“桒原丈二”申请（专利权）人搜索_中国专利权人_发明人_技术持有人_科研专家_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果3个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]端部状态确认装置-CN202211093424.8在审
发明人： 桒原丈二 -专利权人：株式会社斯库林集团
申请日： 2022-09-08 - 公布日： 2023-03-17 - 主分类号： G01N21/95 文献下载
摘要：端部状态确认装置包含旋转保持装置、光出射部及摄像部。将至少一部分具有圆形状且于外周端部设置着保护部件的衬底搬入到所述端部状态确认装置。搬入的衬底保持于旋转保持装置。摄像部具有摄像区域，构成为能接收透过衬底及保护部件的红外光。光出射部将红外光出射到摄像部的摄像区域。衬底的外周端部的至少一部分以预设的规定姿势配置于摄像部的摄像区域中预设的规定位置。
状态确认装置

[发明专利]衬底搬送装置及衬底搬送方法-CN202210149683.1在审
发明人： 桒原丈二 -专利权人：株式会社斯库林集团
申请日： 2022-02-18 - 公布日： 2022-09-27 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明涉及一种衬底搬送装置及衬底搬送方法。本发明的衬底搬送装置具备构成为能够保持衬底的手、设置在手上的多个反射型光检测器、局部位置算出部、及衬底位置判定部。多个反射型光检测器朝配置在手上的衬底的外周部分别出射光，且由线状的光通过面分别接受从衬底反射的光，输出表示受光量的信号。局部位置算出部基于多个反射型光检测器的输出信号，分别算出手上的衬底的外周端部的多个部分的位置。衬底位置判定部基于算出的衬底的多个部分的位置，判定衬底相对于手的位置。
衬底装置方法

[发明专利]衬底搬送装置及衬底搬送方法-CN202010694136.2在审
发明人： 桒原丈二 -专利权人：株式会社斯库林集团
申请日： 2020-07-17 - 公布日： 2021-03-19 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明提供一种能高精度地检测衬底收容器内的衬底在前后方向上的位置的衬底搬送装置。本发明涉及一种衬底搬送装置及衬底搬送方法。衬底搬送装置(TID)具有机械手(1)、进退机构(31)、升降机构((32))、移动机构(33)及检测部(2)。进退机构(31)使机械手(1)在前后方向移动，从而使机械手(1)进入到衬底收容器及从衬底收容器收回机械手(1)。升降机构(32)使机械手(1)上升，利用机械手(1)从下方托起衬底(W)。移动机构(33)使机械手移动到与衬底收容器相对的位置。检测部(2)与机械手(1)一体移动，在进退机构(31)已使机械手(1)进入到衬底收容器内部的进入状态下，该检测部(2)在与前后方向(D1)交叉的测量方向(D2)上，设置在与衬底(W)相邻的位置处，并在该进入状态下检测衬底(W)在前后方向(D1)上的位置。
衬底装置方法