专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]一种MEMS技术的光纤连接器插芯及MPO光纤连接器-CN201710027928.2在审
  • 李四华;王文辉;邓江东;杨忠钰;李维 - 苏州盛维新电子科技有限公司
  • 2017-01-16 - 2017-03-29 - G02B6/38
  • 本发明涉及一种MEMS技术的MPO光纤连接器插芯和制作方法,以及由该插芯构成的MPO光纤连接器。该插芯芯片包括基底材料11和定位光纤位置的阵列定位孔12,根据MPO连接器组装要求也可以增加连接定位杆的通孔结构13和光纤整体放置的位置孔结构14。利用上述MEMS技术制作的MPO光纤连接器插芯21,配合上插芯套22、MPO连接器的外壳23、机座24、定位座25和外围套管26可以构成高精度高密度的MPO光纤连接器。本发明采用半导体的图形光刻工艺,在硅材料基底的二维平面上高精度高密度的分布出光纤通道的定位孔位置,再采用MEMS技术的硅深刻蚀或湿法腐蚀工艺,在硅衬底上制作出立体形状的定位光纤的定位孔,最后进行划片分离出用于MPO光纤定位的插芯芯片。
  • 一种mems技术光纤连接器mpo
  • [发明专利]一种状态可自锁定的大位移MEMS光开关-CN201410188436.8有效
  • 李四华;李维;施林伟;杨忠钰 - 深圳市盛喜路科技有限公司
  • 2014-05-05 - 2017-02-15 - G02B26/08
  • 本发明涉及一种状态可锁定的大位移MEMS可调谐光开关器件及其制作方法,MEMS光开关包括基片、第一梳齿、第二梳齿、第一变形梁、第二变形梁、第一自锁结构、第二自锁结构、微反射镜面、锚点和信号引线,对第一梳齿施加驱动信号时,通过所述第一变形梁和第二变形梁的弯曲带动微反射镜面以及第一自锁结构同时沿锁定方向移动,与第二自锁结构实现相互锁定,第二梳齿运动时带动第二自锁结构同时沿解锁方向移动,实现与第一自锁结构的锁定解除。本发明实现了微镜面的大位移运动和光开关状态的自锁定。
  • 一种状态锁定位移mems开关
  • [实用新型]一种MEMS光开关-CN201420230361.0有效
  • 李四华;李维;施林伟;杨忠钰 - 深圳市盛喜路科技有限公司
  • 2014-05-05 - 2014-11-12 - G02B26/08
  • 本实用新型涉及一种状态可锁定的大位移MEMS可调谐光开关,所述光开关包括基片、第一梳齿、第二梳齿、第一变形梁、第二变形梁、第一自锁结构、第二自锁结构、微反射镜面、锚点和信号引线,对第一梳齿施加驱动信号时,通过所述第一变形梁和第二变形梁的弯曲带动微反射镜面以及第一自锁结构同时沿锁定方向移动,与第二自锁结构实现相互锁定,第二梳齿运动时带动第二自锁结构同时沿解锁方向移动,实现与第一自锁结构的锁定解除。本实用新型实现了微镜面的大位移运动和光开关状态的自锁定。
  • 一种mems开关
  • [实用新型]一种MEMS可调光衰减器的封装结构-CN201320881770.2有效
  • 李四华;李维;杨忠钰;施林伟 - 深圳市盛喜路科技有限公司
  • 2013-12-30 - 2014-07-16 - G02B6/26
  • 本实用新型涉及一种MEMS可调光衰减器的封装结构,包括聚焦透镜、尾纤套管和采用微机电系统制作的光芯片,尾纤套管用粘结胶固定在一空心圆柱磁铁内,构成磁组件1;聚焦透镜一端为光信号入射面,另一端具有光反射面;聚焦透镜用粘结胶固定在另一空心圆柱磁铁内,光芯片用粘结胶固定在空心圆柱磁铁上用于与磁组件相吸合的端部,构成磁组件2;相互磁吸合并用粘结胶加固的磁组件1、磁组件2构成可调光衰减器组件;光衰减器组件置于一空心的外部保护套管,且外部保护套管两端用粘结胶灌封,形成可调光衰减器。本实用新型的目的是提供一种小型化、低成本及高可靠性的MEMS可调光衰减器的封装结构。
  • 一种mems调光衰减器封装结构
  • [实用新型]一种低成本多丝正比计数器电极阵列-CN201320800261.2有效
  • 李四华;李维;杨忠钰;施林伟 - 深圳市盛喜路科技有限公司
  • 2013-12-06 - 2014-07-02 - G01T1/18
  • 本实用新型涉及的一种低成本多丝正比计数器电极阵列,包括上、下平行排列的多个电极层,每一电极层对应地承载及固定在一绝缘基片上,每一绝缘基片包括第一绝缘薄膜片和第二绝缘薄膜片,第一薄膜片和第二薄膜片上还分别设有电极丝导电带,从下往上将多个绝缘基片按顺序分为奇数层绝缘基片和偶数层绝缘基片,各奇数层绝缘基片所对应电极层上各电极丝具有相同的电极极性,各偶数层绝缘基片所对应电极层上各电极丝具有相同的电极极性。本实用新型目的是提供一种结构简单、生产成本低、探测面积大的多丝正比计数器电极阵列。
  • 一种低成本正比计数器电极阵列
  • [发明专利]一种MEMS可调光衰减器的封装结构及封装方法-CN201310744255.4有效
  • 李四华;李维;杨忠钰;施林伟 - 深圳市盛喜路科技有限公司
  • 2013-12-30 - 2014-04-02 - G02B6/26
  • 本发明涉及一种MEMS可调光衰减器的封装结构,包括聚焦透镜、尾纤套管和采用微机电系统制作的光芯片,尾纤套管用粘结胶固定在一空心圆柱磁铁内,构成磁组件1;聚焦透镜一端为光信号入射面,另一端具有光反射面;聚焦透镜用粘结胶固定在另一空心圆柱磁铁内,光芯片用粘结胶固定在空心圆柱磁铁上用于与磁组件相吸合的端部,构成磁组件2;相互磁吸合并用粘结胶加固的磁组件1、磁组件2构成可调光衰减器组件;光衰减器组件置于一空心的外部保护套管,且外部保护套管两端用粘结胶灌封,形成可调光衰减器。本发明的目的是提供一种小型化、低成本及高可靠性的MEMS可调光衰减器的封装结构及封装方法。
  • 一种mems调光衰减器封装结构方法
  • [发明专利]一种离子束和电子束调制开关的制作方法-CN201110418692.8无效
  • 王文辉;杨忠钰;施林伟;李维;邓江东 - 深圳市盛喜路科技有限公司
  • 2011-12-14 - 2012-07-11 - B81C1/00
  • 本发明公开了一种离子束和电子束调制开关的制作方法,其包括如下步骤:S101:准备衬底,其中衬底包括衬底层、绝缘层和高掺杂硅层;S102:在高掺杂硅层的正面涂上一层光刻胶层;S103:在光刻胶层上光刻出电极图形;S104:将电极图形通过腐蚀的方法转移到高掺杂硅层上,制作出梳状电极;S105:去除高掺杂硅层正面上的光刻胶层,并将衬底翻转,并在衬底层底面上涂上一层光刻胶层;S106:在光刻胶层上光刻出衬底层背面开口图形;S107:腐蚀衬底层,制作出衬底层背面开口;S108:将绝缘层腐蚀掉,释放梳状电极;S109:将衬底翻转,并在梳状电极上选定区域进行选择性蒸镀金属;S110:完成调制开关的制作。
  • 一种离子束电子束调制开关制作方法
  • [发明专利]一种光纤传感器的制作方法-CN201110427284.9有效
  • 林沁;杨忠钰;施林伟;邓江东;李维 - 深圳市盛喜路科技有限公司
  • 2011-12-19 - 2012-07-04 - G01L11/02
  • 本发明公开了一种光纤传感器的制作方法,其包括如下步骤:S1:准备材料,包括氧化硅薄膜、一端具有腔体的石英玻璃光纤和石英玻璃毛细管;S2:将所述氧化硅薄膜放置在所述石英玻璃毛细管和所述石英玻璃光纤具有所述腔体的端面之间,对所述氧化硅薄膜、所述石英玻璃毛细管和所述石英玻璃光纤相接处局部加热,使上述氧化硅薄膜、石英玻璃毛细管和石英玻璃光纤键合在一起;S3:去除多余的氧化硅薄膜;S4:将裸露的石英玻璃毛细管和石英玻璃光纤外表面涂敷保护层;S5:将石英玻璃毛细管在键合处附近切断;S6:完成光纤传感器的制作。
  • 一种光纤传感器制作方法

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