专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [实用新型]一种原子层沉积用远程等离子体发生装置-CN202320522868.2有效
  • 丁阳;蔡村;许颖;韦德远;王会鹏 - 活石半导体(北京)有限公司
  • 2023-03-13 - 2023-07-04 - H05H1/28
  • 本实用新型涉及原子层沉积技术领域,且公开了一种原子层沉积用远程等离子体发生装置,包括主体,所述主体两侧的中间位置处对称开设有出口,所述主体内部的两侧对称固接有安装板,所述安装板内部的中间位置处安装有发生器,所述主体内顶部的中间位置处安装有可以进行散热的散热组件,该原子层沉积用远程等离子体发生装置,可以将装置内部的热量抽出,防止装置内部的热量过高对装置内部的零部件造成损伤,不但提高了装置的散热效果,还提高了装置的使用寿命,该原子层沉积用远程等离子体发生装置,可以对外界连接的管道进行加固,防止装置在使用时连接管道发生掉落,进而提高了装置在使用时的稳定性。
  • 一种原子沉积远程等离子体发生装置
  • [实用新型]一种光学检测用可变角度镜头-CN202222565268.2有效
  • 许颖;蔡村;丁阳;辛毓 - 活石半导体(北京)有限公司
  • 2022-09-26 - 2023-05-05 - G02B7/02
  • 本实用新型公开了一种光学检测用可变角度镜头,包括安装箱,所述安装箱的顶部开设有安装槽,所述安装槽的内部安装有转盘,所述转盘的顶部安装有安装柱,所述安装柱的顶部安装有一对安装板,一对所述安装板之间安装有万向轴,所述万向轴的外侧套设有连接块,所述连接块的顶部安装有连接板,所述连接板顶部的相对两侧均安装有固定板,一对所述连接杆之间安装有光学检测镜头,所述安装柱的四周均安装有连接引脚,所述安装柱的四周均通过连接引脚安装有电磁推杆,所述电磁推杆的输出端与连接板底部相互安装。本实用新型,结构简单合理,设计新颖,操作简单便捷,有效解决了现有光学镜头难以进行角度调节的问题,具有较高的实用价值。
  • 一种光学检测可变角度镜头
  • [实用新型]一种光学检测用自动翻转样品台-CN202222688731.2有效
  • 李爽;丁阳;蔡村;孙彪;韦德远 - 活石半导体(北京)有限公司
  • 2022-10-12 - 2023-03-17 - G01B11/00
  • 本实用新型公开了一种光学检测用自动翻转样品台,包括移动仓,所述移动仓的顶部固定连接有固定板,所述固定板的表面固定连接有支撑柱,所述支撑柱的顶端固定连接有功能板,所述功能板表面的一侧固定连接有安装块,所述安装块表面的两侧均安装有第一电动伸缩杆,所述安装块表面的中部固定连接有安装柱,所述安装柱的一端安装有电机本体,所述电机本体的输出端连接有旋转台。本实用新型通过设置的移动仓、固定板、支撑柱、功能板、安装块、第一电动伸缩杆、安装柱、电机本体、旋转台、夹持板、夹持槽、插接柱、第五电动伸缩杆、限位杆、转盘和第一外部开关,使用时,通过以上设备之间的配合,达到了使装置可以适应多种设备进行夹持检测的目的。
  • 一种光学检测自动翻转样品
  • [实用新型]一种光学检测用无接触样品夹具-CN202222688620.1有效
  • 李爽;丁阳;许颖;辛毓 - 活石半导体(北京)有限公司
  • 2022-10-12 - 2023-02-28 - G01B11/00
  • 本实用新型公开了一种光学检测用无接触样品夹具,包括主支撑功能板,所述主支撑功能板的底部固定连接有安装连接块,所述主支撑功能板的表面安装有电机本体,所述电机本体输出端的表面连接有第一限位板,所述电机本体输出端的一端连接有移动旋转栓,所述移动旋转栓的表面螺纹连接有移动支撑块,所述移动旋转栓的另一端固定连接有第二限位板,所述第二限位板的表面连接有旋转连接杆,所述旋转连接杆的一端连接有限位固定块。本实用新型通过设置的主支撑功能板、电机本体、第一限位板、移动旋转栓、移动支撑块、第二限位板、旋转连接杆和限位固定块,使用时,通过以上设备的配合,达到了装置可以进行机器控制的移动,避免了劳动力的浪费的目的。
  • 一种光学检测接触样品夹具
  • [实用新型]一种化学气相沉积用气体分布装置-CN202222688921.4有效
  • 李爽;丁阳;蔡村;孙彪;韦德远;辛毓 - 活石半导体(北京)有限公司
  • 2022-10-12 - 2023-01-10 - C23C16/455
  • 本实用新型涉及气体分布技术领域,具体为一种化学气相沉积用气体分布装置,包括分布装置主体,所述气体分布装置主体包括设备外壳,所述设备外壳的顶端外表面连接有泄压组件,所述设备外壳的内部连接有分布组件主体,所述设备外壳的内部连接有封盖,且封盖的内部连接有扶持组件,所述设备外壳的内壁连接有出气槽;所述扶持组件包括第一抵板、缓冲气囊、第一支撑杆、第一卡杆、出气槽。该化学气相沉积用气体分布装置,通过设置扶持组件,可有效方便沉积盘进行固定,减少气流冲击沉积盘时所产生的晃动,且该装置通过设置泄压组件,可有效通过气体冲击第一撑杆,使部分高压气体从设备外壳的内部排出,以增加泄压效果。
  • 一种化学沉积气体分布装置
  • [实用新型]一种光学检测用四色光源-CN202222315167.X有效
  • 许颖;丁阳;李爽;辛毓;黄志平 - 活石半导体(北京)有限公司
  • 2022-08-31 - 2022-12-20 - G01N21/01
  • 本实用新型公开了一种光学检测用四色光源,包包括支撑腿,支撑腿的顶端固定连接有工作面板,工作面板的表面固定连接有限位套筒,限位套筒的内侧活动连接有检测光源,限位套筒的内侧转动连接有转动把手,转动把手包括限位转轴,限位转轴转动连接在转动把手的表面,转动把手的外侧固定连接有连接拉绳,限位套筒的内侧固定连接有连接挡板,连接挡板的表面固定连接有第一弹簧,本实用新型本实用新型通过转动把手的作用,可以方便带动连接拉绳进行旋转缠绕,方便对连接拉绳进行收卷,通过连接拉绳的收卷可以方便对限位卡块起到拉动的作用,通过限位卡块的位置移动可以方便解除对检测光源的更换,方便对损坏的检测光源重新安装。
  • 一种光学检测色光
  • [实用新型]一种化学机械抛光用样品抓取装置-CN202222650310.0有效
  • 蔡村;李爽;丁阳;黄志平 - 活石半导体(北京)有限公司
  • 2022-10-09 - 2022-12-20 - B25J18/00
  • 本实用新型涉及抓取装置技术领域,具体为一种化学机械抛光用样品抓取装置,包括机座,所述机座顶端设置有机械臂,且机械臂另一端活动设置有转动座,所述转动座底端两侧皆活动连接有连接块,且连接块底端皆安装有夹爪,更换组件,所述更换组件位于连接块和夹爪之间,且更换组件包括插杆,所述插杆分别固定在两组夹爪顶端,且插杆顶端皆插设在连接块底端内壁开设的孔洞内,两组所述连接块底端相背离的一侧内壁皆开设有开槽。本实用新型通过对夹爪进行更换,有效的解决了现有的抓取装置上的夹爪与装置大都为一体化设计,不方便工作人员对夹爪的规格进行更换,导致抓取装置不能适用于不同规格样品的问。
  • 一种化学机械抛光样品抓取装置
  • [实用新型]一种原子层沉积用前驱体储罐-CN202221564711.8有效
  • 丁阳;蔡村;许颖;韦德远 - 活石半导体(北京)有限公司
  • 2022-06-20 - 2022-11-22 - B65D90/00
  • 本实用新型涉及储罐技术领域,具体为一种原子层沉积用前驱体储罐,包括储罐主体和沉积盘,所述储罐主体包括罐体,所述罐体的内壁连接有紧固机构,所述罐体的底端外表面连接有取样瓶,且取样瓶的顶端表面连接有取样机构;所述紧固机构包括第一卡杆、第一连接座、第一抵块和扭力弹簧,所述罐体的内壁连接有第一连接座,且第一连接座的内壁连接有第一卡杆,所述第一卡杆的一侧表面连接有扭力弹簧,所述第一卡杆的外表面连接有第一抵块。该原子层沉积用前驱体储罐,通过设置紧固机构,可有效方便对沉积盘进行紧固固定,且该装置通过设置取样机构,可有效方便对气体进行引导取样。
  • 一种原子沉积前驱体储罐
  • [实用新型]一种前驱体储罐实时精密称重装置-CN202221623216.X有效
  • 丁阳;李爽;蔡村;孙彪 - 活石半导体(北京)有限公司
  • 2022-06-27 - 2022-09-13 - B65D90/48
  • 本实用新型涉及称重装置技术领域,具体涉及一种前驱体储罐实时精密称重装置,包括装置主体,所述装置主体的内部插设有前驱体储罐主体,所述前驱体储罐主体的表面套设有放置机构,所述放置机构包括第一放置框,所述前驱体储罐主体的表面套设有第一放置框,且第一放置框的一侧固定连接有固定板。该装置通过设置有放置机构和稳定机构,放置机构有利于第一放置框缓慢的下降放置,同时通过固定板与齿轮的啮合使第一放置框在第二放置框的内部进行限位,使其不能移动,从而不会使前驱体储罐主体移动影响精密承重,稳定机构有利于使承重板稳定的受力,便于稳定的精密称重,同时不会使得前驱体储罐主体发生剧烈的运动而导致影响称重。
  • 一种前驱体储罐实时精密称重装置
  • [实用新型]一种原子层沉积用等离子体供应装置-CN202221487388.9有效
  • 丁阳;蔡村;许颖;韦德远;辛毓 - 活石半导体(北京)有限公司
  • 2022-06-14 - 2022-09-06 - C23C16/50
  • 本实用新型涉及原子层沉积技术领域,具体为一种原子层沉积用等离子体供应装置,包括供应装置主体,所述供应装置主体包括设备外壳,所述设备外壳的的外表面连接有发生器,且发生器的一侧表面连接有锁定机构,所述设备外壳的内壁连接有下支撑块,且下支撑块的顶端表面连接有第一抵板,所述第一抵板的底端表面连接有固定组件;所述锁定机构包括内通管、第一连接环和螺纹件,所述发生器的一侧表面连接有内通管,且内通管的外表面连接有螺纹件,所述螺纹件的外表面套接有第一连接环。该原子层沉积用等离子体供应装置,通过设置锁定机构,可有效方便使发生器和设备外壳进行连接,且该装置通过设置固定组件,可有效方便对第一抵板进行紧固固定。
  • 一种原子沉积等离子体供应装置

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