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- [发明专利]表面性状测定方法和表面性状测定装置-CN201911044129.1有效
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中山树
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株式会社三丰
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2019-10-30
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2023-10-20
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G01B5/20
- 本发明提供一种表面性状测定方法和表面性状测定装置，不利用测定臂的位移速度的监视以及施加于测定臂的测定力的控制就能够防止在测定时臂落下。使用表面性状测定装置，该表面性状测定装置具有被支承为以使触针(12)沿上下方向产生位移的方式自如摆动的臂(11)和使臂(11)转动来将触针(12)保持在规定高度的臂升降机(20)，将臂升降机(20)配置为能够将臂(11)保持在下限高度(L3)的状态，该下限高度(L3)为从规定的测定高度(L1)起的向下规定的落下量(F)的位置，之后，将臂(11)配置在下限高度(L3)且使触针(12)接触被测定物(W)，在该状态下对被测定物(W)的表面性状进行测定。
- 表面性状测定方法装置
- [发明专利]表面形状的测量方法和表面形状测量装置-CN202310270893.0在审
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森裕美子;加藤庆显
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株式会社三丰
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2023-03-20
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2023-09-22
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G01B11/30
- 提供了能够减少测量时间的表面形状的测量方法和表面形状测量装置。表面形状的测量方法使用用于获取由参考光和测量光之间的光路差生成的干涉条纹图像的干涉仪光学头，通过使干涉仪光学头针对测量对象表面在沿干涉仪光学头的光轴的Z轴方向上从起点到终点进行扫描来获取N个干涉条纹图像，并且基于干涉条纹图像来对测量对象表面的表面形状进行测量。在该测量方法中，针对N个干涉条纹图像中的共同位置，关于由指示沿Z轴方向的干涉光强度的变化的N个点的值构成的干涉信号，来确定由预定分析波长的光产生的干涉条纹的相位，并且基于该相位来确定分析波长的范围内的测量对象表面在Z轴方向上的相对位置。
- 表面形状测量方法测量装置
- [发明专利]表面形状的测量方法和表面形状测量装置-CN202310270895.X在审
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森裕美子;加藤庆显
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株式会社三丰
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2023-03-20
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2023-09-22
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G01B11/30
- 提供能减少测量时间的表面形状的测量方法和表面形状测量装置。在测量方法中，针对N个堆叠图像中的共同位置，根据通过对由指示干涉光强度沿Z轴方向的变化的N个点的值构成的干涉信号的平方值或绝对值进行积分而获得的、由N个点的值构成的积分曲线来确定：起点侧噪声部直线，其近似起点侧噪声部，起点侧噪声部位于测量对象表面的起点侧并且对应于斜率小于测量对象表面附近的斜率的范围；终点侧噪声部直线，其近似终点侧噪声部，终点侧噪声部位于所述测量对象表面的终点侧并且对应于斜率小于测量对象表面附近的斜率的范围；以及表面邻近直线，其近似与测量对象表面附近相对应的表面邻近部。
- 表面形状测量方法测量装置
- [发明专利]探针单元以及测定系统-CN201911191667.3有效
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古贺聪;斋藤章宪;金森宏之
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株式会社三丰
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2019-11-28
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2023-09-19
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G01B21/20
- 提供一种探针单元以及测定系统。在具有测定探针的探针单元中，信号处理电路具备：信号合成部，其对检测元件的输出进行处理并输出将接触部的在互相正交的3个方向中的各个方向上的位移成分进行合成所得到的合成信号；以及信号输出部，其在合成信号满足了阈值条件时，将数字触摸信号输出到探针单元的外部，其中，信号输出部具备将阈值条件与合成信号进行比较的3个比较部，在进行被测定物的测定时，信号输出部输出与第一比较部的输出及第二比较部的输出相应的数字触摸信号。由此，提供一种能够在确保高的抗噪声性的同时稳定地进行高精度的测定的测定探针以及测定系统。
- 探针单元以及测定系统
- [发明专利]图像处理装置和存储介质-CN201811024890.4有效
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松浦心平
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株式会社三丰
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2018-09-04
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2023-08-25
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G06T5/00
- 图像处理装置3包括：图像获取部322，通过捕获待测对象来获取多个测量图像；建模部323，基于测量图像识别建模参数；中间图像生成部324，基于建模参数生成用于生成指示待测对象的几何形状的几何图像的中间图像；噪声阈值图像生成部325，通过使用指示所述数据序列中包括的像素的像素值与基于对于每个像素的建模参数识别出的像素的近似值之间的误差的统计识别中间图像中每个像素的噪声阈值来生成噪声阈值图像；以及噪声去除部326，使用噪声阈值图像对中间图像执行阈值化。
- 图像处理装置存储介质
- [发明专利]硬度测试器和程序-CN201811267055.3有效
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定广真一
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株式会社三丰
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2018-10-29
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2023-08-01
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G01N3/42
- 一种硬度测试器，其使用压头加载预定的测试力并在样本的表面中形成压痕，并通过测量所述压痕的维度来测量所述样本的硬度，该硬度测试器包括在所述压痕形成之前和之后获取所述样本的所述表面的图像的CCD相机。CPU能够执行使用相互不同的方法的多个压痕区域提取处理，每个所述压痕区域提取处理基于由所述CCD相机获取的所述图像来提取压痕区域。所述CPU还确定由所述多个压痕区域提取处理提取的所述压痕区域是否与预定义的参考压痕区域匹配，并且基于被确定为匹配的压痕区域，所述CPU计算所述样本的硬度。
- 硬度测试程序
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