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- [发明专利]斜抛光纤折射率传感器及其制备方法-CN201610997567.X有效
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王鸣;邓彩松;潘庭婷;沈萌
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南京师范大学
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2016-11-11
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2019-02-19
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G01N21/41
- 本发明公开了一种斜抛光纤折射率传感器及其制作方法。该传感器包括单模光纤、V型光纤槽以及胶体晶体膜,单模光纤的端面为45度的斜面,V型光纤槽位于胶体晶体膜的上方;单模光纤位于V型光纤槽内,其45度的斜面朝上;单模光纤的轴线与胶体晶体膜的平面平行。制作方法的主要步骤为:湿法腐蚀法在硅晶圆上制作V型光纤槽阵列,垂直沉积的方法制作一定厚度的胶体晶体膜阵列,再将胶体晶体膜基底和V型光纤槽粘贴固定,随后固定单模光纤将其压紧在V型光纤槽内,最后划片并封装。本发明的结构新颖、灵敏度高、可靠性好、线性测量范围大、成本低廉、可批量生产,能广泛应用于工业中的折射率检测。
- 抛光折射率传感器及其制备方法
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