专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]感光性树脂组合物、感光性元件以及抗蚀图案的形成方法-CN201410589930.5有效
  • 玉田春仙;泽边贤 - 日立化成株式会社
  • 2014-10-28 - 2019-11-01 - G03F7/004
  • 本发明提供一种感光性树脂组合物、感光性元件以及抗蚀图案的形成方法。本发明提供一种能够缩短显影时间且能够形成具有充分高的耐酸性、密合性以及可挠性的抗蚀图案的感光性树脂组合物。一种感光性树脂组合物,其含有(A)具有下述通式(I)所表示的结构单元、下述通式(II)所表示的结构单元和下述通式(III)所表示的结构单元的粘合剂聚合物、(B)光聚合性化合物以及(C)光聚合引发剂。式(I)、(II)以及(III)中,R1、R2以及R4各自独立地表示氢原子或者甲基,R3表示碳原子数1~30的烷基,R5表示碳原子数1~10的烷基等,AO表示氧亚烷基。m表示0~5的整数,s表示1~5,在m为2~5时,多个R5彼此可以相同也可以不同。
  • 感光性树脂组合元件以及图案形成方法
  • [发明专利]光阻图案的形成方法-CN201110409304.X无效
  • 泽边贤;野尻刚 - 日立化成工业株式会社
  • 2006-07-19 - 2012-06-27 - G03F7/00
  • 本发明提供一种光阻图案的形成方法,其是在基材上将感光性组件以感光层与所述基材密着的方式层叠,将活性光线以图像状照射,将曝光部用pH值为9~11的碱性水溶液显影而除去,所述感光性组件具备支撑体与在该支撑体上所形成的由感光性树脂组合物构成的感光层,所述感光性树脂组合物含有(a)由酚醛清漆型酚树脂的酚式羟基与多元酸酐反应所得的化合物、与(b)1,2-重氮醌化合物。
  • 图案形成方法

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