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[发明专利]单层石墨烯薄膜基复合结构、制备方法及半导体器件-CN201610879181.9有效
发明人： 汪际军 -专利权人：全普半导体科技（深圳）有限公司
申请日： 2016-10-08 - 公布日： 2020-03-31 - 主分类号： H01G11/26 文献下载
摘要：本发明提供了一种单层石墨烯薄膜基复合结构、制备方法及半导体器件，该结构包括单层石墨烯薄膜和在单层石墨烯薄膜表面的纳米线垂直阵列；该纳米线垂直阵列包括至少两层纳米线子阵列，至少两层纳米线子阵列的顶部高度不相同，并且相同层的纳米线子阵列的顶部高度相同，使得纳米线垂直阵列具有高低起伏的顶部。本发明的单层石墨烯薄膜基复合结构，兼具快速载流子迁移率、高的比表面积的优点，并且可以提高单位时间内的吸附或释放电荷的数量以及增大电荷存储量。
单层石墨薄膜复合结构制备方法半导体器件

[发明专利]三维图像生成芯片、制备方法、装置及三维图像生成方法-CN201910014259.4在审
发明人： 汪际军 -专利权人：全普光电科技（上海）有限公司
申请日： 2019-01-08 - 公布日： 2019-07-26 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本发明提供了一种三维图像生成芯片、制备方法、装置及三维图像生成方法，图像扫描单元采用的MEMS扫描微镜上集成了图像获取单元和光发射单元。实现动态发光，提高发光均匀性，提高图像探测扫描速率，降低光能损耗，提高图像亮度和分辨率。利用MEMS扫描微镜的摆动来实现大量像素的快速生成，从而确保了在实时传输过程中生成的动态三维图像的分辨率和清晰度。
三维图像扫描微镜分辨率制备芯片图像获取单元图像扫描单元发光均匀性光发射单元动态发光光能损耗快速生成实时传输图像探测摆动像素扫描图像

[发明专利]一种杀菌MEMS发光微镜及杀菌方法-CN201910014257.5在审
发明人： 汪际军 -专利权人：全普光电科技（上海）有限公司
申请日： 2019-01-08 - 公布日： 2019-06-21 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本发明提供了一种杀菌MEMS发光微镜及杀菌方法，利用反射镜的快速旋转来实现微观扫描即像素级扫描，紫外发光元件随着反射镜的旋转而旋转，实现动态紫外光辐射，有效的提高了杀菌面积和杀菌效率。并且，由于将紫外发光器件与MEMS扫描微镜芯片集成于一体，大大降低了器件尺寸，实现了器件的轻薄化。
杀菌反射镜微镜发光扫描紫外发光器件紫外发光元件紫外光辐射快速旋转扫描微镜杀菌效率芯片集成面积和轻薄化像素级微观

[发明专利]一种MEMS照明器件及照明方法-CN201910014278.7在审
发明人： 汪际军 -专利权人：全普光电科技（上海）有限公司
申请日： 2019-01-08 - 公布日： 2019-06-21 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本发明提供了一种MEMS照明器件及照明方法，将光发射单元集成于MEMS扫描微镜的反射镜中，MEMS扫描微镜沿着扭臂进行摆动，每摆动一次，光发射单元摆动并发射出随之摆动的光束，从而实现动态发光。因此，本发明的MEMS发光微镜可以应用于照明领域，实现光源的动态发射，提高发光均匀性，降低光能损耗，提高光束亮度和强度。
摆动光发射单元扫描微镜照明器件发光均匀性动态发光动态发射光能损耗照明领域反射镜扭臂微镜光源发光发射应用

[发明专利]自发光自成像MEMS微镜-CN201910014363.3在审
发明人： 汪际军 -专利权人：全普光电科技（上海）有限公司
申请日： 2019-01-08 - 公布日： 2019-06-21 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本发明提供了一种自发光自成像MEMS微镜，利用可见光发射单元发射可见光光线，利用图像获取单元获取物体的图像信息数据。其中，MEMS扫描微镜芯片上集成了可见光发射单元、图像获取单元，可以伴随着反射镜沿扭臂的摆动而向外界发出可见光光束或接受外界的反射的可见光光束光束，利用反射镜的摆动来实现大量像素的快速生成，从而确保了在实时传输过程中生成的动态图像的分辨率和清晰度；同时实现动态发光，提高发光均匀性，提高图像探测扫描速率，降低光能损耗，提高图像亮度和分辨率。
可见光发射单元图像获取单元可见光光束反射镜自成像自发光分辨率摆动图像信息数据发光均匀性可见光光线动态发光动态图像光能损耗快速生成扫描微镜实时传输图像探测扭臂像素反射扫描芯片图像发射

[发明专利]MEMS红外探测微镜、装置及探测方法-CN201910014361.4在审
发明人： 汪际军 -专利权人：全普光电科技（上海）有限公司
申请日： 2019-01-08 - 公布日： 2019-05-28 - 主分类号： G01J5/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种本发明的MEMS红外探测微镜、装置及探测方法，利用红外发射单元发射红外光线，利用MEMS图像扫描单元获取物体的图像信息数据。其中，图像扫描单元采用的MEMS扫描微镜芯片上集成了红外发射单元、图像获取单元，可以伴随着反射镜沿扭臂的摆动而向外界发出红外光束或接受外界的反射的红外光束，利用反射镜的摆动来实现大量像素的快速生成，从而确保了在实时传输过程中生成的动态红外温度图像的分辨率和清晰度；同时实现动态发光，提高发光均匀性，提高图像探测扫描速率，降低光能损耗，提高图像亮度和分辨率。
红外发射单元图像扫描单元红外光束红外探测反射镜分辨率摆动微镜探测图像获取单元图像信息数据发光均匀性动态发光光能损耗红外光线快速生成扫描微镜实时传输图像探测温度图像扭臂像素反射扫描芯片图像发射

[发明专利]MEMS芯片结构及制备方法、掩膜版、器件-CN201811476831.0在审
发明人： 汪际军 -专利权人：全普光电科技（上海）有限公司
申请日： 2018-12-05 - 公布日： 2019-04-19 - 主分类号： B81B7/02 文献下载
摘要：本发明提供了一种MEMS芯片结构及制备方法、掩膜版、器件，通过设置MEMS主元件和MEMS辅助元件，将驱动电路元件、逻辑运算元件、CPU中央处理元件、电源与MEMS主元件融合在同一个芯片上，免去了传统MEMS器件中多个处理电路板所占用的较大较多的空间，显著缩小了以MEMS为基础的器件体积；也即是，去除了外围电路设计，采用本发明的MEMS芯片结构，将无需使用传统的芯片外围电路，由于芯片外围电路占据电器件产品的主要空间和体积，这将使得本发明的MEMS芯片结构为基础的电器件产品的体积和占据空间大大减小，真正的实现了电器件的微型化和便携性。
电器件芯片外围电路掩膜版主元件制备逻辑运算元件驱动电路元件外围电路设计中央处理元件微型化处理电路板辅助元件占据空间便携性传统的减小电源芯片占用融合占据

[发明专利]三维图像生成芯片、制备方法、装置及三维图像生成方法-CN201811476815.1在审
发明人： 汪际军 -专利权人：全普光电科技（上海）有限公司
申请日： 2018-12-05 - 公布日： 2019-04-19 - 主分类号： H04N13/20 文献下载
摘要：本发明提供了一种三维图像生成芯片、制备方法、装置及三维图像生成方法，利用MEMS图像扫描单元获取物体的图像信息数据，利用计算单元来得到三维图像信息数据。图像扫描单元采用的MEMS扫描微镜上集成了图像获取单元，利用MEMS扫描微镜的摆动来实现大量像素的快速生成，从而确保了在实时传输过程中生成的动态三维图像的分辨率和清晰度。由于MEMS扫描微镜具有快速扫描、能够获取分辨率高的图像优势，本发明能够对外界的物体进行快速扫描和图像获取，而且，相比于传统的图像获取装置中图像获取器与反射镜芯片分离的弊端，本发明有效减小了光损耗，提高了图像亮度和清晰度。
三维图像扫描微镜图像扫描单元快速扫描分辨率制备芯片图像三维图像信息图像获取单元图像获取装置图像信息数据反射镜芯片图像获取器计算单元快速生成实时传输图像获取传统的光损耗摆动减小像素

[发明专利]图像快速获取微型芯片、制备方法及图像快速获取方法-CN201811476802.4在审
发明人： 汪际军 -专利权人：全普光电科技（上海）有限公司
申请日： 2018-12-05 - 公布日： 2019-04-09 - 主分类号： H04N5/225 文献下载
摘要：本发明提供了一种图像快速获取微型芯片及图像快速获取方法，MEMS扫描微镜上集成了图像获取单元，特别是图像获取单元设置在反射镜上，可以伴随着反射镜沿扭臂的摆动而接受外界的反射光束，并且，利用MEMS扫描微镜的摆动来实现像素的快速生成。由于MEMS扫描微镜具有快速扫描、能够获取分辨率高的图像优势，本发明的图像快速获取微型芯片能够对外界的物体进行快速扫描和图像获取，而且，相比于传统的图像获取装置中图像获取器与反射镜芯片分离的弊端，本发明有效减小了光损耗，提高了图像亮度和清晰度。
快速获取图像扫描微镜微型芯片图像获取单元快速扫描反射镜摆动图像获取装置反射镜芯片图像获取器反射光束快速生成图像获取传统的光损耗分辨率减小扭臂像素制备

[发明专利]红外温度图像生成芯片、装置及温度图像生成方法-CN201811476813.2在审
发明人： 汪际军 -专利权人：全普光电科技（上海）有限公司
申请日： 2018-12-05 - 公布日： 2019-04-05 - 主分类号： G01J5/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种红外温度图像生成芯片、装置及温度图像生成方法，利用MEMS图像扫描单元获取物体的图像信息数据，利用计算单元来得到温度图像信息数据。图像扫描单元采用的MEMS扫描微镜上集成了图像获取单元，特别是图像获取单元设置在反射镜上，可以伴随着反射镜沿扭臂的摆动而接受外界的反射光束，并且，利用MEMS扫描微镜的摆动来实现大量像素的快速生成，从而确保了在实时传输过程中生成的动态红外温度图像的分辨率和清晰度。
温度图像图像获取单元图像扫描单元扫描微镜反射镜摆动芯片图像信息数据反射光束计算单元快速生成实时传输信息数据分辨率扭臂像素

[发明专利]一种MEMS发光微镜及光发射方法-CN201910014272.X在审
发明人： 汪际军 -专利权人：全普光电科技（上海）有限公司
申请日： 2019-01-08 - 公布日： 2019-04-02 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本发明提供了一种MEMS发光微镜及光发射方法，将光发射单元集成于MEMS扫描微镜的反射镜中，MEMS扫描微镜沿着扭臂进行摆动，每摆动一次，光发射单元摆动并发射出随之摆动的光束，从而实现动态发光。因此，本发明的MEMS发光微镜可以应用于照明、光探测和净化领域，实现光源的动态发射，提高发光均匀性，提高图像探测扫描速率，降低光能损耗，提高图像亮度和分辨率。
摆动微镜发光光发射单元扫描微镜光发射发光均匀性动态发光动态发射光能损耗图像探测反射镜光探测分辨率扭臂光源扫描图像发射净化应用

[发明专利]一种石墨烯基纳米线复合结构及其制备方法-CN201610879358.5有效
发明人： 汪际军 -专利权人：全普光电科技（上海）有限公司
申请日： 2016-10-09 - 公布日： 2019-03-05 - 主分类号： B81B7/04 文献下载
摘要：本发明提供了一种石墨烯基纳米线复合结构及其制备方法，采用至少两种不同主族的金属化合物纳米线垂直生长于石墨烯基底上，从而确保石墨烯基底性能的前提下，提高了石墨烯基底的比表面积，以及将至少两种不同主族的金属化合物纳米线的性能与石墨烯的性能相结合，有利于石墨烯材料应用于半导体技术领域中；同时，两种不同主族的金属化合物纳米线的直径不相同，直径大的金属化合物纳米线的表面积占比大于直径小的金属化合物纳米线的表面积占比，此时，直径大的金属化合物纳米线的性能为石墨烯基纳米线复合结构的主要性能，从而通过选择调节纳米线的材料和直径，来实现石墨烯基纳米线复合结构的性能可调节性和灵活可选性。
一种石墨纳米复合结构及其制备方法

[发明专利]对准标记、掩膜版及其制备方法-CN201811476860.7在审
发明人： 汪际军 -专利权人：全普光电科技（上海）有限公司
申请日： 2018-12-05 - 公布日： 2019-02-19 - 主分类号： G03F9/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种对准标记、掩膜版及其制备方法，在每层掩膜版中设置对准标记且对准，实现多层掩膜版层套刻对准；进一步的，在每个掩膜版层中设置了至少连个对准标记，每一层子掩膜版层中的对准标记中，有一个与上相邻层的对准标记相同，有一个与下相邻层的对准标记相同，从而实现多层掩膜版的精确对准，在高集成度小尺寸图形下，提高套刻精度，提高器件质量。
对准标记掩膜版对准相邻层多层套刻制备小尺寸图形高集成度

[发明专利]智能保护器、太阳能电池及制备方法-CN201610882238.0有效
发明人： 汪际军 -专利权人：全普光电科技（上海）有限公司
申请日： 2016-10-09 - 公布日： 2019-02-01 - 主分类号： H02S40/10 文献下载
摘要：本发明提供了一种智能保护器、太阳能电池及制备方法，根据周围环境的变化适时控制透明石墨烯薄膜伸缩层的伸展或卷曲动作来实现对被保护物体的保护，由于透明石墨烯薄膜伸缩层的高的光透过率，不会影响透明石墨烯薄膜伸缩层的被保护物体的光吸收；透明石墨烯薄膜伸缩层的体积小、质量轻、柔性高且硬度高，经过长时间卷曲而不断裂，并且由于较高的硬度在伸展状态下能够有效保护被保护物体，还实现了对有机污染物及对水分的排除；在透明石墨烯薄膜伸缩层上生长半导体纳米线光催化薄膜，可用于自清洁以及作为光传感器和湿度传感器，代替其他探测器的使用，节约了成本，减小了器件的体积，有利于器件的微型化和集成化。
智能保护太阳能电池制备方法

[发明专利]电容传感装置-CN201610316001.6有效
发明人： 汪际军 -专利权人：全普光电科技（上海）有限公司
申请日： 2016-05-12 - 公布日： 2019-02-01 - 主分类号： G01B7/30 文献下载
摘要：一电容传感装置(300)包括耦合于多个串联电容组(C₀1，C₀2)的多个感测电路(310，510)。串联电容组(C₀2)中的每个电容(C31，C41)具有设置于一微扫描器(100，200)的一扫描板(40)或一平衡环(70)上一可动电极(431，441)和设置于一基底(10)中一腔体(20)的一侧壁(30)上的固定电极(131，142)。扫描版(40)或平衡环(70)的偏转导致串联电容组(C₀1，C₀2)电容值的变化。多个感测电路(310，510)输出对应于串联电容组(C₀1，C₀2)电容的多个电压值。电容传感装置(300)的输出信号为一反馈电路提供扫描器(100，200)投射激光束的角度信息。
电容传感装置

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