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[发明专利]一种半导体器件的键合方法及半导体器件-CN202310854560.2在审
发明人：杨磊;王焕橙;杨京南;杨婉君 -专利权人：上海芯物科技有限公司
申请日： 2023-07-12 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： H01L21/762 文献下载
摘要：本发明公开了一种半导体器件的键合方法及半导体器件，该半导体器件的键合方法包括：提供第一晶圆；通过原子层沉积工艺在第一晶圆的一侧沉积预设厚度的二氧化硅层；提供第二晶圆并通过二氧化硅层键合第一晶圆与第二晶圆。采用上述技术手段，通过采用原子层沉积工艺在第一晶圆的一侧沉积二氧化硅层，能够保证二氧化硅层的致密性与均匀性，有利于将第一晶圆与第二晶圆通过二氧化硅层进行键合，进而可以保证键合效果，提高半导体器件的性能及可靠性。
一种半导体器件方法

[发明专利]一种表面加工工艺和半导体器件-CN202211655607.4在审
发明人：潘代强;吉利;张云;王焕橙;姜喆;杨磊;杨婉君;杨京南 -专利权人：上海芯物科技有限公司
申请日： 2022-12-21 - 公布日： 2023-04-11 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种表面加工工艺和半导体器件，表面加工工艺包括：提供第一基板和第二基板；在第一基板的一侧沉积第一氧化层；在第二基板的一侧沉积第一加工材料；图形化第一加工材料，形成多个第一结构；在第一结构的间隙填充第一介质材料；对第一基板的第一氧化层和/或第二基板的第一介质材料进行表面活化处理；将第一基板的第一氧化层与第二基板的第一介质材料键合；剥离第二基板，得到表面加工有第一结构的第一基板。第一个独权。第一个独权的有益效果。采用上述技术方案，可进行低温键合，避免对温度敏感的电路和微结构的破坏，对器件损伤小；可使得所有衬底或器件表面均可以进行表面微观结构的加工，降低了器件表面加工的难度。
一种表面加工工艺半导体器件

[发明专利]一种硅片键合方法-CN202211362478.X在审
发明人：杨磊;王焕橙;杨京南;潘代强;吉利;张云 -专利权人：上海芯物科技有限公司
申请日： 2022-11-02 - 公布日： 2023-03-21 - 主分类号： H01L21/18 文献下载
摘要：本发明涉及一种硅片键合方法，包括以下步骤：提供两片硅片，并在所述硅片表面生长二氧化硅薄膜，其中至少一片硅片表面采用原子层沉积生长二氧化硅薄膜；湿法清洗所述硅片表面；利用清洗后的二氧化硅薄膜将两片所述硅片键合。由此可见，采用本发明的方法生长的二氧化硅薄膜厚度容易控制，且致密性和均匀性好，减少了键合工艺步骤，节约了成本，同时还具有优异的键合效果。
一种硅片方法

[发明专利]背照式互补金属氧化物半导体图像传感器及其制备方法-CN202110802231.4有效
发明人：徐文;杨京南 -专利权人：上海芯物科技有限公司
申请日： 2021-07-15 - 公布日： 2022-12-09 - 主分类号： H01L27/146 文献下载
摘要：本发明实施例公开了一种背照式互补金属氧化物半导体图像传感器及其制备方法。该互补金属氧化物半导体图像传感器的制备方法包括：提供第一晶圆；在第一晶圆的表面形成外延层，其中，外延层和第一晶圆的导电类型相同，且外延层的掺杂浓度小于第一晶圆的掺杂浓度，外延层内设置有至少一个像素单元；在外延层形成至少一个掺杂区，其中，掺杂区围绕像素单元设置；在第一晶圆的表面形成第二晶圆，其中，第二晶圆内设置有图像处理电路；通过湿法刻蚀工艺去除第一晶圆；通过湿法刻蚀工艺去除掺杂区。本方案相比于干法刻蚀，可以避免对硅表面的损伤，无需修复硅表面的损伤，由此降低互补金属氧化物半导体图像传感器在形成像素单元的隔离结构受到的损伤。
背照式互补金属氧化物半导体图像传感器及其制备方法

[发明专利]一种聚二甲基硅氧烷与二氧化硅微球复合厚膜及其制备方法-CN202010598777.8有效
发明人：高相东;杨京南;史天泉;赵祥 -专利权人：中国科学院上海硅酸盐研究所;临沂昊泉硅业科技有限公司
申请日： 2020-06-28 - 公布日： 2022-11-11 - 主分类号： C08L83/04 文献下载
摘要：本发明公开一种聚二甲基硅氧烷与二氧化硅微球复合厚膜及其制备方法。所述制备方法包括以下步骤：（1）将SiO2微球加入到溶剂中，得到SiO2微球悬浮液；（2）在所得SiO2微球悬浮液中加入聚二甲基硅氧烷，得到PDMS‑SiO2微球复合液；（3）在所得PDMS‑SiO2微球复合液中加入固化剂，得到流延所需复合液；（4）将流延所需复合液在衬底上流延，得到湿膜；（5）将湿膜逐级加热，得到聚二甲基硅氧烷与二氧化硅微球复合厚膜；其中，逐级加热的加热程序为：第一阶段的温度为30～45℃，时间为10～60 min；第二阶段的温度为50～80℃，时间为1～3 h。
一种聚二甲基硅氧烷二氧化硅复合及其制备方法

[发明专利]一种禁带宽度可调的铬掺杂锡酸钡纳米粉体及制备方法-CN201811618339.2有效
发明人：高相东;张彤彤;杨京南;吴永庆 -专利权人：中国科学院上海硅酸盐研究所
申请日： 2018-12-28 - 公布日： 2021-07-13 - 主分类号： C01G19/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种禁带宽度可调的铬掺杂锡酸钡纳米粉体及制备方法，所述铬掺杂锡酸钡纳米粉体的化学组成为BaSn1‑xCrxO3，其中0＜x≤0.5，所述铬掺杂调整粉体禁带宽度。
一种宽度可调掺杂锡酸钡纳米制备方法

[发明专利]基于流延法制备聚4-甲基戊烯与多孔氧化硅微球复合薄膜的方法-CN201910172165.X有效
发明人：高相东;杨京南;张彤彤 -专利权人：中国科学院上海硅酸盐研究所
申请日： 2019-03-07 - 公布日： 2021-06-15 - 主分类号： C08J5/18 文献下载
摘要：本发明涉及基于流延法制备聚4‑甲基戊烯与多孔氧化硅微球复合薄膜的方法，包括以下步骤：（1）将聚4‑甲基戊烯溶于有机溶剂中，得到聚4‑甲基戊烯溶液；（2）将多孔SiO2微球均匀分散于聚4‑甲基戊烯溶液中，得到复合溶液；（3）采用流延法将复合溶液流延成膜，得到聚4‑甲基戊烯与多孔SiO2微球复合薄膜。
基于法制甲基戊烯多孔氧化硅微球复合薄膜方法

[发明专利]一种聚4-甲基戊烯与SiO2-CN201811504515.X有效
发明人：高相东;杨京南;张彤彤;吴永庆 -专利权人：中国科学院上海硅酸盐研究所
申请日： 2018-12-10 - 公布日： 2021-06-15 - 主分类号： C08J5/18 文献下载
摘要：本发明涉及一种聚4‑甲基戊烯与SiO2微球复合薄膜及其制备方法，该制备方法包括：（1）将聚4‑甲基戊烯（TPX）和溶剂在0～90℃下加热搅拌溶解，得到聚4‑甲基戊烯溶液；（2）在所得聚4‑甲基戊烯溶液中加入SiO2微球，得到TPX‑SiO2微球复合溶液；（3）在衬底上滴注所得TPX‑SiO2微球复合溶液后置于密封容器内，待溶剂蒸发后，得到所述聚4‑甲基戊烯与SiO2微球复合薄膜。
一种甲基戊烯 sio base sub

[发明专利]一种锡酸钡复合氧化硅气凝胶粉体及其制备方法-CN202010306015.6有效
发明人：高相东;史天泉;杨京南 -专利权人：中国科学院上海硅酸盐研究所
申请日： 2020-04-17 - 公布日： 2021-05-25 - 主分类号： B01J13/00 文献下载
摘要：本发明提供一种锡酸钡复合氧化硅气凝胶粉体及其制备方法。复合气凝胶的组成为xSiO2+(1‑x)BaSnO3，其中0＜x＜1，所述复合气凝胶包括氧化硅气凝胶、和均匀分布在氧化硅气凝胶中的锡酸钡纳米粒子。以氧化硅气凝胶为硬模板，将锡酸钡纳米粒子均匀分布在氧化硅气凝胶，具有纳米孔道结构，可以防止锡酸钡发生团聚，从而可以充分发挥纳米晶锡酸钡的小尺寸效应、表面/界面效应等性能。
一种锡酸钡复合氧化凝胶及其制备方法

[发明专利]一种疏水改性磷酸盐及其制备方法和在防火腻子中的应用-CN201910172686.5有效
发明人：高相东;杨京南;张彤彤 -专利权人：中国科学院上海硅酸盐研究所苏州研究院;中国科学院上海硅酸盐研究所
申请日： 2019-03-07 - 公布日： 2021-02-12 - 主分类号： C09D5/34 文献下载
摘要：本发明涉及一种疏水改性磷酸盐及其制备方法和在防火腻子中的应用，所述疏水改性磷酸盐为中性有机硅烷改性的磷酸盐；所述制备方法包括：称取磷酸盐置于容器中，将中性有机硅烷分5～10次滴加至磷酸盐中，每次加入量为有机硅烷总重量的1/5～1/10，每滴加一次后共混研磨一次，最终得到所述疏水改性磷酸盐。
一种疏水改性磷酸盐及其制备方法防火腻子中的应用

[发明专利]一种禁带宽度可调的铬掺杂锡酸钡纳米多孔薄膜及制备方法-CN201811618780.0在审
发明人：高相东;张彤彤;杨京南;吴永庆 -专利权人：中国科学院上海硅酸盐研究所
申请日： 2018-12-28 - 公布日： 2019-05-07 - 主分类号： H01L51/42 文献下载
摘要：本发明涉及一种禁带宽度可调的铬掺杂锡酸钡纳米多孔薄膜及制备方法，所述纳米多孔薄膜通过将由铬掺杂锡酸钡纳米颗粒和有机溶剂混合得到的前驱胶体溶液涂覆在衬底上后经热处理而得到，所述铬掺杂锡酸钡纳米多孔薄膜的无机成分为BaSn_1‑xCr_xO₃，其中0≤x≤0.5。
纳米多孔薄膜铬掺杂锡酸钡宽度可调禁带制备热处理胶体溶液纳米颗粒有机溶剂前驱衬底涂覆

[实用新型]可调式灯罩-CN200720015536.6无效
发明人： 杨京南 -专利权人： 杨京南
申请日： 2007-10-30 - 公布日： 2008-11-12 - 主分类号： F21V3/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种可调式灯罩，所述的灯罩由上下开口的圆台形外罩组成，在外壁上开设透光孔；外罩顶部开口处安置圆形挡板，沿圆形挡板直径伸出两根螺丝杆贯穿外罩对称两端，在伸出端螺丝杆表面套接螺母固定连接。使用时，闭合电路，灯泡在外罩内发光，下方照射面积由外罩下开口面积决定；使用者可松动螺母，调节圆形挡板的角度，改变外罩上开口的遮挡面积，改善照射条件。本实用新型具有结构简单、方便实用、外形美观等优点。
调式灯罩

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