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[实用新型]带电粒子检测装置-CN202321072922.4有效
发明人：阿力甫·库提鲁克;陈亚男;梅新灵;方农华;洪巍 -专利权人：费勉仪器科技（上海）有限公司
申请日： 2023-05-08 - 公布日： 2023-10-17 - 主分类号： H01J37/244 文献下载
摘要：本公开提供了一种带电粒子检测装置，包括：外壳；收集器，设置外壳内，包括收集腔以及与收集腔连通的收集孔；过滤器，包括设置在收集孔上游的过滤孔，用于过滤入射的带电粒子。
带电粒子检测装置

[发明专利]一种狭缝聚焦型超高真空运行的磁偏转电子束蒸发源-CN202010312179.X有效
发明人：阿力甫·库提鲁克;李浩;梅新灵;谢斌平 -专利权人：费勉仪器科技（上海）有限公司
申请日： 2020-04-20 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： C23C14/30 文献下载
摘要：本发明提供了一种狭缝聚焦型超高真空运行的磁偏转电子束蒸发源，包括蒸发区和电子发射区，所述蒸发区包括坩埚(2)，所述电子发射区包括直通腔体(5)、电子枪(11)和主磁场(9)，所述电子发射区和所述蒸发区之间通过直通腔体上端法兰与蒸发区下端法兰连接，所述蒸发区下端法兰与所述直通腔体上端法兰之间设置有隔离板(12)；所述坩埚(2)设置在所述隔离板(12)上；所述隔离板(12)上设置有聚焦通孔(1)；所述聚焦通孔(1)包括磁铁基座(13)与多块偶数片磁铁(14)。本发明的有益效果是：大幅度消除高温环境下由于材料表面逸放出的杂质成分气体及轻元素对薄膜纯度以及蒸发源性能及其寿命的影响，从而提高蒸发源性能与寿命。
一种狭缝聚焦超高真空运行偏转电子束蒸发

[发明专利]蒸发源-CN202310147081.7在审
发明人：阿力甫·库提鲁克;梅新灵;栾佳杰;陈亚男;洪巍;方农华 -专利权人：费勉仪器科技（上海）有限公司
申请日： 2023-02-22 - 公布日： 2023-05-30 - 主分类号： C23C14/30 文献下载
摘要：本公开提供了一种蒸发源，蒸发源包括：电子束发射器，用于发射电子束；偏转磁场组件，用于产生偏转磁场，以偏转和/或聚焦电子束,轰击蒸发材料；扫描磁场组件，用于产生扫描磁场，以改变电子束的轰击位置。
蒸发

[发明专利]一种中小型磁偏转电子束蒸发源磁路结构构建方法-CN202010312149.9有效
发明人：阿力甫·库提鲁克;李浩;梅新灵;谢斌平 -专利权人：费勉仪器科技（上海）有限公司
申请日： 2020-04-20 - 公布日： 2023-05-26 - 主分类号： G06F30/23 文献下载
摘要：本发明提供了一种中小型磁偏转电子束蒸发源磁路结构构建方法，其特征在于：初始化L、α、△L、△α：判断L是否大于Lmax，若大于，结束；判断α是否大于αmax，若大于，结束；将L、α导入模拟器中；所述模拟器输出电子束轨道；判断所述电子束轨道是否满足结束条件；调整L、α的值；将L、α导入模拟器中；所述模拟器输出电子束轨道；判断所述电子束轨道是否满足结束条件，若未满足继续调整L、α的值，直到满足结束条件，输出L和α。本发明公开的磁路结构构建方法通过提高能量效率和空间利用率最终实现高性能中小型磁偏转电子束源。
一种中小型偏转电子束蒸发磁路结构构建方法

[实用新型]蒸发装置及真空蒸镀系统-CN202221755848.1有效
发明人：阿力甫·库提鲁克;梅新灵;陈亚男;洪魏;方农华;栾佳杰 -专利权人：费勉仪器科技（上海）有限公司
申请日： 2022-07-07 - 公布日： 2023-02-17 - 主分类号： C23C14/30 文献下载
摘要：本公开提供了一种蒸发装置及真空蒸镀系统，蒸发装置包括：基座；蒸发源支架，设置在基座上，蒸发源支架包括至少一个承载单元，用于承载至少一种蒸发材料；电子束发射器，设置在基座上，包括：发射丝，用于发射电子；第一电极，与发射丝的一端连接，用于与第一负高压连接；第二电极，与发射丝的另一端连接，用于与第二负高压连接；以及至少一个隔离柱，设置在第一电极和第二电极之间，用于隔离第一电极和第二电极。
蒸发装置真空系统

[实用新型]场发射电子源-CN202122868030.2有效
发明人：阿力甫·库提鲁克;梅新灵;陈亚男;方农华;洪魏 -专利权人：费勉仪器科技（上海）有限公司
申请日： 2021-11-22 - 公布日： 2022-07-26 - 主分类号： H01J37/28 文献下载
摘要：本公开提供一种场发射电子源，其特征在于，包括：基座；发射组件，设置在基座上包括：发射尖端，用于发射电子；第一端子，设置在发射尖端下，用于与第一负高压连接；第二端子，设置在发射尖端下，用于与第二负高压连接，加速电极，设置在基座上，用于与第一正高压连接，并且用于加速发射尖端发射的电子。
发射电子

[发明专利]蒸发源及真空蒸镀系统-CN202111651447.1在审
发明人：阿力甫·库提鲁克;梅新灵;陈亚男;洪巍;方农华 -专利权人：费勉仪器科技（上海）有限公司
申请日： 2021-12-30 - 公布日： 2022-05-13 - 主分类号： C23C14/26 文献下载
摘要：本公开提供了一种蒸发源，包括：蒸发源基座，包括多个承载单元，用于承载一种或多种蒸发材料；加热装置，用于对多个承载单元中的工作承载单元中的蒸发材料进行加热；以及驱动装置，与蒸发源基座连接，用于驱动蒸发源基座运动以切换工作承载单元。
蒸发真空系统

[实用新型]一种狭缝聚焦型超高真空运行的磁偏转电子束蒸发源-CN202020591488.0有效
发明人：阿力甫·库提鲁克;李浩;梅新灵;谢斌平 -专利权人：费勉仪器科技（上海）有限公司
申请日： 2020-04-20 - 公布日： 2021-07-09 - 主分类号： C23C14/30 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种狭缝聚焦型超高真空运行的磁偏转电子束蒸发源，包括蒸发区和电子发射区，所述蒸发区包括坩埚(2)，所述电子发射区包括直通腔体(5)、电子枪(11)和主磁场(9)，所述电子发射区和所述蒸发区之间通过直通腔体上端法兰与蒸发区下端法兰连接，所述蒸发区下端法兰与所述直通腔体上端法兰之间设置有隔离板(12)；所述坩埚(2)设置在所述隔离板(12)上；所述隔离板(12)上设置有聚焦通孔(1)；所述聚焦通孔(1)包括磁铁基座(13)与多块偶数片磁铁(14)。本实用新型有益效果是：大幅度消除高温环境下由于材料表面逸放出的杂质成分气体及轻元素对薄膜纯度以及蒸发源性能及其寿命的影响，从而提高蒸发源性能与寿命。
一种狭缝聚焦超高真空运行偏转电子束蒸发

[实用新型]一种液化型超高纯臭氧制备装置-CN202020267874.4有效
发明人：方衍编;谢斌平;梅新灵;王辉;范鹏 -专利权人：费勉仪器科技（上海）有限公司
申请日： 2020-03-06 - 公布日： 2021-05-25 - 主分类号： C01B13/11 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种液化型超高纯臭氧制备装置，用于解决现有技术中难以实现小型设备快速安全稳定制备高纯度臭氧的技术问题，本实用新型包括：氧气源模块、臭氧发生模块、臭氧提纯腔、液化池、导热板、液化池温度控制模块、斯特林制冷机、制冷机支撑装置、铜辫子、抽气模块、尾气处理模块。该装置采用斯特林制冷机降温，通过铜辫子传导热量，加上多重减震设计解决斯特林制冷机的振动问题，配备液化池温度控制模块用于控制和维持提纯温区，在一定的气压下，臭氧气体被液化，而氧气被抽气模块抽走，从而实现超高纯臭氧的制备。实施本实用新型的技术方案可实现小型设备快速安全稳定制备高纯度臭氧的技术效果。
一种液化高纯臭氧制备装置

[实用新型]一种高材料利用率的磁偏转电子束蒸发源-CN202020237717.9有效
发明人：阿力甫·库提鲁克;李浩;梅新灵;谢斌平 -专利权人：费勉仪器科技（上海）有限公司
申请日： 2020-03-02 - 公布日： 2021-01-19 - 主分类号： C23C14/30 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种高材料利用率的磁偏转电子束蒸发源，包括电子枪(1)、坩埚(2)和磁铁(3)，电子枪(1)、坩埚(2)和磁铁(3)之间的位置关系满足电子枪(1)发射的电子束经磁铁(3)产生的磁场偏转后打入坩埚(2)内，其特征在于：坩埚(2)为舟船形坩埚；电子枪(1)的电压的大小是可调节的；磁铁(3)的所产生的磁场大小是可调节的；坩埚(2)的横向尺寸大于3mm；坩埚(2)内未设置有扫描线圈；电子枪(1)电压为3KV‑11KV之间。本实用新型的有益效果是：在不增设扫描线圈前提下，实现坩埚内材料利用率的最大化且不引起放气率的增加并避免高压电弧放电危险，同时体积较小。
一种材料利用率偏转电子束蒸发

[实用新型]一种抗热膨胀的磁偏转电子束蒸发源用软连接导线-CN202020334403.0有效
发明人：阿力甫·库提鲁克;李浩;洪巍;梅新灵 -专利权人：费勉仪器科技（上海）有限公司
申请日： 2020-03-17 - 公布日： 2020-12-15 - 主分类号： C23C14/30 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种抗热膨胀的磁偏转电子束蒸发源用软连接导线，包括金属管端子(1)、多根柔性导线(2)和扭簧端子(3)；所述金属管端子(1)压接所述多根柔性导线(2)的一端；所述扭簧端子(3)压接所述多根柔性导线(2)的另一端。本实用新型的有益效果是：在成本低廉的前提下便可避免磁偏转电子束蒸发源运作时的电子枪及其关键部件位移，避免高压电弧放电，进而提高产品可靠性，提高设备的寿命，降低使用成本。
一种抗热膨胀偏转电子束蒸发源用软连接导线

[发明专利]一种液化型超高纯臭氧制备装置-CN202010151885.0在审
发明人：方衍编;谢斌平;梅新灵;王辉;范鹏 -专利权人：费勉仪器科技（上海）有限公司
申请日： 2020-03-06 - 公布日： 2020-06-26 - 主分类号： C01B13/11 文献下载
摘要：本发明提供了一种液化型超高纯臭氧制备装置，用于解决现有技术中难以实现小型设备快速安全稳定制备高纯度臭氧的技术问题，本发明包括：氧气源模块、臭氧发生模块、臭氧提纯腔、液化池、导热板、液化池温度控制模块、斯特林制冷机、制冷机支撑装置、铜辫子、抽气模块、尾气处理模块。该装置采用斯特林制冷机降温，通过铜辫子传导热量，加上多重减震设计解决斯特林制冷机的振动问题，配备液化池温度控制模块用于控制和维持提纯温区，在一定的气压下，臭氧气体被液化，而氧气被抽气模块抽走，从而实现超高纯臭氧的制备。实施本发明的技术方案可实现小型设备快速安全稳定制备高纯度臭氧的技术效果。
一种液化高纯臭氧制备装置

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