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- [实用新型]一种新型坩埚-CN202321206060.X有效
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戴兴旺;李宁;居法银
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浙江优众新材料科技有限公司
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2023-05-18
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2023-09-15
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C23C14/26
- 本实用新型适用于坩埚技术领域，提供了一种新型坩埚，包括坩埚本体以及盖设在坩埚本体上的坩埚盖；坩埚本体端部呈圆周阵列分布开有锥形槽；坩埚盖表面呈圆周阵列分布设置有支撑柱；支撑柱端部设置有与锥形槽相适配的第一锥形柱；使用时，将坩埚盖盖合在坩埚本体上，使用清洗后，将坩埚盖正放在坩埚盘中，且将第一锥形柱插进锥形槽中，使得坩埚本体倒放在坩埚盖正上方。该装置将坩埚盖正放在坩埚盘中，且将第一锥形柱插进锥形槽中，使得坩埚本体倒放在坩埚盖正上方，坩埚本体中的水流到坩埚盖表面，通过导流孔流走，提高了后续烘干效率，提高了坩埚盖与坩埚本体的盖合稳定性，同时避免各坩埚本体与坩埚盖混杂在一起，避免丢失。
- 一种新型坩埚
- [实用新型]一种预贴合装置-CN202321206086.4有效
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杨忻周;李宁;居法银
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浙江优众新材料科技有限公司
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2023-05-18
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2023-09-15
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H01L21/67
- 本实用新型适用于半导体生产技术领域，提供了一种预贴合装置，包括组装架以及滑动设置在组装架上的密封盖；组装架包括从上往下依次设置的组装台与输气箱；组装台与输气箱之间对称设置有T形固定板；组装台与输气箱之间均设有均流管；组装台表面均匀开设有放置槽；放置槽内底面开有气流腔；组装台内部均匀开设有气流室；各气流室与对应的气流腔之间开设有导流孔。该装置通过将待贴合部件依次放置到相适配的放置槽中，盖紧密封盖，通过进气管开始充气，气体进入气流室后通过导流孔进入气流腔中，进行预贴合，代替传统手工预贴合的方式，防止产品受力过大导致结构损伤，避免人员接触导致结构面污染。
- 一种贴合装置
- [实用新型]一种全自动的喷金设备-CN202223158730.3有效
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范博渊;李宁;居法银
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浙江优众新材料科技有限公司
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2022-11-28
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2023-02-28
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C23C14/34
- 本实用新型公开了一种全自动的喷金设备，涉及喷金设备技术领域。本实用新型包括箱体，箱体内底部安装有控制器，箱体外顶部固定有真空筒；真空筒内底部固定有环形卡轨；环形卡轨上卡接有样品台。本实用新型由控制器控制整套喷金流程，通过真空传感器检测真空度，通过喷金厚度探测头，对喷金厚度进行实时检测，当喷金厚度到达指定的标准后，控制器控制启动空压机自动进行放真空操作，实现了全自动化过程，并对喷金的功率以及抽真空的程度进行一定的监测，使得其幅度变化，趋向于稳定；通过转动环形转轮，带动弧形夹板相互远离或靠近，对样品进行定位固定，实现了对不同规格大小的样品定位固定，防止样品发生晃动，影响喷金效果。
- 一种全自动设备
- [实用新型]一种ALD镀膜载具-CN202222397848.5有效
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戴兴旺;李宁;居法银
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浙江优众新材料科技有限公司
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2022-09-09
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2023-02-10
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C23C16/455
- 本实用新型涉及半导体制造技术领域，公开一种ALD镀膜载具，包括有：主体，所述主体上设有相互贯穿的置放槽和插槽，所述置放槽用于置放晶圆；防绕镀板，与所述主体可拆卸连接，当所述防绕镀板与所述主体分离时，所述晶圆可进行双面镀膜；当所述防绕镀板插接在所述插槽中且贯穿所述置放槽时，所述晶圆可进行单面镀膜。本实用新型的优点在于，该ALD镀膜载具通过在主体上设置插槽和插槽，并与防绕镀板相配合，可满足晶圆的单面或双面镀膜需求，节省载具开发的成本，进而降低生产成本；且可避免单面绕镀问题，保证晶圆镀膜的可靠性。
- 一种ald镀膜
- [实用新型]一种具有分区温控的干法刻蚀装置-CN202222407748.6有效
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费爱勇;李宁;居法银
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浙江优众新材料科技有限公司
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2022-09-09
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2023-02-10
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H01L21/67
- 本实用新型涉及干法刻蚀装置技术领域，公开一种具有分区温控的干法刻蚀装置，包括有：多个具有温度控制功能的冷水机；用于置放晶圆的基座，所述基座包括置放区，所述置放区由多个分区组成，各所述分区中均设置有流道；进水管和出水管，所述进水管和所述出水管两者的一端分别与所述流道的两端相连通，所述进水管和所述出水管两者的另一端均与所述冷水机相连，以实现液体的循环。本实用新型的优点在于，该干法刻蚀装置通过将用于置放晶圆的置放区设置呈多个分区，在每个分区上均设置流道，且每个分区分别通过进水管和出水管与具有温度控制功能的冷水机相连，进而实现晶圆基座温度的分区域独立控制，并可实现定点调控，提高晶圆刻蚀良品率。
- 一种具有分区温控刻蚀装置
- [发明专利]一种复制Si微结构的方法-CN202211098788.5在审
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张志磊;李宁;居法银
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浙江优众新材料科技有限公司
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2022-09-07
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2022-12-30
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G03F7/00
- 本发明属于微纳加工技术领域，涉及一种复制Si微结构的方法，包括以下步骤：将Si微结构进行防粘处理，然后旋涂紫外固化光刻胶，将第一PET膜放置在紫外固化光刻胶上，压印分离，得到印有与微结构相反的PET膜，进行防粘处理，在其表面放置旋涂纳米压印光刻胶的第二PET膜，压印分离，得到印有微结构的PET膜，进行防粘处理，表面旋涂H‑PDSM，注浇PDMS，热固化后，分离得到PDMS柔性膜，将其放置于压印设备中，在表面放置旋涂有光刻压印胶的光学玻璃，压印，分离得到印有微结构的光学玻璃产品。本发明的复制Si微结构的方法，避免Si微结构与PDMS直接接触，有利于Si微结构的清洗，提高Si微结构使用寿命。
- 一种复制si微结构方法
- [实用新型]一种灭蚊拍-CN202221868320.5有效
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范博渊;李宁;居法银
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浙江优众新材料科技有限公司
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2022-07-19
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2022-09-30
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A01M3/00
- 本实用新型属于机械技术领域，涉及一种灭蚊拍，其解决了现有灭蚊拍灭蚊效率低等问题。本灭蚊拍包括拍杆、拍框和拍面，拍框固定于拍杆上，拍面采用电网制成且固定于拍框上，拍框上还设置有能够发出频率为350‑550赫兹声波的频率发生器。蚊子对于350‑550赫兹的声波较为敏感，当频率发生器发出350‑550赫兹的声波时，蚊子可被吸引至拍面上，从而被通电的拍面电击，起到灭蚊效果。与发光的灭蚊拍相比，声波式的灭蚊拍效率更高，且不会影响人们正常生活。
- 一种灭蚊
- [实用新型]一种纳米光学产品的清洗夹具-CN202221344222.1有效
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张成龙;李宁;居法银
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浙江优众新材料科技有限公司
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2022-05-30
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2022-08-23
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B08B13/00
- 本实用新型属于夹具技术领域，涉及一种纳米光学产品的清洗夹具，其解决了现有清洗夹具的清洗效率低、效果差等问题。本清洗夹具包括上盖、中间盖、下盖以及至少两根导向杆，上盖、中间盖开设有上通孔和中间通孔，导向杆穿过上通孔、中间通孔与下盖相连接，中间盖与下盖之间设置有可调节两者距离的调节机构，下盖开设有底槽，中间盖开设有中间槽，上盖开设有顶槽，底槽、中间槽、顶槽三者相对应对产品形成固定。与现有技术相比，上盖、中间盖和下盖的设计，可减小夹具与产品的接触面积，提高清洗效果；还可根据不同产品的高度，调节中间盖与下盖间的距离，保证对产品固定的同时不影响清洗效果；设计有至少两根导向杆，可避免下盖清洗时发生转动。
- 一种纳米光学产品清洗夹具
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