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[发明专利]一种自动检影验光光学系统-CN201810108536.3有效
发明人： 杨宝喜;马健;甘雨;张方;黄惠杰 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2018-02-02 - 公布日： 2021-01-01 - 主分类号： A61B3/103 文献下载
摘要：一种自动检影验光光学系统，包括封装在壳体内的照明光源、分划板、平板、第二反射镜、投影物镜、带孔反射镜、接收物镜、接收图像传感器、分光镜、定位物镜，第一反射镜和定位图像传感器；在该壳体上设有保护窗口，该保护窗口的四周设有定位照明灯。本发明通过平板的摆动可以精确模拟检影镜的运动过程，使人工检影中摆动检影镜的过程变得简单、快捷和准确，同时根据照明圆环的直径可以快速准确地计算出检影验光的距离，消除了人工检影验光时验光师本身屈光不正带来的验光误差，提高了检影验光精度。
一种自动验光光学系统

[发明专利]光学透镜中心厚度的非接触式测量装置和测量方法-CN201710029634.3有效
发明人： 杨宝喜;金超群;胡小邦;张方;马健;黄惠杰 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2017-01-16 - 公布日： 2019-02-01 - 主分类号： G01B11/06 文献下载
摘要：一种光学透镜中心厚度非接触式测量装置和测量方法，装置的构成包括低相干光干涉测量系统、主控计算机、图像传感器、准直器、分光镜、第一透镜、第二透镜、圆柱体自定心夹持架、二维水平调节台、二维连体平移台、第一平面镜、第二平面镜、第一二维调整架、第二二维调整架、安装架和支撑面板。本发明采用反射式中心偏调节方法，可实现透镜光轴与测量系统光轴的快速共轴调节，利用两个平面镜组成的腔式结构，可对未知材料折射率的透镜中心厚度进行非接触式的精确测量。
光学透镜中心厚度接触测量装置测量方法

[发明专利]一种四组元变焦远心光学系统设计方法-CN201810408038.0在审
发明人： 杨宝喜;马健;张方;黄惠杰 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2018-05-02 - 公布日： 2018-09-14 - 主分类号： G02B27/00 文献下载
摘要：一种四组元变焦远心光学系统设计方法，涉及光学设计技术领域：该设计方法的步骤是：(1)确定四组元变焦远心系统的结构形式：(2)设系统的前焦面距系统第一面距离为SF、后焦面距离系统最后一面为SF′，第一组元与第二组元的间距为d12，第二组元与第三组元的间距为d23，第三组元与第四组元的间距为d34；(3)使四组元变焦远心系统前后焦点之间的距离D满足如下条件：D＝SF+d12+d23+d34+SF′。该设计方法利用高斯光学的理论解决了现有变焦光学设计方法无法控制系统焦面位置参数，从而不能实现变焦远心系统设计的技术难题。
变焦组元远心系统远心光学系统第二组元第三组元光学设计技术高斯光学光学设计技术难题焦面位置距离系统控制系统后焦面前焦面焦点

[发明专利]光刻机照明均匀性校正装置和校正方法-CN201710000725.4有效
发明人：程伟林;张方;杨宝喜;黄惠杰 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2017-01-03 - 公布日： 2018-07-13 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种光刻机照明均匀性校正装置和校正方法，校正装置包括基座、上校正模块和下校正模块。上校正模块与下校正模块放置于照明光场的扫描方向的两侧，且相对于照明光场非扫描方向对称分布。其中上校正模块与下校正模块中均有一块柔性薄板，通过控制该柔性薄板横截面上不同点的位移来得到相应的挠曲变形，并沿照明光场扫描方向运动进入照明光场以遮挡部分照明光，从而达到校正照明均匀性的目的。因柔性薄板发生挠曲变形后的轮廓为连续曲线，所以本发明的装置具有更高的校正能力和校正分辨率。
校正模块校正照明光场柔性薄板照明均匀性校正装置挠曲变形扫描方向光刻机扫描方向运动照明均匀性对称分布连续曲线校正装置分辨率照明光遮挡

[发明专利]光学镜组镜面间隙测量装置和测量方法-CN201610012510.X有效
发明人： 杨宝喜;师中华;胡小邦;魏张帆;李璟;陈明;黄惠杰 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2016-01-08 - 公布日： 2018-04-17 - 主分类号： G01B11/14 文献下载
摘要：一种光学镜组镜面间隙测量装置和测量方法，包括低相干光源、激光测长光源、红光指示光源、第一光纤耦合器、第二光纤耦合器、第三光纤耦合器、第一光纤环形器、第二光纤环形器、第一光纤准直器、电机驱动移动平台、可移动扫描反射镜、第二光纤准直器、四维调整架、可调焦准直器、待测镜组、安装架、光纤后向反射镜、光电探测器、平衡光电探测器、连接光纤。本发明通过平衡差分测量的方法，同时利用耦合器的两路输出，去除本底干扰信号，使干涉信号强度增大一倍，可用于光学镜组的高精度装调。
光学镜组镜面间隙测量装置测量方法

[发明专利]透镜组镜面间距的测量装置和测量方法-CN201610012511.4有效
发明人： 杨宝喜;师中华;胡小邦;魏张帆;李璟;陈明;黄惠杰 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2016-01-08 - 公布日： 2018-04-17 - 主分类号： G01B11/14 文献下载
摘要：一种透镜组镜面间距的测量装置和测量方法，装置包括低相干光源、激光测长光源、红光指示光源、第一波分复用器、第二波分复用器、第三波分复用器、光纤耦合器、第一MEMS光开关、第二MEMS光开关、延迟扫描臂、可调焦准直器、四维调整架、待测透镜组、安装架、光纤后向反射镜、第一光电探测器、第二光电探测器、连接光纤、数据采集系统、数据处理单元。本发明具有测量范围大及测量精度高的特点，测量精度可达到亚微米量级，可用于光学镜组的高精度装调。
透镜组镜面间距测量装置测量方法

[发明专利]高精度光学间隔测量装置和测量方法-CN201410472652.5有效
发明人： 杨宝喜;魏张帆;胡小邦;李璟;陈明;朱菁;薛佩佩;黄惠杰 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2014-09-17 - 公布日： 2017-02-08 - 主分类号： G01B11/00 文献下载
摘要：一种高精度光学间隔测量装置和测量方法，装置包括短相干光源、激光测长光源、照明指示用光源、第一光纤耦合器、第二光纤耦合器、测量光路、参考镜光路、延迟扫描光路、波分复用器、第一光电探测器、第二光电探测器、连接光纤、环境传感器。本发明采用时域光学相干层析技术，利用宽带光源及高精度延迟扫描光路实现光学元件间隔的非接触测量，通过共光路激光测长技术获取延迟光路的精确位移，采用五步相移干涉条纹包络的提取算法以及通过环境补偿，消除测量误差，提高测量精度，在测量范围内间隔测量精度可达到亚微米级，同时在光学仪器装调过程中可以实现实时测量，提高测量效率。
高精度光学间隔测量装置测量方法

[发明专利]一种车载信息抬头显示系统-CN201610240256.9在审
发明人：朱菁;张方;杨宝喜;曾爱军;黄惠杰;吕向博;郭怡明 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2016-04-18 - 公布日： 2016-08-24 - 主分类号： G02B27/01 文献下载
摘要：一种车载信息抬头显示系统，包括汽车状态信息显示系统和目镜系统；从所述汽车状态信息显示系统显示的汽车状态信息的光线，通过所述目镜系统进入人眼。本发明不需要前挡风玻璃补偿镜组件，因此该系统的设计加工难度可以很小，并且结构可以做的简单，成本低廉；显示图像的大小可以做到自动调整。
一种车载信息抬头显示系统

[发明专利]一种车载信息投射系统-CN201610240249.9在审
发明人：张方;朱菁;杨宝喜;曾爱军;黄惠杰;吕向博;郭怡明 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2016-04-18 - 公布日： 2016-08-24 - 主分类号： B60R1/00 文献下载
摘要：一种车载信息投射系统包括汽车状态微显示系统、微投影系统、散射板和半透半反镜，所述微投影系统将所述汽车状态微显示系统上显示的信息成像到所述散射板上，所述半透半反镜将所述散射板上的像成虚像到无穷远或者有限远距离处，人眼看到的虚像在汽车挡风玻璃前一定距离处。本发明结构可以做的很小，成本低廉，并且比较灵活，可行性比较强；不需要前挡风玻璃补偿镜组件，设计加工难度小；采用散射板作为中继面，减弱对人眼造成的恍惚和眩晕，汽车状态微显示系统发出的光强度很高，通过散射板中继成像后，汽车状态微显示系统发出的光不是直接进入人眼，这样人眼看到的显示图像比较柔和。
一种车载信息投射系统

[发明专利]一种光刻照明系统-CN201610009315.1在审
发明人：朱菁;张方;黄惠杰;王莹;杨宝喜 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2016-01-07 - 公布日： 2016-05-18 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种光刻照明系统，包括光源，以及沿该光源的出射光方向依次放置扩束镜组、衍射光学元件等，还包括散射板，该散射板放置在所述的微透镜阵列的前方或后方，所述散射板的输出光束在扫描方向上的角分布满足高斯分布，所述散射板由单面或双面的一维柱面镜阵列构成，该一维柱面镜阵列是由不同口径p_LS,n的柱面镜组成，该柱面镜中的口径p_LS,n和柱面镜焦距f_T的比值满足特定的条件。本发明实现均匀化分布和高斯分布的器件分离，有利于实现非扫描方向上的高均匀性，采用微透镜阵列实现均匀光场分布，再利用散射板实现高斯光场分布，最终在聚光镜组后焦面的扫描方向上实现超高斯光场分布，通过设计不同的散射板能有效控制超高斯光强分布轮廓。
一种光刻照明系统

[发明专利]用于光刻机的能量探测装置-CN201410528137.4有效
发明人：谢承科;王莹;陈明;曾爱军;杨宝喜;黄惠杰 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2014-10-09 - 公布日： 2015-01-28 - 主分类号： G01J1/42 文献下载
摘要：一种用于光刻机的能量探测装置，特点在于其构成沿光线前进方向依次是反射镜、积分棒、探测器、探测器信号处理电路、信号采集卡和计算机，所述的积分棒位于所述的反射镜的焦平面，所述的探测器的输出端接所述的探测器信号处理电路的电流信号输入端，该探测器信号处理电路的输出端经所述的信号采集卡与所述的计算机的输入端连接。本发明采用反射镜将光路折转，可减小光刻机的整机高度。所述的探测器信号处理电路可对窄脉冲信号进行放大、积分和保持，降低了后续信号采集电路的要求，能有效消除信号采集过程中孔径抖动对测量结果的影响；不需从能量探测装置外部输入积分保持电路的同步信号，可有效隔离外部噪声信号，提高能量探测装置的抗干扰能力。
用于光刻能量探测装置

[发明专利]基于单个空间光调制器的彩色微型投影装置-CN201410357373.4有效
发明人：朱菁;宋强;杨宝喜;黄惠杰 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2014-07-25 - 公布日： 2014-11-19 - 主分类号： G03B21/20 文献下载
摘要：一种基于单个空间光调制器的彩色微型投影装置，其特点在于该装置包括沿着光束传播方向依次是同轴放置的照明单元、微孔滤波阵列、微透镜阵列扩束准直单元、空间光调制器、傅里叶变换透镜、微投影光学镜头，所述的照明单元由红、绿、蓝三色LED光源组成；所述的微透镜阵扩束准直单元是由1×3的微透镜阵列组成；所述的空间光调制器位于所述的傅里叶变换透镜的前焦面，所述的微投影光学镜头的前焦面位于所述的傅里叶变换透镜的后焦面。所述的空间光调制器由液晶空间光调制器组成，用于加载相息图和再现彩色三维全息像。本发明能有效避免不同步引起的动态画面闪烁，实现彩色投影显示，具有结构紧凑，成本低的特点。
基于单个空间调制器彩色微型投影装置

[发明专利]多个可动镜片共用光栅尺的回零装置及控制方法-CN201410348746.1有效
发明人：胡小邦;张友宝;孙征宇;杨宝喜;李璟;黄惠杰 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2014-07-22 - 公布日： 2014-10-22 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种用于光刻设备中的多个可动镜片共用光栅尺的回零装置及控制方法，该装置包括：底座、N个可动镜片、运动控制主控模块、信号处理模块、驱动模块、光栅尺反馈模块、N个限位感应块及N个电机，其中N为3以上是正整数。本发明能实现多个可动镜片在各自运动轨迹范围内运动；能实现多个可动镜片准确、快速的回零，且在回零过程中不相撞。该发明既满足了尺寸结构紧凑、维护性强的要求，也满足了高精度的要求，具有通用性。
多个可动镜片共用光栅尺装置控制方法

[发明专利]用于激光等离子体质谱仪的激光剥蚀系统-CN201410126645.X无效
发明人：陈明;朱菁;杨宝喜;黄惠杰 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2014-03-31 - 公布日： 2014-07-02 - 主分类号： G01N1/44 文献下载
摘要：一种用于激光等离子体质谱仪的激光剥蚀系统，包括脉冲激光器，特征在于其构成是：沿脉冲激光器的激光输出方向依次是第一分光镜、系统光路和第二分光镜，所述的第一分光镜和第二分光镜与光路成45°，在第一分光镜的反射光方向是能量监测系统，该能量监测系统的输出端接激光器控制系统的输入端，该激光器控制系统的输出端接所述的脉冲激光器的控制端，在第二分光镜的反射光输出方向是样品池，在第二分光镜另一面与所述的样品池相对的是观察系统。本发明能够精确控制入射于样品上的激光的剂量值，进而能够精确的控制剥蚀样品离子的数量，以此提高激光等离子体质谱仪的测量精度，本发明适用于各种波段的激光剥蚀系统。
用于激光等离子体质谱仪剥蚀系统

[发明专利]光刻机曝光系统照明均匀性的校正方法-CN201410075046.X有效
发明人：朱菁;黄惠杰;曾爱军;杨宝喜;陈明;李璟;王健;魏张帆;张方 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2014-03-04 - 公布日： 2014-06-25 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种光刻机曝光系统照明均匀性的校正方法，该方法是沿光轴方向移动所述的聚光镜组的最后一块透镜，实现矩形照明光斑边缘位置和中心位置相对光强的调节。本发明无需添加额外的光学元件，仅依靠原光刻机曝光系统中已有光学元件的简单移动，即可实现照明均匀性的校正。该方法具有操作方便、不引起光强衰减的特点。适用于任何紫外光波段的光刻机曝光系统。
光刻曝光系统照明均匀校正方法

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