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专利名称
农业 化学；冶金 建筑 机械工程 区域搜索
主分类
A 农业
B 作业；运输
C 化学；冶金
D 纺织；造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]一种晶圆检测装置及其检测方法-CN202210930449.2有效
  • 林邦羽;李勇春;刘卫东 - 立川（无锡）半导体设备有限公司
  • 2022-08-03 - 2023-09-29 - H01L21/66
  • 本申请涉及晶圆检测的技术领域，尤其是公开了一种晶圆检测装置，包括对位平台；检测平台，可升降地设置在对位平台上且能够沿竖向进行自转；通电检测部，设置于检测平台上方，通电检测部包括探针卡盘，探针卡盘具有针头；打点器，连接于通电检测部；对位成像单元，对位成像单元包括连接于通电检测部的对位相机一、连接于对位平台的对位相机二。本申请中对位相机一采集检晶圆位置信息，对位相机二采集针头和打点器的位置信息，建立空间坐标系并生成晶圆检测的路径规划。对位平台移动至检测位置，检测平台上升至晶圆的芯片引脚和针头接触，测量芯片参数。打点器根据检测结果图，标记不良芯片，实现晶圆的自动对准、检测和标记。
  • 一种检测装置及其方法
  • [发明专利]一种产品在线翻转装置-CN202310283255.2有效
  • 林邦羽;李勇春;翁鑫晶 - 立川（无锡）半导体设备有限公司
  • 2023-03-22 - 2023-06-30 - B65G17/12
  • 本发明涉及产品外观检查设备技术领域，具体为一种产品在线翻转装置，其能够有效提高产品的翻转效率，满足在线高效翻转需求，其包括旋转机构，所述旋转机构上安装有载具，所述载具上安装有夹紧机构，所述夹紧机构包括固定于所述载具上的夹紧固定座，所述夹紧固定座上通过弹簧设置有活动夹持座，所述活动夹持座上设置有导向件和夹爪，所述夹爪用于夹紧产品，所述旋转机构内侧安装有解锁固定板，所述解锁固定板的上端和下端均安装有解锁机构，所述解锁机构包括两个间隔布置且与所述导向件配合的导向条。
  • 一种产品在线翻转装置
  • [发明专利]一种用于印刷机的视觉定位方法-CN202211654445.2在审
  • 林邦羽;李勇春;刘卫东 - 立川(无锡)半导体设备有限公司
  • 2022-12-22 - 2023-03-03 - B41M1/12
  • 本发明提供了一种用于印刷机的视觉定位方法，其印刷时只需要产品对位相机获取产品的坐标信息之后就能够快速解算出U/V/W平台的移动量，进而调整网板位置，完成印刷工作，降低了方法的运算量，提高了印刷的效率，其特征在于：包括以下步骤：印刷开始前，通过标定获取产品对位相机所对应的坐标系与网板定位相机所对应的坐标系之间的仿射变换矩阵；印刷开始时，U/V/W平台回复到零点位置；通过产品对位相机获取产品的坐标信息；利用产品的坐标信息和仿射变换矩阵，计算出网板定位相机对应的坐标系下的坐标，并计算出偏差值；根据偏差值计算出U/V/W平台的移动量；U/V/W平台根据移动量调整网板位置，完成一次印刷工作。
  • 一种用于印刷机视觉定位方法
  • [实用新型]一种高速搬运印刷平台-CN202222446362.6有效
  • 林邦羽;李勇春;刘卫东 - 立川（无锡）半导体设备有限公司
  • 2022-09-16 - 2023-01-31 - B65H5/04
  • 本实用新型提供了一种高速搬运印刷平台，其采用两个搬运台面在同一个印刷搬运平台上同时工作，节约了印刷头的等待时间，提高了搬运效率，满足了当前产线的需求，其包括固定座，其特征在于：所述固定座顶部两侧分别固定安装有水平平移台，两个所述水平平移台上均连接有竖直移动块，两个所述竖直移动块的顶部均连接有水平搬运台面，两个所述水平平移台内均设置有直线电机，所述直线电机用于驱动竖直移动块在水平平移台上水平移动，两个所述竖直移动块内均设置有升降机构，所述升降机构用于驱动水平搬运台面上下移动；所述固定座顶部两端还固定安装有上下料流道，所述水平搬运台面上开设有凹槽，所述凹槽与上下料流道相配合。
  • 一种高速搬运印刷平台
  • [实用新型]探针卡盘固定板开关防掉落结构-CN202222040344.8有效
  • 林邦羽;李勇春;刘卫东 - 立川（无锡）半导体设备有限公司
  • 2022-08-03 - 2023-01-06 - G01R1/04
  • 本申请涉及晶圆检测的技术领域，尤其是公开了探针卡盘固定板开关防掉落结构，包括机箱、开设在所述机箱上的检修口、可活动地设置在所述机箱上的探针卡盘固定板，所述探针卡盘固定板转动以封闭所述检修口，还包括安全机构，所述安全机构包括连接于所述机箱的锁定部，所述锁定部具有可伸缩的锁头，所述锁头在伸出时与所述探针卡盘固定板插接配合从而锁定所述探针卡盘固定板。本申请通过锁头和限位板插接配合，从而对探针卡盘固定板进行固定和限位，检修人员可以在固定探针卡盘固定板后进行维修工作，此时的探针卡盘固定板具有较高的稳定性，无需额外配备工作人员来扶持探针卡盘固定板，节省人力的同时提高了安全系数。
  • 探针卡盘固定开关掉落结构
  • [实用新型]抽拉式电柜结构-CN202222039282.9有效
  • 林邦羽;李勇春;刘卫东 - 立川（无锡）半导体设备有限公司
  • 2022-08-03 - 2022-12-13 - H02B11/173
  • 本申请涉及电柜的技术领域，尤其是公开了抽拉式电柜结构，包括柜体，所述柜体上开设有进出口；柜门，可活动设置在所述柜体上以封闭所述进出口；电控底板，设置于所述柜体内并与所述柜体滑移连接，所述电控底板上设有电器模组，当所述柜门开启时，所述电控底板可通过所述进出口移动至所述柜体外。本申请通过对电控底板施加拉力，即可沿着滑轨拖动电控底板和电器模组，从而使得电控底板和电器模组通过进出口移动至柜体外。安装人员可以在柜体外以舒适的姿态进行电线连接，减少了对安装人员的身体损伤。同时，柜体外部空间大，对操作幅度没有限制，便于安装人员工作，安装人员操作速度快且有效提高了工作效率。
  • 抽拉式电柜结构
  • [实用新型]晶圆上下料移载装置-CN202222039031.0有效
  • 林邦羽;李勇春;刘卫东 - 立川（无锡）半导体设备有限公司
  • 2022-08-03 - 2022-11-25 - H01L21/683
  • 本申请涉及晶圆加工的技术领域，尤其是公开了晶圆上下料移载装置，包括旋转机构、取料臂一和取料臂二，旋转机构包括旋转架，其中旋转架能够沿竖向进行自转；取料臂一和取料臂二均通过滑移组件与旋转架水平滑移连接，取料臂一和取料臂二均具有伸出和收回两个状态，在竖直方向上，取料臂一和取料臂二的滑移方向的投影共线，且取料臂二和取料臂一之间留有大于一个晶圆厚度的间距。本申请中通过旋转架的往复转动，取料臂一将待检晶圆从存储工位上取下后转运至检测工位，取料臂二伸出将检测完成的晶圆从检测工位上的取下转运至存储工位，晶圆实现自动上料、转移和收料，且适用于不同规格的晶圆，通用性高。
  • 上下料移载装置
  • [实用新型]晶圆上料载具装置-CN202222039116.9有效
  • 林邦羽;李勇春;刘卫东 - 立川（无锡）半导体设备有限公司
  • 2022-08-03 - 2022-11-15 - H01L21/677
  • 本申请涉及晶圆加工的技术领域，尤其是公开了晶圆上料载具装置，包括花篮，所述花篮的一侧具有取料口；基架，设置于所述花篮下方与所述花篮活动连接；防掉落机构，连接于所述花篮和所述基架之间，所述防掉落机构包括水平滑动连接于所述基架的滑动部、活动连接于所述滑动部和所述基架之间的直线驱动件、以及连接于所述花篮的联动板；所述联动板上开设导向槽，所述滑动部插设在所述导向槽内并与所述导向槽滑动配合，所述导向槽的端部位置沿背离所述取料口的方向逐渐升高。本申请中直线驱动件通过滑动部驱使联动板转动，联动板带动花篮进行翻转，花篮和晶圆均呈倾斜设置，避免了晶圆从花篮中掉落。
  • 晶圆上料载具装置
  • [实用新型]一种XY轴预定位传送装置-CN202222382507.0有效
  • 林邦羽;李勇春;刘卫东 - 立川（无锡）半导体设备有限公司
  • 2022-09-08 - 2022-11-15 - B65G47/24
  • 本实用新型提供了一种XY轴预定位传送装置，其能够根据产品尺寸，自动控制定位机构对产品进行预定位，并且能够将产品传送至准确的位置，提高了后续视觉定位的效率，其特征在于：其包括X轴传送机构、Y轴定位机构和控制器，所述X轴传送机构和Y轴定位机构相垂直交叉配合；所述X轴传送机构包括X轴伺服电机、传送带机构和第一位置感应器；所述Y轴定位机构包括Y轴伺服电机、安装板、连接块、导轨、第二位置感应器和定位组件；所述Y轴伺服电机安装在安装板的下方，其输出轴贯穿安装板后与连接块固定连接，所述连接块的两端分别通过关节轴承连接对应的定位组件，两个所述定位组件分别滑动安装在导轨上。
  • 一种xy预定传送装置
  • [发明专利]一种晶圆电性能检测设备-CN202210929255.0在审
  • 林邦羽;李勇春;刘卫东 - 立川（无锡）半导体设备有限公司
  • 2022-08-03 - 2022-11-01 - H01L21/66
  • 本申请涉及晶圆检测的技术领域，尤其是公开了一种晶圆电性能检测设备，包括安装平台、设置在所述安装平台上的存储工位和检测工位，所述安装平台上还设有移载装置，所述移载装置将待测晶圆从所述存储工位转运至所述检测工位，并在检测完成后运回所述存储工位。本申请通过移载装置实现了晶圆在存储工位和检测工位之间的来回转移，检测工位自动检测晶圆的电性能参数，最终实现了晶圆的自动上下料、对准、检测和标记等工序，检测快速高效，便于筛选不良品，检测结果准确。
  • 一种晶圆电性能检测设备
  • [发明专利]高速图像转移定位装置-CN202210977877.0在审
  • 林邦羽;朱斌 - 立川（珠海）智能科技设备有限公司
  • 2022-08-16 - 2022-09-20 - H05K3/20
  • 本发明涉及图像加工技术领域，且公开了高速图像转移定位装置，包括工作台，工作台的上侧放置有电路板，工作台的下端对称固定连接有两个固定板，工作台的下端还固定连接有位于两个固定板之间的双轴电机，双轴电机的两端输出轴均固定连接有转动螺杆，转动螺杆远离双轴电机的一端通过轴承与固定板的侧壁转动连接，转动螺杆的杆壁螺纹套接有移动板，移动板的侧壁对称固定连接有多根推拉杆，多根推拉杆远离移动板的一端通过固定板侧壁开设的通孔贯穿伸出固定板外，且固定连接有同一个连接板。该高速图像转移定位装置，具备能够实现对电路板的快速压接锁定，无需使用夹具进行缓慢操作，极大的提高了定位效率，便于高速图像转移生产的优点。
  • 高速图像转移定位装置
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