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[实用新型]一种激光加工设备以及激光器分束光路控制系统-CN202221862446.1有效
发明人： 汪于涛;骆公序;王丽;张磊;黄羲凌;王浩 -专利权人：上海市激光技术研究所
申请日： 2022-07-19 - 公布日： 2023-01-13 - 主分类号： B23K26/067 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种激光器分束光路控制系统，该控制系统包括，沿着激光器发射的激光光路依次设置的扩束镜、λ/2波片、分光镜，以及沿着所述分光镜反射光路依次设置的第一衰减器、第一加工头，沿着所述分光镜透射光路依次设置的反射镜、第二衰减器、第二加工头。在第一工作台上设置有第一靶材，由第一加工头对在第一工作台上的第一靶材进行加工。在第二工作台上设置有第二靶材，由第二加工头对在第二工作台上的第二靶材进行加工。
一种激光加工设备以及激光器分束光路控制系统

[实用新型]一种阵列打孔设备-CN202221855665.7有效
发明人： 汪于涛;王丽;骆公序;张磊;黄羲凌;王浩 -专利权人：上海市激光技术研究所
申请日： 2022-07-19 - 公布日： 2023-01-06 - 主分类号： B23K26/382 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种阵列打孔设备，该设备包括，激光器，以及沿着所述激光器发射光路依次设置的扩束镜、λ/2波片、分光模块、第一反射镜、第一透镜、空间滤波器、第二透镜、第二反射镜、加工头。所述分光模块将入射光束分为多束，用于在样品上进行微孔阵列的打孔。所述设备还包括主控制器，所述激光器、分光模块、加工头电连接所述主控制器。所述样品被置于工作台上，所述工作台电连接所述主控制器。
一种阵列打孔设备

[实用新型]基于扫描转镜的晶圆激光退火设备-CN202221574442.3有效
发明人：骆公序;汪于涛;王丽;王浩;钱鹏 -专利权人：上海市激光技术研究所
申请日： 2022-06-22 - 公布日： 2023-01-06 - 主分类号： H01L21/324 文献下载
摘要：本实用新型具体涉及一种基于扫描转镜的晶圆激光退火设备，包括激光器、扩束镜、偏振元件、反射镜、光束整形器、扫描转镜、远心场镜、运动平台、晶圆载台、相机系统和计算机，运动平台包括具有不同运动方向的第一运动平台、第二运动平台和第三运动平台，第一运动平台底部活动安装有底座，第二运动平台位于第一运动平台顶部，第三运动平台位于第二运动平台上，晶圆载台安装在第三运动平台上。底座上设置有承载结构机械结构平面，激光器发出的光束经扩束镜扩束后通过偏振元件然后经过反射镜射入所述光束整形器整形，光束通过扫描转镜进行方向偏移后通过远心场镜入射到晶圆表面。激光器、扫描转镜、运动平台、晶圆载台和相机系统与计算机电连接。
基于扫描激光退火设备

[实用新型]一种直接式振镜校正系统-CN202122949497.X有效
发明人：黄曦凌;王丽;刘昆;汪于涛;骆工序 -专利权人：上海市激光技术研究所
申请日： 2021-11-29 - 公布日： 2022-12-13 - 主分类号： B23K26/082 文献下载
摘要：本实用新型适用于激光加工技术振镜校正领域，提供了一种直接式振镜校正系统，包括：振镜控制模块，振镜扫描模块，CCD图像采集装置，CCD图像处理模块和校正处理模块。本实用新型通过激光在直接在CCD图像采集装置上成像，消除了激光在校正板上灼烧不均匀导致的误差。无需外部光源，消除了外部光源不稳定导致的误差。本实用新型结构简单、稳定且无运动部件，消除了单点采集的电机运动误差。
一种直接式振镜校正系统

[发明专利]一种阵列打孔设备及方法-CN202210847172.7在审
发明人： 汪于涛;王丽;骆公序;张磊;黄羲凌;王浩 -专利权人：上海市激光技术研究所
申请日： 2022-07-19 - 公布日： 2022-11-04 - 主分类号： B23K26/382 文献下载
摘要：本发明公开了一种阵列打孔设备，该设备包括，激光器，以及沿着所述激光器发射光路依次设置的扩束镜、λ/2波片、分光模块、第一反射镜、第一透镜、空间滤波器、第二透镜、第二反射镜、加工头。所述分光模块将入射光束分为多束，用于在样品上进行微孔阵列的打孔。所述设备还包括主控制器，所述激光器、分光模块、加工头电连接所述主控制器。所述样品被置于工作台上，所述工作台电连接所述主控制器。
一种阵列打孔设备方法

[发明专利]一种激光加工设备以及激光器分束光路控制系统-CN202210846620.1在审
发明人： 汪于涛;骆公序;王丽;张磊;黄羲凌;王浩 -专利权人：上海市激光技术研究所
申请日： 2022-07-19 - 公布日： 2022-11-01 - 主分类号： B23K26/067 文献下载
摘要：本发明公开了一种激光器分束光路控制系统，该控制系统包括，沿着激光器发射的激光光路依次设置的扩束镜、λ/2波片、分光镜，以及沿着所述分光镜反射光路依次设置的第一衰减器、第一加工头，沿着所述分光镜透射光路依次设置的反射镜、第二衰减器、第二加工头。在第一工作台上设置有第一靶材，由第一加工头对在第一工作台上的第一靶材进行加工。在第二工作台上设置有第二靶材，由第二加工头对在第二工作台上的第二靶材进行加工。
一种激光加工设备以及激光器分束光路控制系统

[发明专利]基于扫描转镜的晶圆激光退火设备-CN202210710762.5在审
发明人：骆公序;汪于涛;王丽;王浩;钱鹏 -专利权人：上海市激光技术研究所
申请日： 2022-06-22 - 公布日： 2022-09-06 - 主分类号： H01L21/324 文献下载
摘要：本发明具体是涉及一种基于扫描转镜的晶圆激光退火设备，包括激光器、扩束镜、偏振元件、反射镜、光束整形器、扫描转镜、远心场镜、运动平台、晶圆载台、相机系统和计算机，运动平台包括具有不同运动方向的第一运动平台、第二运动平台和第三运动平台，第一运动平台底部活动安装有底座，第二运动平台位于第一运动平台顶部，第三运动平台位于第二运动平台上，晶圆载台安装在第三运动平台上。底座上设置有承载结构机械结构平面，激光器发出的光束经扩束镜扩束后通过偏振元件然后经过反射镜射入所述光束整形器整形，之后光束通过扫描转镜进行方向偏移后通过远心场镜入射到晶圆表面。激光器、扫描转镜、运动平台、晶圆载台和相机系统与计算机电连接。
基于扫描激光退火设备

[实用新型]一种降低激光热效应的加工装置-CN202122697166.1有效
发明人： 汪于涛;刘钊鹏;刘昆;骆公序;袁山山;王丽 -专利权人：上海市激光技术研究所
申请日： 2021-11-05 - 公布日： 2022-08-16 - 主分类号： B23K26/12 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种降低激光热效应的加工装置，包括由密封盖与盒体组成的密封盒，所述密封盖安装在盒体的顶部，所述盒体的内壁安装有气体通道，所述气体通道开设有若干吹气孔，所述盒体的外侧安装有入气孔，所述入气孔与气体通道内部相贯通。本实用新型结构简单，易于实现，可以有效的隔绝加工时样品周围的氧气，减小因氧化反应导致热影响区增大等情况。
一种降低激光热效应加工装置

[实用新型]一种用于改善CMOS晶圆浅结工艺的激光退火设备-CN202121892370.2有效
发明人： 汪于涛;骆公序;王丽;刘昆;袁山山;黄羲凌;张磊 -专利权人：上海市激光技术研究所
申请日： 2021-08-13 - 公布日： 2022-05-24 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种用于改善CMOS晶圆浅结工艺的激光退火设备，包括激光器、光束指向调节系统、扩束镜、功率调节系统、刀口、第三合束镜、光束质量分析仪、积分镜、加热盘、运动平台、电脑、三色温热发射探测器和激光测距仪。功率调节系统由设置在光路上的λ/2玻片和偏振片组成。本实用新型通过激光器固定功率出光，功率调节系统不仅同时控制了输出功率和偏振，还避免了因激光器功率改变导致的光束质量变差和功率稳定性降低等问题；光束质量分析仪，与三色温热发射探测器及功率调节系统共同组成退火功率负反馈系统，根据退火区域温度反馈结果，实时控制退火功率大小及稳定性。
一种用于改善 cmos 晶圆浅结工艺激光退火设备

[实用新型]一种便携式成像激光雷达的安装结构-CN202122605970.2有效
发明人：袁山山;王丽;罗海燕;徐彬;朱天凤;汪于涛 -专利权人：上海市激光技术研究所
申请日： 2021-10-28 - 公布日： 2022-05-24 - 主分类号： F16M11/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种便携式成像激光雷达的安装结构，包括底座、中空手柄、中空支架和雷达安装板，所述中空手柄竖向安装在底座上，所述中空支架安装在中空手柄的顶端，所述雷达安装板固装在中空支架的顶端，所述雷达安装板上设有用于雷达安装的定位卡槽。本实用新型的工作原理是，手柄及支架采用中空结构，能够减轻整体重量，中空支架内部可安装线缆、惯性测量单元、微型工控机、电源等设备。本实用新型将线缆、惯性测量单元、微型工控机、电源等安装在支架的中空部位，并将雷达和雷达安装板安装在支架上，结构小巧紧凑，方便携带，手柄中空设计，固接在平板上，整体重量减轻，方便携带和手持操作。
一种便携式成像激光雷达安装结构

[实用新型]一种激光晶圆切割设备-CN202121491103.4有效
发明人：罗海燕;王丽;汪于涛;骆公序;董岿然 -专利权人：上海市激光技术研究所
申请日： 2021-07-01 - 公布日： 2022-04-05 - 主分类号： B23K26/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种激光晶圆切割设备，包括大理石平台、气浮平台、X轴运动机构、Y轴运动机构、Z轴直线电机、支架、滑台、激光器、安装板、45度镜光路组件、分光系统分光系统、45度镜光路组件、切割头及切割头支架。大理石平台包括一级平台和设置在一级平台上的二级平台。本实用新型在X轴、Y轴和Z轴三个方向安装直线电机可保证运行在μm精度。支架安装在大理石平台的二级平台上，滑台安装在支架上，通过滑台可以实现x方向微调，保证光路路径准确。二级平台采用一体加工，整体刚性好，避免了支架变形导致的光路偏移，并避免了平面度误差导致的光路难调。Z轴方向可上下移动调节定位，消除光路高度上装配误差。
一种激光切割设备

[发明专利]一种降低激光热效应的加工装置及方法-CN202111307673.8在审
发明人： 汪于涛;刘钊鹏;刘昆;骆公序;袁山山;王丽 -专利权人：上海市激光技术研究所
申请日： 2021-11-05 - 公布日： 2022-03-04 - 主分类号： B23K26/12 文献下载
摘要：本发明提供了一种降低激光热效应的加工装置，包括由密封盖与盒体组成的密封盒，所述密封盖安装在盒体的顶部，所述盒体的内壁安装有气体通道，所述气体通道开设有若干吹气孔，所述盒体的外侧安装有入气孔，所述入气孔与气体通道内部相贯通。本发明还提供了上述加工装置的加工方法，首先将样品固定在该装置腔体底部，盖上密封盖，根据样品特性选定激光加工参数，定位后通过入气孔向腔体内部输入惰性保护气体。持续输入一段时间，以保证氧气完全排除，然后开始加工。本发明结构简单，易于实现，可以有效的隔绝加工时样品周围的氧气，减小因氧化反应导致热影响区增大等情况。
一种降低激光热效应加工装置方法

[发明专利]一种直接式振镜校正系统及校正方法-CN202111434310.0在审
发明人：黄曦凌;王丽;刘昆;汪于涛;骆工序 -专利权人：上海市激光技术研究所
申请日： 2021-11-29 - 公布日： 2022-02-11 - 主分类号： B23K26/082 文献下载
摘要：本发明适用于激光加工技术振镜校正领域，提供了一种直接式振镜校正系统，它包括：振镜控制模块，振镜扫描模块，CCD图像采集装置，CCD图像处理模块和校正处理模块。本发明还提供了上述直接式振镜校正系统的校正方法，包括5个步骤。本发明通过激光在直接在CCD图像采集装置上成像，消除了激光在校正板上灼烧不均匀导致的误差。无需外部光源，消除了外部光源不稳定导致的误差。本发明结构简单、稳定且无运动部件，消除了单点采集的电机运动误差。
一种直接式振镜校正系统方法

[发明专利]一种便携式成像激光雷达的安装结构-CN202111261095.9在审
发明人：袁山山;王丽;罗海燕;徐彬;朱天凤;汪于涛 -专利权人：上海市激光技术研究所
申请日： 2021-10-28 - 公布日： 2022-02-08 - 主分类号： F16M11/04 文献下载
摘要：本发明涉及一种便携式成像激光雷达的安装结构，包括底座、中空手柄、中空支架和雷达安装板，所述中空手柄竖向安装在底座上，所述中空支架安装在中空手柄的顶端，所述雷达安装板固装在中空支架的顶端，所述雷达安装板上设有用于雷达安装的定位卡槽。本发明的工作原理是，手柄及支架采用中空结构，能够减轻整体重量，中空支架内部可安装线缆、惯性测量单元、微型工控机、电源等设备。本发明将线缆、惯性测量单元、微型工控机、电源等安装在支架的中空部位，并将雷达和雷达安装板安装在支架上，结构小巧紧凑，方便携带，手柄中空设计，固接在平板上，整体重量减轻，方便携带和手持操作。
一种便携式成像激光雷达安装结构

[实用新型]一种基于振镜和平台联动的晶圆激光切割设备-CN202120215397.1有效
发明人：骆公序;王丽;汪于涛;李文兵 -专利权人：上海市激光技术研究所
申请日： 2021-01-26 - 公布日： 2022-01-04 - 主分类号： B23K26/38 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种基于振镜和平台联动的晶圆激光切割设备，包括激光器、扩束镜、偏振元件、第一反射镜、第二反射镜、第三反射镜、第四反射镜、光束整形器、两维扫描振镜、远心场镜、X轴运动平台、Z方向运动机构、晶圆载台、Y轴运动平台、晶圆预对准及传输系统、相机系统和计算机。所述激光器、偏振元件、光束整形器、两维扫描振镜、X轴运动平台、Y轴运动平台、Z方向运动机构、晶圆载台及晶圆传输及预对准系统由计算机进行控制。本实用新型能够根据不同晶圆切割工艺调整入射到晶圆表面的激光偏振态和光束能量分布形式，提高了晶圆切割的适应性和切割质量。
一种基于平台联动激光切割设备

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