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[发明专利]一种浸没式光刻设备-CN202110468842.X在审
发明人：仲凯;刘剑;杨辅强;罗晋;陈言亭 -专利权人：上海微电子装备(集团)股份有限公司
申请日： 2021-04-28 - 公布日： 2022-10-28 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明实施例公开了一种浸没式光刻设备。该浸没式光刻设备包括主基板、基础框架、浸没头、气液分离装置以及振动隔离装置；主基板与基础框架连接，基础框架用于支撑主基板；浸没头通过柔性结构与主基板连接，浸没头通过管路与气液分离装置连接，气液分离装置通过振动隔离装置与基础框架连接，以隔离气液分离装置对主基板和/或浸没头的振动。本发明实施例的技术方案，通过振动隔离装置隔离气液分离装置对主基板和/或浸没头的振动，可以有效提升浸没式光刻设备的性能。
一种浸没光刻设备

[发明专利]光刻设备-CN202011595132.5在审
发明人：仲凯;杨辅强;杨铁刚;刘剑;赵丹平 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2020-12-29 - 公布日： 2022-07-01 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供一种光刻设备，包括主基板、工件台、安装底板、光栅尺及光栅尺读头，所述光栅尺及所述光栅尺读头设置在主基板和工件台之间，所述光栅尺固定在安装底板的一端面上，并通过设置在安装底板的另一端面上的阻尼可调的的粘滞阻尼装置和柔性机构与主基板连接，所述光栅尺读头固定在所述工件台上，通过光栅尺和光栅尺读头之间的相对运动来反映主基板和工件台的相对位移，进而测量工件台的位置移动。本发明通过调节粘滞阻尼装置中粘滞流体与缸体和活塞的接触面积，进而调节粘滞阻尼装置的阻尼，提高粘滞阻尼装置的振动控制效果，提升光刻设备测量及光刻精度。
光刻设备

[发明专利]一种光栅尺的安装装置、安装方法、光栅测量系统及光刻机-CN201811629401.8有效
发明人：李思平;宋兴龙;杨辅强;仲凯 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2018-12-28 - 公布日： 2021-05-07 - 主分类号： G01B11/02 文献下载
摘要：本发明提供了一种光栅尺的安装装置、安装方法、光栅测量系统及光刻机，光栅尺的安装装置包括安装底板和自适应结构，安装底板的一端面上开设有一通孔，通孔用于提供光刻机的投影曝光光学系统的光路通道，光栅尺连接于安装底板的端面上，自适应结构包括柔性块、刚度阻尼器及吸振阻尼器，且柔性块、刚度阻尼器及吸振阻尼器固定连接于安装底板的另一端面上。从而减少了外界的热传递、主基板的振动、主基板热变形以及工件台在高速运动过程中产生的气压波动对工件台光栅尺测量稳定性的影响，进而提高了工件台光栅尺的测量精度。
一种光栅尺安装装置方法光栅测量系统光刻

[发明专利]支撑装置和半导体检测装置-CN201710775323.1有效
发明人：施胜男;朱岳彬;徐兵;杨辅强;王保亮 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2017-08-31 - 公布日： 2021-01-01 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明提供一种支撑装置和半导体检测装置，用于承载板状工件。所述支撑装置和半导体检测装置包括：安装基座；驱动组件，固定在所述安装基座上；支撑吸附单元，用于承载并吸附板状工件，所述支撑吸附单元包括H型支撑框架和多个中空的支撑杆，所述H型支撑框架与多个所述支撑杆固定连接，所述支撑杆用于支撑和吸附所述板状工件，所述驱动组件用于驱动H型支撑框架升降，所述H型支撑框架带动多个所述支撑杆升降。本发明中的支撑装置和半导体检测装置可拓展支撑装置对板状工件的吸附面积，使板状工件吸附后的全局面型精度改善，以减少支撑装置在上料和下料的过程中出现故障的频率。
支撑装置半导体检测

[发明专利]光刻机和光刻机中吊框面型补偿方法-CN201710114397.0有效
发明人：魏银雷;廖飞红;杨辅强 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2017-02-28 - 公布日： 2020-04-10 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供一种光刻机以及光刻机中吊框面型补偿方法，在吊框底部设置吊框面型补偿单元，能够对吊框面型的形变进行补偿，在吊框面型补偿方法中由吊框面型形变检测模块检测吊框面型的形变，将其与吊框面型补偿单元的补偿力作最小二乘法拟合后得到拟合数据作为控制力的前馈表格，闭环自动控制器根据该表格控制吊框面型补偿单元的补偿力，因此对于吊框面型的补偿更为精确。
光刻机中吊框面型补偿方法

[发明专利]用于旋转电机的减振装置-CN201510683798.9有效
发明人： 杨辅强;王保亮 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2015-10-21 - 公布日： 2019-07-23 - 主分类号： H02K5/24 文献下载
摘要：本发明公开一种用于旋转电机的减振装置，其特征在于，包括：一吸振单元，该吸振单元检测该旋转电机的振动频率f1，根据该振动频率f1产生一固有频率f2，使该固有频率f2与该振动频率f1一致，以消除该振动频率f1。
用于旋转电机装置

[发明专利]一种反力外引机构、电机装置以及光刻机-CN201710524606.9在审
发明人：王保亮;杨辅强;朱岳彬 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2017-06-30 - 公布日： 2019-01-15 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种反力外引机构、电机装置以及光刻机，该光刻机包括照明单元、掩模台、投影物镜、主基板、工件台和地基，所述照明单元和掩模台设于所述主基板上，所述地基上方设有主吊框，所述工件台和主基板设于所述主吊框上，所述主吊框和地基之间设有减振器，所述工件台的其中一侧与所述地基之间以及所述掩模台的其中一侧与所述地基之间分别设有反力外引机构。通过在工件台和掩模台的其中一侧设置反力外引机构，将该两个运动台运动方向的反力引到地基上，而不将地基的振动传到运动台上，减少了反力造成整机振动；大大降低了整机框架及运动台系统的设计制造难度，提高了运动台的控制精度，有效降低了减振器的需求，降低了开发难度以及开发成本。
地基反力工件台掩模台光刻机运动台主基板主吊电机装置照明单元减振器设计制造难度投影物镜整机框架整机振动开发

[发明专利]工件台运动控制方法-CN201610766402.1在审
发明人：卞骏;廖飞红;杨辅强 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2016-08-30 - 公布日： 2018-03-13 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种工件台运动控制方法，包括以下步骤首先通过主动减振器中的加速度传感器检测测量框架的振动加速度，并将测量的到的振动加速度数据传递至主动减振控制器；其次通过主动减振控制器对所述振动加速度数据进行处理之后传递至工件台控制器；最后通过工件台控制器将接收的振动加速度数据转化成第一力补偿信号对工件台进行前馈补偿。本发明在工件台原有位置环路系统中引入加速度前馈信号，实时补偿测量框架振动对工件台测量系统的影响，降低工件台的稳定时间及控制误差，大大提高了控制精度；利用主动减振器的加速度传感器，间接获取测量框架的振动加速度，或在被动减振器中设置加速度传感器或者速度传感器获得振动加速度，降低了成本。
工件运动控制方法

[发明专利]一种运动台吸附装置及光刻装置-CN201610510854.3在审
发明人：季采云;廖飞红;杨辅强;许伍 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2016-06-30 - 公布日： 2018-01-09 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种运动台吸附装置及光刻装置，所述吸附装置包括吸附台和支撑组件，所述吸附台上设有容纳所述支撑组件的第一让位槽，所述支撑组件设于所述第一让位槽内，所述支撑组件包括若干水平支撑杆，所述水平支撑杆下方通过连杆连接至驱动机构，所述吸附台和所述支撑组件靠近工件的一侧设有吸附结构。通过在支撑组件靠近工件的一侧设置吸附结构，对工件的整个平面进行吸附，解决了工件在让位槽区域平面凸起的现象，保证了面型精度；在吸附气流撤销后，通过驱动机构带动支撑组件承担工件传输过程中的上下片工作。本发明不仅可以将工件整面支撑的面型精度控制在8um以下，同时保证了工件传输过程中的上、下片工作。
一种运动吸附装置光刻

[发明专利]运动台反力抵消装置-CN201310612812.7在审
发明人：李莉;杨辅强;朱岳彬 -专利权人：上海微电子装备有限公司
申请日： 2013-11-26 - 公布日： 2015-06-03 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种运动台反力抵消装置，包括：主动阻尼元件、速度测量元件、弹性元件、解耦机构以及线性导轨；所述线性导轨安装在电机定子下；所述主动阻尼元件的一侧与所述电机定子连接，另一侧与反力支撑架连接；所述弹性元件的一侧与所述电机定子相连，另一侧与所述解耦机构连接；所述解耦机构的另一端与光刻机的反力支撑架相连；所述速度测量元件设置于所述电机定子上。本发明采用主动阻尼元件来提供阻尼完成反力抵消，采用速度测量元件实时监控电机定子的速度，实时控制主动阻尼元件施加的主动阻尼力的大小。结构简单，而且可以根据电机定子的运动情况实时改变阻尼力的大小，保证在有效的缓冲行程内有效衰减直线电机定子动能。
运动台反力抵消装置

[发明专利]一种旋转电机装置-CN201210408236.X在审
发明人： 杨辅强;王保亮;吴飞;刘贇 -专利权人：上海微电子装备有限公司
申请日： 2012-10-24 - 公布日： 2014-05-07 - 主分类号： H02K5/24 文献下载
摘要：一种旋转电机装置，包括旋转电机箱体、直流电机动子、动子负载、电机磁铁定子组件、定子传动轴、定子负载、滚动轴承、动子传动轴轴承，所述定子传动轴通过所述滚动轴承支承在所述旋转电机箱体上，所述定子传动轴两端分别连接所述电机磁铁定子组件和所述定子负载，还包括固定连接在所述旋转电机箱体上的旋转轴承组件，所述电机磁铁定子组件和所述旋转电机箱体采用所述旋转轴承组件连接，使得所述电机磁铁定子组件在旋转方向可以自由运动，以消除旋转电机装置工作时产生的反作用力。本旋转电机装置从本质上消除振源，从而起到良好的减振效果。
一种旋转电机装置

[实用新型]一种设有吸振装置的微动模块-CN201320146246.0有效
发明人：王保亮;杨辅强;朱岳彬;陈文枢;黄静莉 -专利权人：上海微电子装备有限公司
申请日： 2013-03-27 - 公布日： 2013-10-30 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本实用新型属于光刻装置的技术领域，具体涉及一种设有吸振装置的微动模块。所述设有吸振装置的微动模块包括微动板、设置在微动板下部的隔振装置、设置在微动板上部的承载装置和设置在微动板上的吸振装置。本实用新型通过吸振装置的减振作用，通过对微动模块中的微动板布置合理的吸振装置，可以有效的压制因微动模块固有频率接近带宽造成的较高的振幅，从而可以降低对微动模块固有频率提高的要求，降低了加工难度与成本，并且可以通过调节吸振装置简单快速有效的控制微动模块的振动。
一种设有装置微动模块

[发明专利]主动减振系统及其减振单元和绝对位移测量装置-CN201010604751.6有效
发明人： 杨辅强 -专利权人：上海微电子装备有限公司
申请日： 2010-12-24 - 公布日： 2012-07-04 - 主分类号： F16F15/02 文献下载
摘要：本发明提供一种采用绝对位移反馈的主动减振系统，用以实现对负载主动减振，包括：至少三个减振单元，以实现对所述负载的六自由度的主动减振，所述减振单元上设置有绝对位移测量装置，所述绝对位移测量装置实时检测所述负载的绝对位移；减振控制单元，与所述至少三个减振单元分别连接，所述减振控制单元根据所述绝对位移实现主动反馈控制。本发明中所述采用绝对位移反馈的主动减振系统具有以下优点：采用空气弹簧结合直线执行器进行主动减振，并采用绝对位移反馈技术，能有效提高减振系统减振性能；并采用绝对位移反馈技术，能有效提高减振系统位置环带宽，提高减振系统的位置稳定性具有使用方便，体积较小、成本较低的优点。
主动系统及其单元绝对位移测量装置

[发明专利]一种绝对式位移测量装置-CN200910200940.4有效
发明人： 杨辅强;谢德东;袁志扬;王保亮 -专利权人：上海微电子装备有限公司
申请日： 2009-12-25 - 公布日： 2011-06-29 - 主分类号： G01B21/02 文献下载
摘要：本发明揭露了一种绝对式位移测量装置，所述绝对式位移测量装置包括相对式位移检测系统，预处理模块，A/D处理模块，低频校正模块及反相器，该绝对式位移测量装置可以在保持原位移传感器较高的机械固有频率条件下，扩展位移传感器的测量频率下限，从而可以方便地测量物体的绝对位移，且测量精度高。
一种绝对位移测量装置

[发明专利]主动减振系统及其预见控制方法-CN200810200919.X有效
发明人： 杨辅强;袁志扬;严天宏;刘赟;周宏权 -专利权人：上海微电子装备有限公司
申请日： 2008-10-08 - 公布日： 2009-02-11 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供一种主动减振系统，包括基座、主基板、减振单元及其控制系统，其特征在于至少3个减振单元，以相同的夹角围绕一个中心平均分布在一个圆周平面上，所述减振单元底端安装在基座上，顶端连接主基板，所述控制系统连接减振单元，接收来自减振单元的振动信号，并反馈控制信息。其中预见控制模块根据主基板上掩模台、工件台等运动部件的路径规划，得出各运动部件在未来一段时间内的位置信息，预见控制器综合各运动部件当前位置和未来一段时间内的位置信息，通过预见控制算法得出预见补偿控制信号，将预见补偿控制信号与减振反馈控制信号叠加，驱动主动减振系统。本发明具有功率小，发热量低，减振精度高等优点。
主动系统及其预见控制方法

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