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[实用新型]一种承片台及芯片检测机构-CN202320713155.4有效
发明人：周颖达;李景均;杨应俊 -专利权人：矽电半导体设备（深圳）股份有限公司
申请日： 2023-03-28 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： G01R1/04 文献下载
摘要：本实用新型公开一种承片台及芯片检测机构，其中，所述承片台具有一承载端面，用于贴附芯片载膜，所述承片台上开设有环槽，所述环槽沿所述承载端面的周沿环绕一周，所述承片台开设有第一排气孔，所述第一排气孔连通所述环槽，用于在所述芯片载膜贴附于所述承载端面时，排出所述环槽内的气体。本技术方案解决了芯片检测过程中载膜吸附不平整的技术问题。
一种承片台芯片检测机构

[发明专利]探针台、针卡对针校准方法、控制器和存储介质-CN202310768900.X在审
发明人： 李景均;吴贵阳;杨应俊 -专利权人：矽电半导体设备（深圳）股份有限公司
申请日： 2023-06-27 - 公布日： 2023-10-17 - 主分类号： G01R1/067 文献下载
摘要：本申请提出一种探针台、针卡对针校准方法、控制器和存储介质，方法包括：在第一摄像模块处于低倍视场模式和高倍视场模式下，分别获取基准单元移动前后的图像，并分别根据基准单元移动前后的图像确定第一摄像模块的像素坐标系和运动坐标系之间的第一坐标变换比例和第二坐标变换比例；再通过将基准单元先后移动至第一摄像模块的视场中心和针尖下方，得到针尖和第一摄像模块的视场中心之间的相对位置偏移量，以确定第一摄像模块的像素坐标系与XY运动电机的运动坐标系之间的坐标映射关系，根据第一摄像模块拍摄的实时图像控制XY运动电机，将被测单元与针卡对准，在无需标靶作为标的物的前提下实现高精度的自动化对针测试，同时兼顾对针精度和成本。
探针校准方法控制器存储介质

[实用新型]芯片夹紧装置-CN202223609662.8有效
发明人： 李景均 -专利权人：矽电半导体设备（深圳）股份有限公司
申请日： 2022-12-30 - 公布日： 2023-05-12 - 主分类号： B25B11/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种芯片夹紧装置，所述芯片夹紧装置包括工作台、定位组件及顶紧组件，所述工作台上具有两个间隔设置的定位槽；所述定位组件分别设置在两个所述定位槽中；所述顶紧组件设置在所述工作台的边缘，所述顶紧组件朝向或背离所述定位组件移动，以将芯片相邻的两侧边缘抵紧在所述定位组件上，或者使所述芯片从所述定位组件与所述顶紧组件之间松开。本实用新型技术方案作业人员只需要将芯片放置在所述工作台上，所述顶紧组件自动伸出，将芯片顶紧在所述定位组件上，从而起到固定芯片的作用。提高检测过程中芯片固定的自动化程度。通过设置所述顶紧组件的顶出行程，从而控制芯片的夹紧力度，避免芯片被损坏。
芯片夹紧装置

[外观设计]晶圆测试探针台-CN202230753387.3有效
发明人： 李景均;杨应俊 -专利权人：矽电半导体设备(深圳)股份有限公司
申请日： 2022-11-11 - 公布日： 2023-03-28 - 主分类号： 10-05 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：晶圆测试探针台。2.本外观设计产品的用途：用于半导体晶圆测试。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。
测试探针

[实用新型]一种针座及探针台-CN202221253914.5有效
发明人：王伟谦;李景均;沈杰;杨应俊 -专利权人：矽电半导体设备（深圳）股份有限公司
申请日： 2022-05-24 - 公布日： 2022-11-22 - 主分类号： G01R1/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种针座及探针台。所述针座包括，本体；安装部，用于安装测试用探针；所述安装部通过竖直设置的直线导轨连接于本体，所述安装部能够相对本体沿竖直方向运动；所述本体与安装部之间连接有沿竖直方向设置的第一弹簧，使安装部能够沿直线导轨向下止抵于本体；枢接于本体的调位杆，沿竖直方向止抵于安装部上的调位凸起，调位杆作用于调位凸起，使安装部沿直线导轨竖直向上运动；也即通过转动调位杆作用于调位凸起能够实现安装部上升；枢接于本体的手动杆，包括有枢接轴，以及延伸于枢接轴的手柄，延伸于枢接轴的作用部，作用部止抵于调位杆；所述作用部延伸长度小于手柄部的延伸长度；一种使用该针座的探针台。
一种探针

[实用新型]一种调节探针水平角度的针座-CN202221255308.7有效
发明人：王伟谦;李景均;沈杰;杨应俊 -专利权人：矽电半导体设备（深圳）股份有限公司
申请日： 2022-05-24 - 公布日： 2022-11-22 - 主分类号： G01R1/067 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种调节探针水平角度的针座，用于安装测试LED芯粒的探针。所述调节探针水平角度的针座包括，旋转本体；沿竖直方向枢接轴枢接于旋转本体的探针安装部，所述探针安装部固定有探针；使所述探针能够相对于旋转本体在水平面内旋转；沿水平枢接轴枢接于旋转本体的旋转凸轮，所述旋转凸轮止抵于探针安装部；所述旋转本体与探针安装部之间连接有第一弹簧，使探针安装部止抵于旋转凸轮；螺接于旋转本体的调位螺杆，止抵于旋转凸轮；所述第一弹簧作用于旋转凸轮的旋转方向与调位螺杆作用于旋转凸轮的旋转方向相反；在实现对探针水平面内位置调节的前提下，所述调节探针水平角度的针座的技术方案轻便可靠，占用空间小。
一种调节探针水平角度

[实用新型]一种针卡调节装置及探针台-CN202021962074.0有效
发明人： 李景均;韦日文;杨应俊;刘振辉 -专利权人：矽电半导体设备（深圳）股份有限公司
申请日： 2020-09-10 - 公布日： 2021-05-18 - 主分类号： G01R1/073 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种针卡调节装置及探针台。一种针卡调节装置包括，机架；针卡安装部，用于安装针卡；沿竖直方向运动连接于机架；驱动部，驱动部的输出端连接于针卡安装部，用于控制针卡安装部的升降运动；一种探针台包括所述针卡调节装置；从而保证了晶圆的平整度，提高了LED芯粒或半导体芯粒测试的准确性。
一种调节装置探针

[实用新型]一种绷环铁环兼容放置部及探针台-CN202021296096.8有效
发明人：杨应俊;沈杰;李景均;颜建武 -专利权人：矽电半导体设备（深圳）股份有限公司
申请日： 2020-07-06 - 公布日： 2021-05-18 - 主分类号： G01R1/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种绷环铁环兼容放置部及探针台。一种绷环铁环兼容放置部，用于放置绷环/铁环，用于放置绷环的环槽周围设置有多个突起，与环槽开口方向一致的所述多个突起能够止抵于放置的铁环边沿。一种探针台，包括上述的绷环铁环兼容放置部。绷环和铁环兼容放置，满足不同的测试要求，操作简单，使用方便。
一种铁环兼容放置探针

[实用新型]一种倒装LED芯粒测试系统及兼容正装倒装LED芯粒测试系统-CN202021295835.1有效
发明人：刘振辉;李景均 -专利权人：矽电半导体设备（深圳）股份有限公司
申请日： 2020-07-06 - 公布日： 2021-01-26 - 主分类号： G01M11/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种倒装LED芯粒测试系统及兼容正装倒装LED芯粒测试系统。一种倒装LED芯粒测试系统，水平设置的玻璃板连接于沿竖直方向中空的运动组件，且玻璃板正对应运动组件的中空部位；运动组件连接于设置有第一开口的底座，且能够将玻璃板承载的倒装LED芯粒搬运到沿竖直方向正对应第一开口的位置；第一收光部件沿竖直方向运动连接于底座，且第一收光部件的收光口沿竖直方向正对应第一开口，第一收光部件通过中空部位对玻璃板上发光侧贴合玻璃板的倒装LED芯粒收光；一种兼容正装倒装LED芯粒测试系统，包括上述的倒装LED芯粒测试系统，第二收光部件正对应第三开口并连接于安装部上侧。
一种倒装 led 测试系统兼容

[发明专利]一种加工系统及运料方法-CN201810931961.2有效
发明人：杨应俊;刘子敏;李景均;王胜利 -专利权人：矽电半导体设备（深圳）股份有限公司;矽旺科技（深圳）有限公司
申请日： 2018-08-16 - 公布日： 2020-11-20 - 主分类号： B65G37/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种加工系统及运料方法。一种运料方法，包括Z台设备，Z为大于2的正整数，依次为设备1、设备2…设备Z‑1、设备Z；设备1向设备2传料，…设备Z‑1向设备Z传料；所述设备Z具有持续搬运物料的能力；a.当除设备Z外的Z‑1台设备中至少有一台设备据有处理好的物料；按照设备Z‑1…设备1的优先顺序将处理好的物料经设备Z搬运走；b.当除设备Z外的Z‑1台设备均没有处理好的物料，且至少有一台设备缺料，补充缺料设备的物料从设备1、设备2依次传输到缺料设备；不需要外加上下料设备，涉及的多台设备能够实现上下料；当一台或多台设备需要调整时，调整后仍然能够满足使用要求；结构简单，方案按照具体实施者的使用要求适应性强。
一种加工系统方法

[发明专利]一种运料方法-CN201810932422.0有效
发明人：杨应俊;刘子敏;李景均;王胜利 -专利权人：矽电半导体设备（深圳）股份有限公司
申请日： 2018-08-16 - 公布日： 2020-09-29 - 主分类号： B65G43/00 文献下载
摘要：一种运料方法，包括多台设备，其中设备M包括第一原料台、第一搬运部和第一工作台；设备N包括第二原料台和第二搬运部；S1)：工序前件放置于第一原料台；S2)：A1：当第一工作台处于空闲状态时，第一搬运部将第一原料台上的工序前件搬运至第一工作台；或者B1：当第一工作台处于工作状态，且第二原料台处于无料状态时，第一搬运部将第一原料台上的工序前件搬运到第二原料台；所述多台同时工作的设备不需要特制上下料系统就能够实现对所有设备上下料操作；多台设备只需要一处添加工序前件；对于所述多台设备具体数量，方案实施者只需要根据产能需要随意调整同时工作的设备数量，调整方便。
一种方法

[实用新型]一种探针台-CN201921566696.9有效
发明人：杨应俊;李景均;沈杰 -专利权人：矽电半导体设备（深圳）股份有限公司
申请日： 2019-09-20 - 公布日： 2020-07-28 - 主分类号： G01R1/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种探针台。所述探针台包括用于安装保护结构的机架，所述探针台在操作面设置有，第一保护板，固定于机架；第一导向部，平行于第一保护板并连接于机架；第一滑动门，运动连接于第一导向部；所述第一滑动门设置有第一限位块；第一滑动门沿第一导向部运动使第一滑动门止抵于机架，或者所述第一限位块沿第一导向部方向止抵于第一保护板；第一滑动门止抵于机架时，第一滑动门有面积S1遮盖于第一保护板；第一限位块沿第一导向部止抵于第一保护板时，第一滑动门有面积S2遮盖于第一保护板；所述面积S1大于面积S2；满足探针台的使用要求，结构简单，使用方便可靠。
一种探针

[外观设计]探针台(L-9DM)-CN201930516817.8有效
发明人： 李景均;杨应俊 -专利权人：矽电半导体设备（深圳）股份有限公司
申请日： 2019-09-20 - 公布日： 2020-04-03 - 主分类号： 10-05 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：探针台(L‑9DM)。2.本外观设计产品的用途：测试LED芯粒或半导体芯粒。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。5.本外观设计产品的底面为使用时不容易看到或看不到的部位，省略仰视图。
探针 dm

[实用新型]一种探边器-CN201822131010.5有效
发明人：王胜利;李景均;杨应俊 -专利权人：深圳市矽电半导体设备有限公司
申请日： 2018-12-18 - 公布日： 2019-11-26 - 主分类号： G01R1/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种探边器。所述探边器包括，第一连接部，设置有滑槽；驱动电机，与第一连接部连接；驱动电机输出轴连接有调节螺杆，所述调节螺杆包括行程控制部，所述行程控制部容纳于所述滑槽；调节滑块，螺接于行程控制部并止抵于滑槽内壁；所述调节滑块连接有测试探针；提升对测试探针沿调节螺杆的控制精度；减少驱动电机带动的负载，满足对发光二极管的高精度测试。
调节螺杆行程控制第一连接部测试探针调节滑块驱动电机探边器滑槽驱动电机输出轴本实用新型发光二极管高精度测试滑槽内壁螺接容纳

[实用新型]一种视觉系统调节机构-CN201822131375.8有效
发明人：王胜利;李景均;杨应俊 -专利权人：深圳市矽电半导体设备有限公司
申请日： 2018-12-18 - 公布日： 2019-11-05 - 主分类号： G01N21/01 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种视觉系统调节机构。一种视觉系统调节机构包括，第一基座；第二基座，通过第一方向设置的第一滑轨连接于第一基座；第一调节部，螺接于第二基座；所述第一调节部一端止抵于第一基座；复位弹簧，连接于第二基座和第一基座；第三基座，通过第二滑轨连接于第二基座，所述第二滑轨限定的运动方向平行于第一滑轨限定的运动方向；视觉系统，连接于第三基座；第二调节部，连接于第三基座和第二基座，驱动第三基座沿第二滑轨相对于第二基座运动。
视觉系统滑轨滑轨连接本实用新型方向设置复位弹簧基座运动螺接平行驱动

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