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专利名称

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申请人
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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]旋转组件和半导体工艺设备-CN202010377651.8有效
发明人： 杨建姣 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2020-05-07 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种旋转组件，包括第一旋转件、第二旋转件、旋转驱动部和主感应机构，所述旋转驱动部用于驱动所述第一旋转件沿自身旋转轴转动，并驱动所述第二旋转件沿自身旋转轴同步转动，所述主感应机构用于检测所述第一旋转件的旋转位置，并在所述第一旋转件处于初始位置时生成初始位置确认信号，所述旋转组件还包括辅助感应机构，所述辅助感应机构用于检测所述第二旋转件的旋转位置，并在所述第二旋转件处于预设位置时生成位置确认信号。本发明提供的旋转组件结构能够提高旋转件转动角度控制的精确性和半导体工艺设备中其余组件的安全性。本发明还提供一种半导体工艺设备。
旋转组件半导体工艺设备

[发明专利]半导体工艺设备及其控制方法-CN202111524293.X在审
发明人： 杨建姣;顾文亮 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2021-12-14 - 公布日： 2022-03-25 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明公开一种半导体工艺设备及其控制方法。涉及半导体制造技术领域。本发明所述的半导体工艺设备包括至少一个灯箱、工艺气体循环管道和与灯箱一一对应的至少一个风压检测组件。其中，灯箱具有灯腔以及与灯腔连通的进风口和出风口，工艺气体循环管道的第一端与进风口连通，工艺气体循环管道的第二端与出风口连通，且工艺气体循环管道设置有第一检测口。风压检测组件包括高压检测口和低压检测口，高压检测口与对应的灯腔内部连通，低压检测口与第一检测口连通。该方案能解决半导体工艺设备内风压检测精度低的问题。
半导体工艺设备及其控制方法

[发明专利]气体浓度控制方法、气体浓度控制装置及半导体设备-CN202110412183.8在审
发明人： 杨建姣 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2021-04-16 - 公布日： 2021-07-23 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种气体浓度控制方法、气体浓度控制装置及半导体设备，其中，气体浓度控制方法，用于半导体工艺中，包括：在半导体工艺开始前，将待控制气体的浓度控制在预设的目标浓度值；在半导体工艺过程中，对待控制气体的实际浓度值进行实时检测，判断实际浓度值是否大于预设的目标浓度值；若是，则根据预设的待控制气体的目标浓度值与补偿气体的目标流量值的第一对应关系，获得与预设的目标浓度值对应的第一目标流量值；控制补偿气体以第一目标流量值进行补偿。本发明提供的气体浓度控制方法、气体浓度控制装置及半导体设备，能够提高气体浓度控制的实时性，提高半导体工艺稳定性及安全性。
气体浓度控制方法装置半导体设备

[实用新型]回转蓄力自行车-CN201420232155.3有效
发明人：万磊;朱凤武;李喜武;王英男;岳仕达;杨建姣;李东阳;杨建;王达;于丰华 -专利权人：吉林农业大学
申请日： 2014-05-08 - 公布日： 2014-10-15 - 主分类号： B62M1/10 文献下载
摘要：一种回转蓄力自行车，属于日常用品领域。本实用新型的目的是通过在反向蹬骑车辆时将能量存续在一个特定的蓄力装置中，再将蓄力传导给车轮的回转蓄力自行车。本实用新型的自行车中轴上力依次通过反向一号轮、反向二号轮、输入链轮、输入端传送装置、一号弹簧隔片、一号平面涡卷弹簧卷曲，当达到一定力后，又带动一号传送装置转动，依次类推，将力逐级传导到输出端传送装置、输出链轮，最后传给后轴。本实用新型结构合理，使用方便。本实用新型是骑行者在反向蹬骑时将能量存续蓄力装置中，当需要助力时，打开制动装置，此蓄力即可传导到后轮轴上，从而节省了骑行者许多的力量。
回转蓄力自行车

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