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[发明专利]一种AlCrTiSiN纳米复合涂层镀覆合金锯片的制备方法-CN202211075629.3有效
发明人：李永皓;张露馨;王海;关力 -专利权人： 沈阳乐贝真空技术有限公司
申请日： 2022-09-05 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： C23C14/32 文献下载
摘要：本发明涉及合金锯片的制备领域，具体涉及一种AlCrTiSiN纳米复合涂层镀覆合金锯片的制备方法，该方法依次包括以下步骤：(1)沉积技术的确认、(2)靶材及靶材数量的确认、(3)合金锯片的选择与前处理过程、(4)合金锯片的放置、(5)镀膜工艺的确定，通过该方法制备的AlCrTiSiN纳米复合涂层综合性能良好、硬度高、高温稳定性强、能有效防止涂层脱落的问题，延长涂层工件的使用寿命。
一种 alcrtisin 纳米复合涂层镀覆合金制备方法

[实用新型]一种多工位同步旋转转架-CN202320440881.3有效
发明人：王海;白海萍;王英智;郭喜明 -专利权人： 沈阳乐贝真空技术有限公司
申请日： 2023-03-10 - 公布日： 2023-08-11 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：一种多工位同步旋转转架，解决现有技术存在的仅能间歇性的实现工件的二次自转，镀膜均匀性差，装载量小，实用性差的问题。包括若干个、沿同一圆周分别转动设置在下部公转盘上的工位自转轴，工位自转轴下端固定设置的工位自转小齿轮分别与固定大齿轮相啮合；工位自转轴的上端分别固定设置有齿轮箱，齿轮箱的上侧设置有若干组、沿同一圆周布置的同步自转齿轮轴；同步自转齿轮轴的上端分别设置有同步自转架，同步自转架的上端与上回转盘相连，上回转盘的中部通过工位定位转轴与上部公转盘转动相连。其设计合理，结构紧凑，工件公、自转可调，且工件工位本身还能够同时实现二次自转，装载量大，可有效提高生产效率。
一种多工位同步旋转

[实用新型]一种双开门柔性多功能真空镀膜设备-CN202320847231.0有效
发明人：王海;白海萍;王光华;王英智;郭喜明;王开亮;吴迪 -专利权人： 沈阳乐贝真空技术有限公司
申请日： 2023-04-17 - 公布日： 2023-07-21 - 主分类号： C23C14/54 文献下载
摘要：一种双开门柔性多功能真空镀膜设备，解决现有的真空镀膜系统设备仅能实现单一种类的硬质涂层方式，使用灵活性差，无法同时适应工业生产和科研院所实验使用要求的问题。包括双开门真空炉体，双开门真空炉体内侧的底部设置有中心水冷阳极和侧装水冷阳极，双开门真空炉体内侧的顶部设置有中心等离子体发生器和侧装等离子体发生器；磁流体主轴一端设置的从动齿轮与同驱动电机相连的主动齿轮相啮合；双开门真空炉体后方的控制箱体内还设置有抽气机组、主控制柜、水路控制柜和电源柜。其设计合理，结构紧凑，采用双开门柔性配置，可转换硬质涂层的方式，使用灵活，能够实现多功能、多元、多层复合硬质涂层、装饰涂层以及DLC涂层的制备。
一种双开柔性多功能真空镀膜设备

[发明专利]一种双开门柔性多功能真空镀膜设备-CN202310405749.3在审
发明人：王海;白海萍;王光华;王英智;郭喜明;王开亮;吴迪 -专利权人： 沈阳乐贝真空技术有限公司
申请日： 2023-04-17 - 公布日： 2023-07-07 - 主分类号： C23C14/54 文献下载
摘要：一种双开门柔性多功能真空镀膜设备，解决现有的真空镀膜系统设备仅能实现单一种类的硬质涂层方式，使用灵活性差，无法同时适应工业生产和科研院所实验使用要求的问题。包括双开门真空炉体，双开门真空炉体内侧的底部设置有中心水冷阳极和侧装水冷阳极，双开门真空炉体内侧的顶部设置有中心等离子体发生器和侧装等离子体发生器；磁流体主轴一端设置的从动齿轮与同驱动电机相连的主动齿轮相啮合；双开门真空炉体后方的控制箱体内还设置有抽气机组、主控制柜、水路控制柜和电源柜。其设计合理，结构紧凑，采用双开门柔性配置，可转换硬质涂层的方式，使用灵活，能够实现多功能、多元、多层复合硬质涂层、装饰涂层以及DLC涂层的制备。
一种双开柔性多功能真空镀膜设备

[发明专利]一种TiAlZrN纳米复合涂层镀覆合金铣刀片的制备方法-CN202211483540.0在审
发明人：白海萍;李永皓;张露馨;王海;关力 -专利权人： 沈阳乐贝真空技术有限公司
申请日： 2022-11-24 - 公布日： 2023-03-07 - 主分类号： C23C14/32 文献下载
摘要：本发明属于合金铣刀片的制备领域，具体涉及一种TiAlZrN纳米复合涂层镀覆合金铣刀片的制备方法，具体步骤包括沉积技术的确认、靶材的确定、合金铣刀片的选择与前处理过程、合金铣刀片的放置和镀膜工艺的确定，镀膜过程为先进行基体离子清洗，然后在离子刻蚀后的合金铣刀片基体上依次沉积TiAlN膜层、TiAlZrN过渡层和ZrN膜层，通过该方法制备的合金铣刀片高温稳定性强、结合力好，具有2300‑2400HV的超高硬度，可以在950‑1100℃下进行高温切削，涂层有效地减少了积削瘤粘连问题，提高刀片使用寿命。
一种 tialzrn 纳米复合涂层镀覆合金铣刀制备方法

[实用新型]一种带充气的气动挡板阀-CN202220083317.6有效
发明人：张浩;郭喜明;王开亮;王海 -专利权人： 沈阳乐贝真空技术有限公司
申请日： 2022-01-13 - 公布日： 2022-08-12 - 主分类号： F16K1/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了：一种带充气的气动挡板阀，包括气缸，所述气缸的底部设有通气底座，所述通气底座设置在安装座上，所述安装座安装在阀体上，所述阀体上设有进口管，所述进口管上设有进口法兰，所述阀体上设有出口法兰，所述气缸连接活塞杆，所述活塞杆的末端设有阀板，所述阀板与所述安装座之间设有波纹管，所述通气底座上设有连通管，所述连通管的一端连接所述波纹管的内部，所述连通管的另一端连接充气罐，通过添加波纹管的方式为气动挡板阀提供活塞杆的保护装置，不仅能够保证气动挡板阀的使用寿命，降低易损件的损伤率，同时还能通过充气的方式提供辅助动力提高关阀的速度和动力，提高设备内的使用效果。
一种充气气动挡板

[实用新型]一种配置热丝的真空镀膜装置-CN202220083322.7有效
发明人：王英智;吴迪;王开亮;王海 -专利权人： 沈阳乐贝真空技术有限公司
申请日： 2022-01-13 - 公布日： 2022-07-19 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种配置热丝的真空镀膜装置，包括机体，所述底板的顶部两侧均通过轴承转动相连有直杆，所述直杆的一侧通孔活动相连有曲杆，所述曲杆的顶部通过轴承转动相连有螺杆，所述螺杆的外壁下方螺纹相连有套筒，所述套筒的两侧均通过销轴转动相连有斜杆，两个所述斜杆的底部均通过销轴转动相连有滑套，两个所述滑套的外壁分别与曲杆的外壁下方滑动卡接，两个所述滑套的底部固接有弯板，所述螺杆的顶部安装有把手。本实用新型涉及真空镀膜技术领域，通过螺杆、斜杆和曲杆之间的配合，实现了工件的快速固定，防止工件在加工时出现晃动的情况，解决了现有装置在进行工作时对工件的固定不够稳固的问题，在转动时不容易发生运动。
一种配置真空镀膜装置

[实用新型]一种配置水冷阳极的真空镀膜装置-CN202220083277.5有效
发明人：王开亮;王帅;李天琦;王海 -专利权人： 沈阳乐贝真空技术有限公司
申请日： 2022-01-13 - 公布日： 2022-05-27 - 主分类号： C23C14/22 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种配置水冷阳极的真空镀膜装置，包括机体，所述机体的顶部连通有阳极，所述阳极的上方安装有固定件，所述机体的内壁顶部安装有第二温度探头，所述外壳的顶部一侧连通有阀门。本实用新型涉及真空镀膜机技术领域，通过环形管、潜水泵和阀门之间的配合，通过第一温度探头和第二温度探头的监测，使用者可灵活控制阀门的打开幅度和潜水泵的工作，保证在节约资源的前提下维持阳极的正常工作，解决了现有装置在进行工作时无法直观的了解到阳极的温度变化，进而无法灵活控制冷却液的输出温度，冷却液温度过高或者过低都会影响阳极的正常工作的问题，不影响正常使用。
一种配置水冷阳极真空镀膜装置

[实用新型]一种应用在硬质涂层真空镀膜设备上的快速冷却装置-CN202121759642.1有效
发明人：王开亮;王英智;郭喜明;刘洋 -专利权人： 沈阳乐贝真空技术有限公司
申请日： 2021-07-30 - 公布日： 2021-12-28 - 主分类号： C23C14/22 文献下载
摘要：一种应用在硬质涂层真空镀膜设备上的快速冷却装置，解决现有技术存在的等待降温时间较长，生产设备利用率低，影响企业经济效益的问题。包括设置在真空室顶部的上盖水冷竖接管，其特征在于：上盖水冷竖接管的上端与上端横水冷接管的一端相连，上端横水冷接管的另一端通过真空挡板阀与气体换热器的换热进气口相连；气体换热器的换热出气口通过竖水冷接管与罗茨泵的进气口相连，罗茨泵出气口设置的下端横水冷接管与下端纵水冷接管的一端相连，下端纵水冷接管的另一端与真空室底部的下盖水冷竖接管相连。其设计合理，结构紧凑，采用闭环式换热方式，降温迅速，运行平稳，使用安全可靠，能够确保镀膜工件质量，可有效提升生产设备的利用率。
一种应用硬质涂层真空镀膜设备快速冷却装置

[实用新型]一种用在真空镀膜设备上的翻转挡板装置-CN202121759653.X有效
发明人：郭喜明;王帅;王开亮;张浩 -专利权人： 沈阳乐贝真空技术有限公司
申请日： 2021-07-30 - 公布日： 2021-12-28 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：一种用在真空镀膜设备上的翻转挡板装置，解决现有沉积源遮挡装置存在的移位机构结构复杂，占用空间大，运动灵活性差，故障率高，维护困难，不利于高效生产的问题。包括设置在沉积源前侧的翻转挡板，其特征在于：翻转挡板的上端通过挡板上转轴与镀膜真空室内侧壁顶部的固定箱体转动连接，翻转挡板的下端通过挡板下转轴与镀膜真空室底部的下转轴基座相铰接；翻转挡板上端的挡板上转轴，还通过设置在固定箱体内部的挡板驱动机构、与驱动气缸的气缸伸缩杆相连，且驱动气缸通过气缸连接座固定在镀膜真空室的外侧壁上。其设计合理，结构紧凑，机构占用空间小，能够适用于空间受限的场合，布置方式灵活，使用可靠性高，应用范围广。
一种真空镀膜设备翻转挡板装置

[实用新型]一种用在真空镀膜设备上的带侧旋转功能的镀带锯装置-CN202121388211.9有效
发明人：王英智;郭喜明;王开亮;吴迪 -专利权人： 沈阳乐贝真空技术有限公司
申请日： 2021-06-22 - 公布日： 2021-12-10 - 主分类号： C23C14/32 文献下载
摘要：一种用在真空镀膜设备上的带侧旋转功能的镀带锯装置，解决现有技术存在的厚度较薄的长带锯难以进行表面涂层，无法保证齿面涂层厚度的均匀性，影响带锯使用效果的问题。包括设置在真空室底部的转动主轴，其特征在于：转动主轴的一端与驱动电机相连，转动主轴另一端的大转盘上侧，转动设置有若干组竖向布置的自旋转轴，自旋转轴上端的侧旋转固定架上，分别设置有沿同一圆周、径向水平布置的侧旋转轴，侧旋转轴分别通过传动锥齿轮与对应的自旋转轴相连，侧旋转轴前端分别设置有带锯片工装。其设计合理，结构紧凑，能够对带锯进行齿面的硬质涂层沉积，有效确保涂层厚度的均匀性，提升带锯的使用寿命，便于装卸工件，生产效率高，实用性强。
一种真空镀膜设备旋转功能带锯装置

[实用新型]一种应用在真空镀膜设备上的双驱动转盘系统-CN202121435854.4有效
发明人：王英智;王开亮;王帅;刘洋 -专利权人： 沈阳乐贝真空技术有限公司
申请日： 2021-06-28 - 公布日： 2021-12-10 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：一种应用在真空镀膜设备上的双驱动转盘系统，解决现有技术存在的镀膜工艺研发试验过程中，耗费时间较长，试验费用高，设备利用率低的问题。包括其上转动设置有若干组自转轴的下转盘，其特征在于：自转轴上、穿过下转盘的下端，分别设置有小齿轮，小齿轮分别与下转盘下方的自转大齿轮相啮合；自转大齿轮的空芯主轴与主轴轴承座相连，空芯主轴下端的空芯轴从动齿轮，与大齿轮驱动电机输出端的空芯轴主动齿轮相啮合；下转盘的转盘主轴穿过空芯主轴的中部通腔，且与转盘驱动电机的输出端相连。其设计合理，结构紧凑，自转轴可在沉积源前侧自转，有效缩短试验周期、节省费用，既适用于正常生产镀膜，也适用于研发试验，设备使用率高，实用性强。
一种应用真空镀膜设备驱动转盘系统

[实用新型]一种应用在真空工具镀膜设备上的三维转盘结构-CN202121510328.X有效
发明人：李永皓;王英智;郭喜明;吴迪 -专利权人： 沈阳乐贝真空技术有限公司
申请日： 2021-07-05 - 公布日： 2021-12-10 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：一种应用在真空工具镀膜设备上的三维转盘结构，解决现有技术存在的镀膜工件始终有一侧朝向承载台内侧，工件表面镀膜厚度不均匀，影响产成品质量的问题。包括下转盘，其特征在于：下转盘上转动设置有若干组自转轴，自转轴上分别设置有若干组工件承载盘，各工件承载盘上还分别设置有若干个可转动角度的镀膜工件；自转轴下端设置的转动小齿轮分别与固定大齿轮的外齿相啮合；下转盘中部的转动主轴，通过主轴轴承座与镀膜真空室底部转动相连；转动主轴下端通过联轴器与驱动电机的输出端相连。其设计合理，结构紧凑，在随着大转盘公转和随着工件承载台自转的同时，镀膜工件自身还能够二次自转，可有效确保工件表面镀膜厚度的均匀性，提高涂层质量。
一种应用真空工具镀膜设备三维转盘结构

[实用新型]一种配置热丝的电弧离子镀膜装置-CN201921404078.4有效
发明人：赵彦辉;刘忠海;王海;于宝海;王英智;刘洋 -专利权人：中国科学院金属研究所;沈阳乐贝真空技术有限公司
申请日： 2019-08-27 - 公布日： 2020-07-10 - 主分类号： C23C14/32 文献下载
摘要：本实用新型属于材料表面改性领域，具体涉及一种配置热丝的电弧离子镀膜装置。在设备真空室的侧壁处相对设置热丝接线柱，每个热丝接线柱的一端通过真空室侧壁伸入真空室内，每个热丝接线柱穿设固定于真空室侧壁的一个热丝绝缘块上，每个热丝接线柱的另一端露在真空室外侧；相对设置的两个热丝接线柱露出真空室外壁的一端，分别通过导线接热丝电源的正极与负极，相对设置的两个热丝接线柱伸至真空室内的一端通过热丝连接，形成一组热丝发射热电子结构。在镀膜过程中，通过给热丝通电，使其发射热电子，热电子在迁徙过程中通过与气体分子或金属原子发生碰撞，使其发生电离，从而提高真空室内的等离子体密度，提高薄膜致密化程度及其沉积速率。
一种配置电弧离子镀膜装置

[实用新型]一种配置中心辅助阳极的电弧离子镀膜装置-CN201921405739.5有效
发明人：赵彦辉;刘忠海;王海;于宝海;王英智;刘洋 -专利权人：中国科学院金属研究所;沈阳乐贝真空技术有限公司
申请日： 2019-08-27 - 公布日： 2020-07-10 - 主分类号： C23C14/32 文献下载
摘要：本实用新型属于材料表面改性领域，涉及一种配置中心辅助阳极的电弧离子镀膜装置。在电弧离子镀设备上部中心的法兰位置处接一根或两根以上辅助阳极棒，辅助阳极棒通过绝缘块与法兰绝缘，辅助阳极棒由紫铜制作，采用空心水冷，辅助阳极棒接辅助阳极电源正极，辅助阳极电源负极接真空室外壁。在镀膜过程中，真空室内产生的电子在辅助阳极电场力的作用下发生迁徙，在迁徙过程中将气体分子电离，极大提高真空室内的等离子体密度，可有效提高镀膜沉积效率和薄膜致密度。本实用新型不仅适用于工业广泛应用的电弧离子镀设备，而且对于离化率较高的各种离子镀及高功率脉冲磁控溅射等技术同样适用，可有效提高其等离子体密度。
一种配置中心辅助阳极电弧离子镀膜装置

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