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[发明专利]检测晶圆损害的装置与系统-CN201811258405.X有效
发明人：陈毅沣;林晏清;彭垂亚 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2018-10-26 - 公布日： 2021-07-30 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：在此公开一种检测晶圆损害的装置，其包括：一承载器，组态为承载一片或多片半导体晶圆；一手臂，与承载器耦接；及一检测器，与承载器或手臂耦接，此检测器组态为测量此一片或多片半导体晶圆的重量改变量。此检测器包括一应变规重量感应器、一压电感应器或其他合适的感应器。根据此一片或多片半导体晶圆的重量改变量来决定是否存在破损或遗失的晶圆。
检测损害装置系统

[发明专利]一种基于近红外漫透射固体物在线检测系统-CN201611077617.9有效
发明人：王琦;吴跃进;刘晶;范爽;林晏清;刘斌美;余立祥;倪晓宇;周子军;杨阳 -专利权人：中国科学院合肥物质科学研究院
申请日： 2016-11-29 - 公布日： 2019-10-22 - 主分类号： G01N21/892 文献下载
摘要：本发明提供一种基于近红外漫透射固体物在线检测系统，包括：样品传送系统、光源系统和近红外检测系统。样品传送系统包括两个传送带和一套转动轴，两传送带共用同一套转动轴，两传送带之间有一定的间隙，样品被两个传送带传送，光源系统和近红外检测系统分别位于传输系统的两侧，光源系统发出的近红外光经过两传送带之间的间隙照射样品，产生对应于样品的近红外光谱，近红外光谱被检测系统探测和分析，最终得到对应样品中各成分的含量。本发明的优点在于：实现了样品在传输过程中的无损在线检测。
传送带光源系统近红外检测系统在线检测系统近红外光谱样品传送固体物漫透射转动轴无损在线检测被检测系统传输过程传输系统间隙照射近红外光传送探测分析

[发明专利]一种光谱检测元素分布的微区扫描装置及其微区扫描方法-CN201610272808.4有效
发明人：王琦;陈慧茹;吴跃进;刘晶;刘斌美;林晏清;范爽 -专利权人：中国科学院合肥物质科学研究院
申请日： 2016-04-27 - 公布日： 2019-04-09 - 主分类号： G01N21/71 文献下载
摘要：本发明公开了一种光谱检测元素分布的微区扫描装置及其微区扫描方法。微区扫描装置包括激光器、微波发生器、脉冲延时发生器、准直系统、光束转折器、微处理器、光谱仪、光学聚焦系统、光谱收集器、成像系统、光分束器、三维移动平台、电机控制器。微波发生器发出微波脉冲并控制微波脉冲，激发激光光束与样品因相互作用产生的等离子体。样品放置于三维移动平台上，光分束器位于光束转折器的光直线出口光路上，成像系统与光谱收集器分别位于光分束器的两路光分路上。成像系统与脉冲延时发生器、微处理器分别电性连接，并对样品进行成像。微处理器电性连接电机控制器，电机控制器驱动三维移动平台。本发明还提供所述微区扫描装置的微区扫描方法。
一种光谱检测元素分布扫描装置及其方法

[发明专利]一种近红外漫反射自动校正探头-CN201610012042.6有效
发明人：王琦;吴跃进;刘晶;刘斌美;余立祥;林晏清;范爽;徐琢频 -专利权人：中国科学院合肥物质科学研究院
申请日： 2016-01-05 - 公布日： 2018-08-24 - 主分类号： G01N21/359 文献下载
摘要：本发明提供的一种近红外漫反射自动校正探头，包括光学系统、校正系统；光学系统包括光源、光谱收集器；光源发出近红外光照射在校正系统上；样品处于校正系统的下方且处于光源的正下方；校正系统分为光谱校正区域和样品光谱采集区域；光谱校正区域包括标准白板校正区域、暗背景校正区域；光谱收集器收集校正系统采集的光谱；暗背景校正区域垂直设有挡板。本发明提供一种能够自动校正漫反射光谱的探头，实现近红外漫反射光谱的自动校正；该发明采用全封闭结构，消除了外界环境对探头的影响，提高了采集光谱信号的稳定性；能够同时实现对多个光学系统进行校正，不仅提高了光谱信号的强度，而且能够提高样品的测量精度。
一种红外漫反射自动校正探头

[发明专利]非均匀性样品在线分析的近红外光谱采集装置及其方法-CN201610353011.7在审
发明人：刘晶;吴跃进;王琦;范爽;林晏清;刘瓒;倪晓宇;刘斌美;余立祥;杨阳;周子军 -专利权人：中国科学院合肥物质科学研究院
申请日： 2016-05-20 - 公布日： 2016-10-26 - 主分类号： G01N21/359 文献下载
摘要：本发明公开了非均匀性样品在线分析的近红外光谱采集装置及其方法。该装置包括近红外光谱仪、测量附件。测量附件对测试样品实行近红外光谱采集并传递至近红外光谱仪。测量附件包括光纤、光纤收集附件、近红外光源附件、近红外光源、参比物质、托盘。近红外光源附件内安装有一组光学镜片一，通过该光学镜片一将光束汇聚于测试样品的表面上。参比物质承载在托盘上，测试样品位于托盘的底部并位于参比物质的正下方。光纤收集附件内安装有一组光学镜片二，通过该光学镜片二收集光束，并通过光纤传输至近红外光谱仪以形成近红外光谱信号。本发还公开该装置的非均匀性样品在线分析的近红外光谱采集方法。
均匀样品在线分析红外光谱采集装置及其方法