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[发明专利]等离子体蚀刻技术-CN202280017300.3在审
发明人： 栾平山;艾兰·莫斯登 -专利权人：东京毅力科创株式会社;东京毅力科创美国控股有限公司
申请日： 2022-01-24 - 公布日： 2023-10-17 - 主分类号： H01L21/3213 文献下载
摘要：在某些实施例中，用于处理半导体衬底的方法包括接收包括膜堆叠体的半导体衬底。该膜堆叠体包括第一和第二含锗层以及位于该第一与第二含锗层之间的第一硅层。该方法包括通过将该膜堆叠体暴露于包括氟剂和氮剂的等离子体来选择性地蚀刻该第一硅层。该等离子体蚀刻该第一硅层，并且使得在该第一和第二含锗层的暴露表面上形成钝化层以在该膜堆叠体暴露于该等离子体期间抑制该第一和第二含锗层的蚀刻。
等离子体蚀刻技术

[发明专利]一种全固态卷绕式超级电容器及其制备方法-CN201310168082.6有效
发明人：周维亚;涂敏;栾平山;张楠;解思深 -专利权人：中国科学院物理研究所
申请日： 2013-05-06 - 公布日： 2013-10-02 - 主分类号： H01G11/32 文献下载
摘要：本发明公开一种全固态卷绕式超级电容器及其制备方法，该超级电容器包括：依次排列的第一电极、第一隔层、第二电极和第二隔层，以第二隔层为最外层对整体薄膜进行紧密卷绕；电极采用碳纳米材料或碳纳米复合材料。本发明提出了扩展和控制电极尺寸的具体方案和实施过程，极大地增加了电极的容纳面积，从而提高了超级电容器的容量。第一隔层采用固体电解质将相邻电极隔开，且在器件组装过程中固体电解质还起到平整表面和粘合电极的作用，使各电极与隔层的结合更加紧密牢固；最外侧第二隔层可以采用固体电解质，也可以采用绝缘层。该超级电容器全部由柔性材料组成，具有良好的弹性，耐挤压，抗碰撞，简洁，便携，拓宽了超级电容器的应用范围。
一种固态卷绕超级电容器及其制备方法

[发明专利]超薄、自支撑、柔性、全固态超级电容器及其制备方法-CN201310137010.5有效
发明人： 栾平山;周维亚;解思深 -专利权人：中国科学院物理研究所
申请日： 2013-04-19 - 公布日： 2013-07-24 - 主分类号： H01G11/36 文献下载
摘要：本发明公开一种超薄、自支撑、柔性、全固态超级电容器及其制备方法，该超级电容器包括正电极、固体电解质和负电极，所述固体电解质位于所述正电极和负电极之间，将正、负电极隔开，且所述固体电解质均匀渗透于正、负电极的孔洞结构中；所述正、负电极采用碳纳米材料或碳纳米复合材料，且正、负电极外侧未被固体电解质完全包埋，可用来收集电流。该超级电容器厚度范围在10nm～10μm，器件内部组成不含隔膜，外部无需金属集流极及封装，可实现自支撑，同时能保持较高的比电容量、功率密度、能量密度、寿命和稳定性。这种超级电容器具有优良的性能，而且制作工艺简单，能够同时满足柔性、微型、轻量化电子产品的发展需求，具有广阔的应用前景。
超薄支撑柔性固态超级电容器及其制备方法