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专利名称

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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]相移掩模、检测元件、散焦量检测方法、焦点调整方法以及器件的制造方法-CN202280014132.2在审
发明人： 泷优介;矢岛海都;牛田正男;冨冈贞祐;原笃史;铃木一弘;樋口潔 -专利权人：株式会社尼康
申请日： 2022-04-22 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： G03F1/44 文献下载
摘要：本发明涉及相移掩模(100、200)，其具有基材(10)、第1半透过层(20)和第2半透过层(20)、以及遮光层(30)，在上述基材的表面形成有测量标记，该测量标记具有下述区域沿着与上述表面平行的排列方向相邻地设置的图案：配置有第1半透过层的第1区域(A1)；上述基材表面露出的第2区域(B1)；配置有上述遮光层的第3区域(C)；配置有第2半透过层的第4区域(A2)；以及上述基材表面露出的第5区域(B2)。
相移检测元件散焦方法焦点调整以及器件制造

[发明专利]功能性被膜、浸液部件、浸液部件的制造方法、曝光装置、以及设备制造方法-CN201480004940.6有效
发明人：岸梅工;泷优介 -专利权人：株式会社尼康
申请日： 2014-01-22 - 公布日： 2017-05-24 - 主分类号： C23C14/06 文献下载
摘要：一种施加于基材表面的功能性被膜，包含掺杂有Ti的四面体非晶碳的膜(ta‑CTi膜)。
功能性被膜浸液部件制造方法曝光装置以及设备

[发明专利]复合塑料部件及其制造方法-CN201280044362.X有效
发明人： 泷优介;高桥洋平;浦川裕次郎 -专利权人：株式会社尼康
申请日： 2012-09-13 - 公布日： 2014-05-14 - 主分类号： C23C14/20 文献下载
摘要：本发明涉及复合塑料部件及其制造方法。复合塑料部件包含在塑料基材上层叠的由多个铬层构成的第一层叠体（102a）；和在第一层叠体上层叠的由多个氮化铬层构成的第二层叠体。第一层叠体以及第二层叠体是在层叠方向交替地层叠了与上下相接的层相比硬度相对较低的层和硬度相对较高的层而成的部件，在第二层叠体中，硬度相对较高的氮化铬层的膜厚是硬度相对较低的层的膜厚的40％以下。复合塑料部件具备耐磨性较高、滑动性良好、具有导电性以及漂亮外观的层叠体。
复合塑料部件及其制造方法

[发明专利]液浸构件、液浸构件的制造方法、曝光装置、及元件制造方法-CN201310061254.X无效
发明人： 泷优介 -专利权人：株式会社尼康
申请日： 2010-12-21 - 公布日： 2013-06-05 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供一种液浸构件、液浸构件的制造方法、曝光装置、及元件制造方法，该液浸构件(6)，是以液体(LQ)充满照射于物体的曝光用光(EL)的光路(K)的方式在与前述物体之间保持液体(LQ)以形成液浸空间(LS)。液浸构件(6)，于与液体(LQ)接触的区域的至少一部分形成有碳为主成分的非晶碳膜。通过本发明，能够抑制曝光不良的产生，从而能抑制不良元件的产生及生产性的降低的问题。
构件制造方法曝光装置元件

[发明专利]导电性滑动膜、形成有导电性滑动膜的部件及其制造方法-CN201180023017.3有效
发明人： 泷优介 -专利权人：株式会社尼康
申请日： 2011-05-06 - 公布日： 2013-01-16 - 主分类号： C23C14/06 文献下载
摘要：本发明的导电性滑动膜（50）是施加于相对滑动的部件（60）的表面的被膜。导电性滑动膜（50）是掺杂了金属元素的,电阻率在102～10-4[Ωcm]的范围，表面硬度在10～30[GPa]的范围的掺金属四面体无定形碳。导电性滑动膜具备高耐磨性和良好的滑动性，适于照相机用安装部件。
导电性滑动形成部件及其制造方法

[发明专利]液浸构件、液浸构件的制造方法、曝光装置、及元件制造方法-CN201080056237.1无效
发明人： 泷优介 -专利权人：株式会社尼康
申请日： 2010-12-21 - 公布日： 2012-08-29 - 主分类号： H01L21/027 文献下载
摘要：液浸构件(6)，是以液体(LQ)充满照射于物体的曝光用光(EL)的光路(K)的方式在与前述物体之间保持液体(LQ)以形成液浸空间(LS)。液浸构件(6)，于与液体(LQ)接触的区域的至少一部分形成有非晶碳膜。
构件制造方法曝光装置元件

[发明专利]碳纳米管集合体及其制造方法-CN200580029941.7有效
发明人： 泷优介;筱原清晃 -专利权人：尼康股份有限公司
申请日： 2005-11-10 - 公布日： 2007-09-19 - 主分类号： C01B31/02 文献下载
摘要：本发明提供一种碳纳米管集合体的制造方法，其含有：在基板上形成既定粒径的金属微粒的步骤；使该金属微粒于还原环境气氛中加热至300℃～400℃的既定温度使表面还原的步骤；使该金属微粒于反应炉内加热至既定的反应温度的步骤；将有机化合物蒸气导入至反应炉而在该金属微粒上成长碳纳米管的步骤，其从开始对该金属微粒进行加热后、至碳纳米管开始成长的期间，是使该金属微粒的温度超过450℃的时间为600秒以内。
纳米集合体及其制造方法

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