号： G02B5/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种极紫外光的二维单级衍射光栅，包括：透明基底以及位于所述透明基底表面的栅条层；所述栅条层具有多个透光栅条以及多个不透光栅条；所述透光栅条以及所述不透光栅条在第一方向上交替分布，且所述透光栅条以及所述不透光栅条均沿第二方向延伸，所述第一方向垂直于所述第二方向；在所述第一方向上，所述透光栅条相对的两边均为锯齿形；且所述透光栅条在所述第一方向上的宽度处处相同。本发明技术方案通过锯齿形的透光栅条与不透光栅条实现衍射，透光栅条的宽度不变，并设置随机分布的透光栅条，使得不透光栅条的宽度满足预设的随机分布，可以在实现对预设波段实现衍射的同时消除高次谐波。
一种用于紫外二维衍射光栅

[发明专利]一种单级衍射光栅-CN201610625575.1有效
发明人：史丽娜;刘子维;浦探超;李海亮;牛洁斌;谢常青;刘明 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2016-08-02 - 公布日： 2019-07-23 - 主分类号： G02B5/18 文献下载
摘要：本发明提供了一种单级衍射光栅，所述衍射光栅包括：不透光薄膜及N个透光孔；其中，所述N个透光孔以预设的几率密度、呈准斜方格子分布在所述不透光薄膜上；且所述透光孔的大小与所述准斜方格子的周期之间具有预设的比例；如此，不透光薄膜上分布N个透光孔，且透光孔以一定的几率密度呈准斜方格子分布，因此只有0级和+/‑1级衍射，不存在高级衍射，能够消除谐波污染，提高分辨率，进而确保分析结果的准确性，提高了摄谱精度；并且，该光栅能够实现自支撑，因此可以消除衬底带来的损耗；另外，由于该光栅结构上只存在透光和不透光两种区域，这种二值化的结构易于加工。
一种衍射光栅

[发明专利]一种极紫外单级衍射光栅-CN201710157609.3有效
发明人： 浦探超;刘子维;史丽娜;谢常青;李海亮;牛洁斌;刘明 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2017-03-16 - 公布日： 2019-05-21 - 主分类号： G02B5/18 文献下载
摘要：本申请提供一种极紫外单级衍射光栅，包括透光衬底；和位于所述透光衬底上的不透光薄膜，所述不透光薄膜上开设有多个圆形透光通孔；半径随机的圆形透光通孔在所述不透光薄膜上呈斜方格子分布，完全抑制了背景噪声，提高了信噪比；且所述斜方格子的周期与所述的每个圆形通孔的半径的最大值和最小值之间按照预设的比例取值，这种光栅抑制了±2级和±3级衍射，从而消除了谐波污染，提高了分辨率，大大降低了结果的误差，进而提高分析结果的可靠性和准确性，提高了摄谱精度。
一种紫外衍射光栅

[发明专利]一种衍射光栅-CN201611184566.X有效
发明人：史丽娜;牛洁斌;李海亮;刘子维;浦探超;谢常青;刘明 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2016-12-20 - 公布日： 2019-05-03 - 主分类号： G02B5/18 文献下载
摘要：本发明提供了一种衍射光栅，所述衍射光栅包括：不透光薄膜及开设在所述不透光薄膜上的N个透光圆孔；N为大于100的正整数；其中，所述N个透光圆孔以预设的几率密度、呈准斜方格子分布在所述不透光薄膜上；且所述透光圆孔的大小与所述准斜方格子的周期之间具有预设的比例；如此，透光薄膜1上分布N个透光圆孔，且透光孔以一定的几率密度呈准斜方格子分布，因此能够完全抑制2，3，4级衍射，提高分辨率，进而确保分析结果的准确性，提高了摄谱精度；并且，该光栅能够实现自支撑，因此可以消除衬底带来的损耗；另外，由于该光栅结构由圆孔组成，且相邻圆孔之间的距离较大，所以易于加工。
一种衍射光栅

[发明专利]一种极紫外高级抑制衍射光栅-CN201710157606.X在审
发明人：刘子维;浦探超;史丽娜;谢常青;李海亮;牛洁斌;王冠亚;刘明 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2017-03-16 - 公布日： 2017-08-15 - 主分类号： G02B5/18 文献下载
摘要：本申请公开了一种极紫外高级抑制衍射光栅，通过在不透光薄膜上开设多个形状和面积相同的多边形透光通孔，且使多边形透光通孔在所述不透光薄膜上呈准三角阵列随机分布。从而能够使得光栅在可见光、极紫外光、红外光各个波段都可以有效抑制高级衍射，包括2n、3n、4n、5n级的衍射(n为非零整数)，消除谐波污染，完全抑制了背景噪声，同时最大化的减少了噪点的影响，提高了分辨率和灵敏度，简化工艺难度，为极紫外波段的有效抑制提供了技术保证和工艺支持。
一种紫外高级抑制衍射光栅

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