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[发明专利]一种制备介质膜片的设备及方法-CN202210073663.0在审
发明人：余卿;李俊红;樊青青;遆金铭;汪承灏 -专利权人：中国科学院声学研究所
申请日： 2022-01-21 - 公布日： 2023-07-28 - 主分类号： H04R31/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种制备介质膜片的设备及方法。设备包括：具有敞口的壳体、第一密封件、上盖板、升降平台、真空装置、加压装置以及第二密封件，其中，壳体、真空装置、上盖板、第一密封件、升降平台与第二密封件连接后形成一密闭空间。本发明通过真空装置从侧面抽去多孔膜片孔隙中的空气和对多孔膜片上表面施加高压的方法，将先驱体很好的渗透入多孔膜片中，能够提高多孔膜片的致密性和电学性能，不仅结构设计简单，操作方便，而且装置可重复使用，兼容性好。与传统的多孔膜片材料制备方法相比，成本低廉，易于操作。解决了现有技术中，多孔膜片致密性低、电学性能差的技术问题。
一种制备介质膜片设备方法

[发明专利]一种微硅球形腔的加工方法-CN202211488961.2在审
发明人：遆金铭;李俊红;樊青青;余卿;邓威;汪承灏 -专利权人：中国科学院声学研究所
申请日： 2022-11-25 - 公布日： 2023-05-16 - 主分类号： H01L21/308 文献下载
摘要：本发明公开了一种微硅球形腔的加工方法，该方法包括：在硅片待图形化的一面依次进行沉积刻蚀掩膜、光刻、去除部分刻蚀掩膜、去胶和深反应离子刻蚀的处理；经湿法刻蚀得到微硅球形腔；并对实时采集的图像预处理后依次输入刻蚀圆检测模块以及预先建立和训练好的粗糙度预测模型和刻蚀深度预测模型，得到当前刻蚀状态下微硅球形腔的俯视、截面图像以及刻蚀相关预测值；将刻蚀相关预测值与预期指标进行比较，若未达到预期指标，调整湿法刻蚀相关工艺参数，继续进行湿法刻蚀；若满足预期指标则停止刻蚀，得到符合预期指标的微硅球形腔；刻蚀圆检测模块基于Hough圆检测算法，粗糙度预测模型采用BP神经网络，刻蚀深度预测模型采用卷积神经网络。
一种球形加工方法

[发明专利]双质量块悬臂梁结构的MEMS压电矢量水听器芯片及制备方法-CN202310035451.8在审
发明人：樊青青;李俊红;余卿;邓威;遆金铭;汪承灏 -专利权人：中国科学院声学研究所
申请日： 2023-01-10 - 公布日： 2023-05-12 - 主分类号： G01H11/08 文献下载
摘要：本发明涉及一种双质量块悬臂梁结构的MEMS压电矢量水听器芯片及其制备方法，矢量水听器芯片包括：上质量块、下质量块、悬臂梁和“回”形基底支撑结构；其中悬臂梁的一端与“回”形基底支撑结构内壁相连接，以固定悬臂梁；悬臂梁的另一端悬空；上质量块和下质量块对称分布于悬臂梁的悬空端上下两侧；压电传感单元位于悬臂梁结构之上，能够感应梁的应力变化，并将其转化为电信号，实现加速度电测得。本发明提供的MEMS压电矢量水听器在悬臂梁上方增加上质量块，形成上下对称的双质量块结构，可明显提高矢量水听器的灵敏度以及指向性，并且制备工艺相对简单，不需要微小气隙，同时具备无源器件，工作稳定、噪声低的优点。
质量悬臂梁结构 mems 压电矢量水听器芯片制备方法

[发明专利]双质量块多边形结构的MEMS压电矢量水听器芯片的制备方法-CN202310036836.6在审
发明人：樊青青;邓威;李俊红;遆金铭;余卿;汪承灏 -专利权人：中国科学院声学研究所
申请日： 2023-01-10 - 公布日： 2023-05-12 - 主分类号： G01H11/08 文献下载
摘要：本发明涉及一种双质量块多边形结构的MEMS压电矢量水听器芯片的制备方法。包括加工衬底硅基片、压电复合悬臂结构、多边环形支撑结构、上下质量块。所述压电复合悬臂结构包括一体化的：悬臂中心和多条压电复合悬臂梁；所述压电复合悬臂梁的一端与所述质量块相连，其另一端与所述多边环形支撑结构一侧的内壁相连；上质量块和下质量块对称分布于所述多边环形支撑结构的正中心；相邻两个压电复合悬臂梁与多边环形支撑结构之间构成一个缝隙；多边环形支撑结构与下质量块之间形成孔洞。这种双质量块多边形结构的MEMS压电矢量水听器芯片的制备方法，工艺稳定性好，可行性强，成品率高。
质量多边形结构 mems 压电矢量水听器芯片制备方法

[发明专利]一种基于双质量块多边形结构的MEMS压电矢量水听器芯片-CN202310034371.0在审
发明人：邓威;樊青青;李俊红;余卿;遆金铭;汪承灏 -专利权人：中国科学院声学研究所
申请日： 2023-01-10 - 公布日： 2023-05-05 - 主分类号： G01H11/08 文献下载
摘要：本发明属于传感技术领域，具体涉及一种基于双质量块多边形结构的MEMS压电矢量水听器芯片。包括上质量块(8)、下质量块(7)、压电复合悬臂结构(e)、多边环形柱体支撑结构(d)；当外界有加速度作用时，惯性力使得质量块保持原有的运动，使悬臂梁发生变形产生相应的电荷，从而实现加速度电测得。本发明通过双质量块以及多边形结构极大的提高了所述MEMS压电矢量水听器的指向性；使得所述MEMS矢量水听器在x‑z平面与y‑z平面均呈现出无偏的“8”字形指向性，且在x‑z平面与y‑z平面的指向性能很好的重合，一致性好；实现了多个压电层的串联，提高了所述MEMS矢量水听器的灵敏度。
一种基于质量多边形结构 mems 压电矢量水听器芯片

[发明专利]一种简支悬臂梁结构MEMS压电矢量水听器及制备方法-CN201810630642.8有效
发明人：樊青青;李俊红;李东宁;汪承灏 -专利权人：中国科学院声学研究所
申请日： 2018-06-19 - 公布日： 2022-12-06 - 主分类号： B81B7/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种MEMS压电矢量水听器及其制备方法，矢量水听器包括：多个压电传感芯片、对应的多个后置放大电路，以及灌封结构。压电传感芯片包括：质量块、悬臂梁和“回”形基底支撑结构；质量块与悬臂梁的一端相连；悬臂梁的另一端与“回”形基底支撑结构一侧内壁相连并设置有沟槽；“回”形基底支撑结构的另外三侧内壁与质量块、悬臂梁均不接触，形成U形狭缝；当有惯性力作用时，进行加速度电测得。本发明由于设置有沟槽结构，所以使原来的悬臂梁结构变成类简支结构，所以会明显提高水听器的灵敏度。压电复合简支弹性梁和质量块结构以及相应的灌封结构来构成MEMS压电矢量水听器，制备工艺相对简单，不需要微小气隙、灵敏度高、工作稳定、噪声低。
一种悬臂梁结构 mems 压电矢量水听器制备方法

[发明专利]一种没有先验知识的分层介质中的目标检测与定位方法-CN202011640566.2有效
发明人：杨红娟;汪承灏;李鉴;马军;李俊红;王文 -专利权人：中国科学院声学研究所
申请日： 2020-12-31 - 公布日： 2022-03-18 - 主分类号： G01F23/2962 文献下载
摘要：本发明公开了一种没有先验知识的分层介质中的目标检测与定位方法。该方法的步骤为：在第一介质层的第一表面上设置多个阵元；由每个阵元依次发射声脉冲作为前向声束，由多个阵元分别接收声脉冲产生的接收信号；确定接收信号对应的逆向声束。预设第一介质层的第一试探声速；根据n*n个反射信号，确定第一试探声速下分界面的位形；预设第二介质层的第二试探声速；根据前向声束及逆向声束，确定阵元对应的目标的可能点；计算可能点的离散度；预设多个第一试探声速和第二试探声速，得到可能点的极小离散度；根据极小离散度确定趋近于实际值的第一试探声速、第二试探声速和分界面的位形，采用快照的TR‑RTM方法，对分层介质中的目标进行检测和定位。
一种没有先验知识分层介质中的目标检测定位方法

[发明专利]十字形板状MEMS压电指向性传感芯片的制备方法-CN202010012600.5有效
发明人：翟禹光;李俊红;樊青青;王文;汪承灏 -专利权人：中国科学院声学研究所
申请日： 2020-01-07 - 公布日： 2022-01-18 - 主分类号： H01L41/332 文献下载
摘要：本发明涉及一种十字形板状结构的MEMS压电指向性传感芯片的制备方法。包括加工基底层、压电弹性复合支撑结构、十字形板状结构、及支撑件。每个压电弹性复合支撑结构被设计在对应的位置。这种十字形板状结构的MEMS压电指向性传感芯片的制备方法，工艺稳定性好，可行性强，成品率高。
十字形 mems 压电指向传感芯片制备方法

[发明专利]一种十字形板状MEMS压电指向性传感芯片-CN202010012708.4有效
发明人：翟禹光;李俊红;樊青青;王文;汪承灏 -专利权人：中国科学院声学研究所
申请日： 2020-01-07 - 公布日： 2022-01-18 - 主分类号： H01L41/332 文献下载
摘要：本发明涉及一种十字形板状结构的MEMS压电指向性传感芯片。包括：8个压电弹性复合支撑结构(a)、十字形板状结构(b)、带有空腔的硅基底层(c)及支撑件(d)。每个压电弹性复合支撑结构(a)被设计在对应的位置。采用十字形板状结构的MEMS压电指向性传感芯片，实现了同一器件声源三维空间位置定位，提高了声源空间定位精度、减小了器件大小。
一种十字形 mems 压电指向传感芯片

[发明专利]一种薄板上裂纹缺陷的频散弯曲波检测成像方法-CN202011296201.2在审
发明人： 汪承灏;李鉴;高翔;马军;杨红娟;李俊红;王文 -专利权人：中国科学院声学研究所;武汉纺织大学
申请日： 2020-11-18 - 公布日： 2021-03-16 - 主分类号： G01N29/06 文献下载
摘要：本申请实施例公开了一种薄板上裂纹缺陷的频散弯曲波检测成像方法，上述方法即改进的逆时偏移方法，方法包括：采用一发多收的方式，m个发射阵元依次向薄板中发射一个发射弯曲波脉冲信号，其经薄板上裂纹缺陷反射后形成反射弯曲波脉冲信号，分别传播至n个接收阵元，形成m×n个发射‑接收对；将每个接收阵元接收的反射弯曲波脉冲信号进行时间反转操作，并将其作为逆向波从该接收阵元处逆向发射；根据传播到薄板上某点的逆向波与发射阵元传播到该点的前向波，确定裂纹声学图像。本申请实施例采用改进的逆时偏移方法，能够准确地得到薄板上裂纹缺陷的声学图像。
一种薄板裂纹缺陷弯曲检测成像方法

[发明专利]一种多层分层介质中的目标定位方法-CN201811630442.9有效
发明人：高翔;汪承灏;杨红娟;马军 -专利权人：中国科学院声学研究所
申请日： 2018-12-29 - 公布日： 2020-09-08 - 主分类号： G01N29/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种多层分层介质中的目标定位方法，将换能器阵列布放于n层介质最上层表面，一个发射阵元向分层介质内发射前向声束，其余阵元接收由目标反馈的散射信号和各个界面反馈的反射信号；所述方法包括：步骤1)各个接收阵元对接收到的散射信号和n‑1个反射信号均做时间反转处理，模拟生成各接收阵元对应的n个信号的逆向声束；步骤2)将接收到的前向声束和各阵元对应的逆向声束分别进行卷积处理，以各阵元在同一点卷积后得到的各个最大值之和作为分层介质空间中该点的声场值，由此生成n个信号的声场分布；步骤3)出现单一的山峰状声场对应的信号为目标散射信号，则目标散射信号的声场分布中声场值最高的点对应的坐标为目标位置。
一种多层分层介质中的目标定位方法

[发明专利]一种分层介质中的目标检测与定位方法-CN201910838550.3有效
发明人：杨红娟;汪承灏;李鉴;高翔;马军;王文 -专利权人：中国科学院声学研究所
申请日： 2019-09-05 - 公布日： 2020-07-28 - 主分类号： G01N29/44 文献下载
摘要：本发明提供的一种分层介质中的目标检测与定位方法。一换能器阵列置于分层介质表面，采用一发多收方式进行研究。发射阵元向分层介质发射一个声脉冲作为前向声束；各接收阵元接收前向声束经目标产生的散射信号和界面反射信号。让这两个信号首先进行时间反转，再提前一个适当时差从各接收阵元发射作为逆向声束。在发射声束到达目标的旅行时的瞬刻，将前向声束分别和各个逆向声束在时域上进行卷积；继之，将时间‑空间域上这两个声束的卷积转换为频域‑空间域上它们的傅氏变换的乘积，得到多组发射与接收对相应的快照。对得到的多组快照进行相干叠加，得到一个峰状分布，峰顶的位置就是目标所在位置。从而实现分层介质中目标检测和定位。
一种分层介质中的目标检测定位方法

[发明专利]一种分层介质中目标或缺陷的声学检测方法-CN201710525505.3有效
发明人： 汪承灏;高翔;马军;师芳芳;王文 -专利权人：中国科学院声学研究所
申请日： 2017-06-30 - 公布日： 2020-07-17 - 主分类号： G01N29/44 文献下载
摘要：本发明涉及一种分层介质中目标或缺陷的声学检测方法，该方法包括：步骤1)将换能器阵列布放于分层介质表面，选择换能器阵列中任意一个阵元向分层介质内发射前向声束，并通过换能器阵列中的其余阵元接收由目标或缺陷反馈的散射信号和界面反馈的反射信号；步骤2)各个阵元根据接收到的散射信号和反射信号均做时间反转处理，模拟生成各阵元对应的逆向声束；步骤3)在分层介质空间中各个点，将接收到的前向声束和各阵元对应的逆向声束分别进行卷积处理，以各阵元在同一点卷积后得到的各个最大值之和作为分层介质空间中该点的声场值，比较获得声场值最高的点对应的坐标作为目标或缺陷所在位置。该方法能够抑制界面信号干扰，实现目标或缺陷定位。
一种分层介质目标缺陷声学检测方法

[发明专利]一种固-液/液-固分层介质的目标定位方法-CN201811630444.8有效
发明人：杨红娟;汪承灏;高翔;马军;王文 -专利权人：中国科学院声学研究所
申请日： 2018-12-29 - 公布日： 2020-05-26 - 主分类号： G01N29/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种固‑液/液‑固分层介质的目标定位方法；所述方法包括：根据发射阵元发射的声脉冲经分层界面到达目标的旅行时和目标散射到达接收阵元的旅行时计算旅行时差T；接收阵元提前T发射逆向声束，使得发射阵元到目标正向接收的旅行时等于逆向接收的旅行时，在空间中的每一个点对上将发射阵元到各个接收阵元的信号进行卷积叠加，得到每种目标散射信号的山峰状声场分布，叠加后得到总声场分布；其最大值对应的点为目标的位置。本发明的方法可以将多个信号进行区分，并且抑制界面信号的干扰，对于固‑液/液‑固分层介质能够实现目标的检测与定位。
一种分层介质目标定位方法

[发明专利]一种U形槽悬臂梁结构的MEMS压电矢量水听器及其制备方法-CN201710924451.8有效
发明人：李俊红;李东宁;任伟;汪承灏 -专利权人：中国科学院声学研究所
申请日： 2017-09-30 - 公布日： 2020-04-03 - 主分类号： G01H11/08 文献下载
摘要：本发明涉及一种U形槽悬臂梁结构的MEMS压电矢量水听器，所述MEMS压电矢量水听器的工作频率范围为10KHz以下；其包括：若干压电传感芯片(a)、对应的若干后置放大电路(b)、灌封结构(c)；每个所述后置放大电路(b)上固定所述压电传感芯片(a)，并内封在所述封装结构(c)，且分别沿坐标系X轴、Y轴、Z轴放置；采用具有U形槽压电复合悬臂梁和质量块结构以及相应的灌封结构来构成MEMS压电矢量水听器，通过U形槽，使压电复合悬臂梁被分割为独立的若干压电单元，并且对所述若干压电单元进行电极串联，通过具有U形槽的压电复合悬臂梁和电极串联结构，明显提高了MEMS压电矢量水听器的灵敏度。
一种悬臂梁结构 mems 压电矢量水听器及其制备方法

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