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[发明专利]短弧放电灯及光源装置-CN201510348951.2有效
发明人：细木裕介;小平宏;盐谷幸男 -专利权人： 株式会社ORC制作所
申请日： 2015-06-23 - 公布日： 2018-07-24 - 主分类号： H01J61/02 文献下载
摘要：本发明提供短弧放电灯及光源装置，能够防止在密封管内传播的光所造成的密封管及对开接合玻璃的破损、变形。本发明的短弧放电灯经由对开接合玻璃(7)密封接合与发光管连续设置的密封管、和支承配置在发光管内的电极的电极芯棒，所述短弧放电灯的特征在于，在密封管的表面设有光放射面和光反射面，将在密封管内传播的光从光放射面向外部放射。
短弧放电灯光源装置

[发明专利]曝光装置-CN201510244466.0有效
发明人：森田亮;松田政昭;绿川悟 -专利权人： 株式会社ORC制作所
申请日： 2015-05-14 - 公布日： 2017-12-19 - 主分类号： G03F7/23 文献下载
摘要：提供一种曝光装置，其是卷对卷方式的曝光装置，能够在长条工件上不产生划痕疵的情况下缩短生产节拍，并且所形成的图案的连接精度良好。所述曝光装置具有曝光台(31)，其保持长条工件(W)；台移动部(32)，其使曝光台(31)往复移动；供给侧约束辊(15)，其设置在供给卷轴(11)的下游侧且曝光单元(51)的上游侧，约束长条工件(W)；以及卷绕侧约束辊(25)，其设置在曝光单元(51)的下游侧且卷绕卷轴(21)的上游侧，约束长条工件(W)，所述供给侧约束辊(15)和卷绕侧约束辊(25)中的至少一方具有辊驱动单元。
曝光装置

[发明专利]臭氧生成装置和臭氧处理装置-CN201710165200.6在审
发明人：今井正人;小林刚;芹泽和泉 -专利权人： 株式会社ORC制作所
申请日： 2017-03-20 - 公布日： 2017-10-03 - 主分类号： C01B13/10 文献下载
摘要：本发明提供一种臭氧生成装置和臭氧处理装置。该臭氧生成装置不容易产生由臭氧引起的部件的劣化。臭氧生成装置具有臭氧产生单元；以及臭氧去除单元，其配设在比臭氧产生单元靠流体流动的上游侧的位置，臭氧去除单元将流体中所含有的臭氧的至少一部分去除，臭氧产生单元使通过了臭氧去除单元的流体含有臭氧。
臭氧生成装置处理

[发明专利]放电灯用电极的制造方法以及放电灯-CN201610814228.3在审
发明人：早川壮则;馆林和人;芹泽和泉;小平宏;石锅荣彦;本多友彦;古畑肇;小松丰;泷泽秀一 -专利权人： 株式会社ORC制作所;长野县
申请日： 2013-09-09 - 公布日： 2017-08-22 - 主分类号： H01J9/02 文献下载
摘要：放电灯用电极的制造方法以及放电灯。本发明的放电灯用电极的制造方法是利用固相接合来制造放电灯用电极的方法，在本方法中，使柱状的前端固体部件与柱状的主体固体部件经由彼此的接合面进行固相接合，其中，所述前端固体部件构成电极前端部的至少一部分，且含有发射体，所述主体固体部件至少构成电极主体部，且具有直径比前端固体部件的接合面大的接合面，针对通过固相接合而生成的电极材料，以形成锥状的电极前端部的方式实施切削加工。
电灯用电制造方法以及

[发明专利]放电灯、放电灯的制造方法以及放电灯用电极-CN201480041336.0有效
发明人：细木裕介;早川壮则;芹泽和泉;小平宏 -专利权人： 株式会社ORC制作所
申请日： 2014-07-04 - 公布日： 2017-07-14 - 主分类号： H01J61/073 文献下载
摘要：目的在于，在将多个部件固相接合而成的电极中，形成提高接合强度的电极。通过固相接合以及切削加工，形成由前端侧的金属部件(20A)和后端侧的金属部件(20B)构成的阴极(20)。在切削加工时所形成的阴极(20)的锥形面(20Q)中跨越接合面(S1)而形成有槽部(R)，槽部(R)形成有微细槽(r)和通过激光照射得到的宽幅的槽。此时，以在金属部件(20B)中产生划痕而在金属部件(20A)中不产生划痕的方式，实施切削加工。
电灯制造方法以及用电

[发明专利]准分子灯及其制造方法-CN201480053991.8有效
发明人：矢岛英树;小林刚;芹泽和泉;本多友彦 -专利权人： 株式会社ORC制作所
申请日： 2014-09-11 - 公布日： 2017-07-04 - 主分类号： H01J65/00 文献下载
摘要：提供准分子灯，该准分子灯防止由于内侧电极与内管之间的热膨胀系数之差而引起内管破损。准分子灯(10)具备由电介质构成的发光管(20)，其具有有底筒状的内管(50)、以及与该内管(50)之间形成密闭的放电空间(60)的外管(40)，且在上述放电空间(60)内封入有放电气体；外侧电极(30)，其被配置于所述发光管(20)的外管(40)的外周面侧；以及内侧电极(31)，其被插入配置于所述内管(50)内，在该准分子灯(10)中，在所述内管(50)的内周面与内侧电极(31)的外周面之间形成有以下截面积的缓冲空间(70)该截面积使得在所述内侧电极(31)由于电介质势垒放电而热膨胀时抑制该内侧电极(31)向内管(50)施加应力，且考虑所述放电空间(60)的大小和放电电压的大小来确保该放电空间(60)中的电介质势垒放电。
分子及其制造方法

[发明专利]输送装置及具有该输送装置的曝光装置-CN201410407693.6有效
发明人：松田政昭;森田亮 -专利权人： 株式会社ORC制作所
申请日： 2014-08-19 - 公布日： 2017-06-06 - 主分类号： B65H5/06 文献下载
摘要：本发明提供一种小型且低成本的输送装置及具有该输送装置的曝光装置，能够在长条状工件的输送路径的整体范围内施加适当的张力，能够在不使长条状工件弯曲行进的情况下对其进行输送，能够通过去除附着在长条状工件的表面的异物来防止曝光缺陷和显影缺陷。输送装置将架设于供给卷轴与卷取卷轴之间的长条状工件在其长度方向上进行输送，其特征在于，输送装置设置有浮动辊，浮动辊位于供给卷轴与卷取卷轴之间，随着长条状工件的输送进行升降，并对长条状工件施加张力，浮动辊在其外周面形成有异物去除单元，浮动辊在随着长条状工件的输送进行升降的同时，使异物去除单元与长条状工件的一个面接触并旋转，由此，对长条状工件的一个面进行清扫。
输送装置具有曝光

[发明专利]放电灯用电极的制造方法以及具有利用该制造方法制造出的放电灯用电极的放电灯-CN201380048037.5有效
发明人：早川壮则;馆林和人;芹泽和泉;小平宏;石锅荣彦;本多友彦;古畑肇;小松丰;泷泽秀一 -专利权人： 株式会社ORC制作所;长野县
申请日： 2013-09-09 - 公布日： 2017-05-10 - 主分类号： H01J9/02 文献下载
摘要：本发明的放电灯用电极的制造方法是利用固相接合来制造放电灯用电极的方法，在本方法中，使柱状的前端固体部件与柱状的主体固体部件经由彼此的接合面进行固相接合，其中，所述前端固体部件构成电极前端部的至少一部分，且含有发射体，所述主体固体部件至少构成电极主体部，且具有直径比前端固体部件的接合面大的接合面，针对通过固相接合而生成的电极材料，以形成锥状的电极前端部的方式实施切削加工。
电灯用电制造方法

[发明专利]放电灯-CN201480022914.6有效
发明人：早川壮则;栗山晴男 -专利权人： 株式会社ORC制作所
申请日： 2014-04-24 - 公布日： 2017-04-12 - 主分类号： H01J61/073 文献下载
摘要：本发明的放电灯具备放电管；以及配置在放电管内的一对电极，至少一个电极具有密闭空间，其封入有灯点亮时熔融而对流的传热体；以及中空状的整流体，其在密闭空间内沿着电极轴配置，且具有密闭空间底面侧开口部及密闭空间上表面侧开口部。整流体被配置成，在密闭空间底面侧开口部与密闭空间上表面侧开口部之间形成传热体的流路，而且使电极轴经过流路。
电灯

[发明专利]光源装置以及具有光源装置的曝光装置-CN201480020370.X有效
发明人：金井信夫;本多友彦;藤原和正 -专利权人： 株式会社ORC制作所
申请日： 2014-04-09 - 公布日： 2017-04-12 - 主分类号： H01J61/02 文献下载
摘要：本发明的放电灯为具有沿水平方向配置的放电灯(22)和反射面为旋转抛物面的反射镜(21)的光源装置，在该光源装置中，放电灯(22)被配置在反射镜(21)的中心部，另一方面，灯中心轴(E)以从反射镜中心轴(T)起沿着铅直方向隔开距离(d)的方式平行地配置。
光源装置以及具有曝光

[发明专利]短弧型放电灯-CN201480021153.2有效
发明人：冈井稔;细木裕介;林武弘 -专利权人： 株式会社ORC制作所
申请日： 2014-04-11 - 公布日： 2017-03-29 - 主分类号： H01J61/36 文献下载
摘要：提供在灯点亮中抑制密封管产生裂纹的放电灯。短弧型放电灯具有电极支撑棒，其设置于与发光管一体地形成的密封管内，对所述发光管内的电极进行支撑；电连接棒，其与外部电源电连接；玻璃部件，其插入有所述电极支撑棒和所述电连接棒，并熔敷于所述密封管；多个带状金属箔，它们沿着所述玻璃部件的外表面延伸；以及一对环状部件，它们将所述带状金属箔与所述电极支撑棒及所述电连接棒电连接。并且，额定功率为3kW以上，稳定点亮中的电流值为130A以上，所述发光管内的封入水银量为7mg/cc以下，以满足以下式子的方式确定所述带状金属箔的厚度。σ＝7.54×105T－6×107T＝1.92(I/nwd)+98.9σ≤1.20×108。
短弧型放电灯

[发明专利]放电灯用阴极、放电灯用阴极的制造方法、放电灯-CN201380038802.5有效
发明人：青山齐;馆泽正博;小平宏;芹泽和泉;早川壮则 -专利权人：东芝高新材料公司;株式会社ORC制作所
申请日： 2013-07-24 - 公布日： 2016-11-16 - 主分类号： H01J61/06 文献下载
摘要：一种具有柱状的主干部与锥状的前端部的放电灯用阴极，所述阴极的至少一部分具有钨合金，该钨合金按照氧化物换算包含0.5～3.0wt％的钍成分，该钍成分分散成颗粒状，沿着径向截面、侧面方向截面在300×300μm²的区域中观察所述钨合金中的钨晶体粒径时，在径向截面，粒径处于1～100μm范围的钨晶体颗粒为90％以上，在侧面方向截面，粒径处于5～120μm范围的钨晶体颗粒为90％以上。
电灯阴极制造方法

[发明专利]放电灯和放电灯的制造方法-CN201380043468.2有效
发明人：林武弘 -专利权人： 株式会社ORC制作所
申请日： 2013-07-08 - 公布日： 2016-11-16 - 主分类号： H01J61/36 文献下载
摘要：提供如下放电灯和放电灯的制造方法：能够简单且可靠地将线圈状限位器安装于电极棒，该线圈状限位器用于在密封管相对于玻璃管的熔接作业中限制玻璃管相对于电极棒朝电极侧滑动。作为其解决手段，线圈状限位器(40)具有：线圈部(41)，其由金属线材的一部分构成，具有与玻璃管(21)抵接的玻璃管侧端部(42)，而且，在从直径小于或等于电极棒(17)的自由状态朝扩径方向进行了弹性变形的状态下，自身的内表面会紧贴于电极棒的外周面；以及一对端部结构部(43、44)，它们分别由金属线材的两端构成，位于比玻璃管侧端部靠电极侧的位置。
电灯制造方法

[发明专利]放电灯-CN201610130156.0在审
发明人：细木裕介;小平宏;本多友彦 -专利权人： 株式会社ORC制作所
申请日： 2016-03-08 - 公布日： 2016-09-28 - 主分类号： H01J61/02 文献下载
摘要：提供一种放电灯，其是短弧放电灯，该短弧放电灯在电极与电极芯棒之间设置金属体来抑制热传导，其中，使金属体与电极及电极芯棒成为良好的接合状态。在电极与电极芯棒之间的至少一部分夹设有热导率比电极低的金属体，在电极芯棒的与金属体相接的表层，设置金属体物质和电极芯棒物质混合存在的缓冲层，金属体的物质的密度从缓冲层的金属体侧向电极芯棒侧连续地减少。
电灯

[发明专利]放电灯、放电灯用电极、以及放电灯用电极的制造方法-CN201480051902.6有效
发明人：早川壮则 -专利权人： 株式会社ORC制作所
申请日： 2014-09-19 - 公布日： 2016-06-01 - 主分类号： H01J61/073 文献下载
摘要：目的在于通过固态接合而成型出接合强度高的电极。在短弧型放电灯中，在阳极(30)内设置密闭空间(50)。并且，将传热体(M)封入密闭空间(50)。阳极(30)是具有形成有凹部(50S)的主体部件(32)和覆盖所述主体部件(32)的盖部件(36)且在所述主体部件(32)与所述盖部件(36)之间夹有环状的中间部件(40)的构造，是通过借助放电等离子烧结(SPS)将主体部件(32)、中间部件(40)、盖部件(36)固态接合而成型的。
电灯用电以及制造方法