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[发明专利]一种控制半导体晶圆加热温度的方法-CN202310295212.6在审
发明人：喻晓;王肇龙;赵官源;倪玉河;李进;李士会 -专利权人：北京烁科中科信电子装备有限公司
申请日： 2023-03-23 - 公布日： 2023-07-28 - 主分类号： H01L21/265 文献下载
摘要：本发明公开了一种控制半导体晶圆加热温度的方法，包括以下步骤：步骤S1、使用非接触热源，对真空加热腔室内的晶圆进行初次加热，到达第一预定时间t1后，晶圆升温至第一预定温度T1；步骤S2、在真空环境中，将晶圆从初次加热的加热腔室传输至二次加热的加热腔室，到达第二预定时间t2后，晶圆降温至第二预定温度T2；步骤S3、在二次加热的加热腔室内，使用接触或半接触热源对晶圆进行二次加热，到达第三预定时间t3后，晶圆升温并保持在第三预定温度T3，开始对晶圆进行离子注入。本发明具有原理简单、控制精准且加热速度快等优点，解决了半导体高温注入中晶圆加热的控制问题，提高了晶圆高温注入的质量。
一种控制半导体加热温度方法

[实用新型]一种带电粒子束流测量装置-CN202223506853.1有效
发明人：李丽卷;李建基;黄海龙;李士会;李进 -专利权人：北京烁科中科信电子装备有限公司
申请日： 2022-12-27 - 公布日： 2023-06-27 - 主分类号： G01T1/29 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种带电粒子束流测量装置，包括盒体，所述盒体的一个端面为石墨挡板，所述盒体的另一个端面为背板；所述盒体内依次设置有一个以上的反射电极计量杯、连接板及一个终端检测计量杯，所述反射电极计量杯靠近石墨挡板，所述终端检测计量杯靠近背板；所述连接板上的槽内设有绝缘块，所述绝缘块内设有石墨。本实用新型具有结构简单、制作简便、易拆装等优点。
一种带电粒子束测量装置

[发明专利]一种高能离子注入机的聚束谐振装置-CN202211686080.1在审
发明人：范亚姣;高静;崔春明;黄海龙;李进;李士会 -专利权人：北京烁科中科信电子装备有限公司
申请日： 2022-12-27 - 公布日： 2023-04-28 - 主分类号： H01J37/30 文献下载
摘要：本发明公开了一种高能离子注入机的聚束谐振装置，包括聚束谐振器主体，所述聚束谐振器主体包括桶体及安装于桶体上的聚束电极头和电感调节装置、安装于桶体内的感应线圈；所述桶体安装至电极法兰和顶板上，所述电极法兰中设有一组以上的孔和盲板；所述孔上设有下沉槽，所述盲板安装至孔的下沉槽上，实现密封。本发明具有结构简单、使用方便、可调效果好等优点。
一种高能离子注入谐振装置

[发明专利]一种离子淋浴系统-CN202211686627.8在审
发明人：王朋飞;高静;黄海龙;李进;李士会 -专利权人：北京烁科中科信电子装备有限公司
申请日： 2022-12-27 - 公布日： 2023-04-18 - 主分类号： H01J37/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种离子淋浴系统，包括：离子淋浴枪，固定连接于腔体上；供电装置，与离子淋浴枪连接并为离子淋浴枪供电；所述供电装置包括电连接插针、电连接插孔、公水冷接头、母水冷接头；外接电源的正、负极分别连接至电连接插针、电连接插孔，所述电连接插针接入母水冷接头，所述电连接插孔接入公水冷接头；所述公水冷接头、母水冷接头分别与两个导线条连接。本发明具有结构简单、制作简便、稳定性和可靠性好等优点。
一种离子淋浴系统

[发明专利]一种带电粒子束流测量装置-CN202211686637.1在审
发明人：李丽卷;李建基;黄海龙;李士会;李进 -专利权人：北京烁科中科信电子装备有限公司
申请日： 2022-12-27 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： G01T1/29 文献下载
摘要：本发明公开了一种带电粒子束流测量装置，包括盒体，所述盒体的一个端面为石墨挡板，所述盒体的另一个端面为背板；所述盒体内依次设置有一个以上的反射电极计量杯、连接板及一个终端检测计量杯，所述反射电极计量杯靠近石墨挡板，所述终端检测计量杯靠近背板；所述连接板上的槽内设有绝缘块，所述绝缘块内设有石墨。本发明具有结构简单、制作简便、易拆装等优点。
一种带电粒子束测量装置

[发明专利]一种林业勘查钻孔机-CN202210979408.2有效
发明人：王立芹;陈娟;曹永富;张楠;王小青;李广云;李士会 -专利权人：临沂市森林湿地保护中心
申请日： 2022-08-16 - 公布日： 2023-03-10 - 主分类号： G01N1/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种林业勘查钻孔机，涉及林业勘查技术领域，包括安装杆，还包括；固定设置于安装杆两侧的围板，围板之间滑动设置升降板；设置于升降板一侧的钻孔机构，包括转动贯穿设置于升降板一端的导气柱，导气柱一端固定连接取样筒，所述取样筒底部固定连接钻头，所述取样筒内固定连接分腔柱，所述气筒一端设置伸缩组件，所述导气柱一端的升降板上固定连接密封罩，密封罩一侧的安装杆底部固定连接固定杆，固定杆一端转动连接转动杆，所述转动杆一侧固定连接导气块，所述升降板一侧设置供气组件，通过调节定位块的位置，实现装置钻孔深度的精准定位，在供气组件的作用下，能够对同一深度不同直径范围内的样本进行快速取样。
一种林业勘查钻孔机

[发明专利]一种林业种植松土机-CN202211096136.8在审
发明人：王立芹;陈娟;曹永富;张楠;王小青;李广云;李士会 -专利权人：临沂市森林湿地保护中心
申请日： 2022-09-06 - 公布日： 2023-01-31 - 主分类号： A01B49/02 文献下载
摘要：本发明属于松土机技术领域，尤其涉及一种林业种植松土机，所述林业种植松土机包括：箱体；以及设在所述箱体一侧的松土组件，用于对土壤进行松土并平整；所述松土组件包括：与所述箱体转动连接的调节板；以及通过电机支架与所述调节板连接的驱动件；所述驱动件的输出端上固定连接有第一皮带辊；通过皮带与所述第一皮带辊连接的第二皮带辊；以及与所述第二皮带辊固定连接的转动轴，所述转动轴贯穿调节板；松土爪，固定连接在所述转动轴的两端。本发明通过设置松土组件，使得松土机可在松土的同时，对土壤进行平整，大大提高了松土效果，避免了在松土后对土壤进行人工平整，松土效率高，效果好，更加适宜推广使用。
一种林业种植松土机

[发明专利]一种利于花卉苗木生长的花卉种植用花盆-CN202210928800.4在审
发明人： 李士会;徐艳田;陈为涛 -专利权人： 李士会;徐艳田;陈为涛
申请日： 2022-08-03 - 公布日： 2022-11-25 - 主分类号： A01G9/02 文献下载
摘要：本发明涉及花卉种植技术领域，涉及一种利于花卉苗木生长的花卉种植用花盆；本发明采用了精巧的结构设计，当进行松土及浇水时，只需控制驱动电机驱动一号锥齿轮转动；一号锥齿轮又驱动二号锥齿轮带动空心轴转动；侧杆跟着空心轴周转时，二类凸起间歇与松土杆底端配合，两者接触时将松土杆顶起、两者分离时则松土杆自动落下，这样使松土杆对土壤层进行疏松；浇水组件也跟着空心轴周转，抵杆与圆盘及一类凸起作用、并配合弹簧，使移动柱在空心筒内往复移动，进而使通水孔将上、下导水管间歇连通，实现间歇排水；同时由于绕水组件在进行周转，对土壤层进行均匀浇水；通过上述对土壤层的疏松和均匀浇水，可利于花卉生长。
一种利于花卉苗木生长花卉种植花盆

[发明专利]一种双出口平行透镜-CN201811463631.1有效
发明人：张喻召;李晨冉;李士会 -专利权人：北京中科信电子装备有限公司
申请日： 2018-12-03 - 公布日： 2022-08-02 - 主分类号： H01J37/141 文献下载
摘要：本发明公开了一种双出口平行透镜，包括：磁轭(1)、磁极(2)、线圈(3)、真空盒(4)。平行透镜磁极面有一个入口和两个出口，入口磁极边线形状为圆弧，两个出口边线形状为曲率不同的曲线。当线圈加一定电流后，带电离子束以一定角度由入口进入平行透镜，通过在磁场中路径长度不同，会以同一角度出射，达到离子束平行化的目的。磁极面两个出口，通过改变平行透镜电流方向，可以改变离子束的出口方向，从而实现两个方向离子束平行化。在离子注入机上，平行透镜的作用是通过磁场产生的磁场力，使带电离子在磁场中偏转不同的角度，从而使不同角度的离子束平行化，以同一角度注入晶圆。一般的平行透镜只有一个偏转方向，只能够对应一个靶室。本发明公开的平行透镜可以通过改变电流的方向，使离子束偏转进入不同的靶室，从而提高离子注入的产能。本发明涉及离子注入装置，隶属于半导体制造领域。
一种出口平行透镜

[发明专利]一种由气动控制的高低能切换装置-CN202210372456.5在审
发明人：何珍光;李士会;张冰;郭森;季杰 -专利权人：北京烁科中科信电子装备有限公司
申请日： 2022-04-11 - 公布日： 2022-07-08 - 主分类号： H01J37/248 文献下载
摘要：本发明提供一种由气动控制的高低能切换装置。所述切换装置包括安装座、固定座、连接杆、第一导电柱、第二导电柱、第一铜杆、第二铜杆、伸缩驱动件、公头和母头；所述连接杆与伸缩驱动件的伸缩杆相连，所述第一铜杆和第二铜杆分别设置在所述连接杆的两端；所述第一铜杆临近伸缩杆的末端设置；所述第二导电柱和第一导电柱间隔设置在所述安装座内；所述连接杆的末端上设有所述公头，所述安装座上设有与所述公头位置对应的所述母头；所述母头远离公头的一端接地线；所述第一导电柱连接第一高压线缆和第二高压线缆,所述第二导电柱连接一根高压线缆。与相关技术相比，本发明在满足电气间隙情况下，通过改变接线方式实现不同能量之间的切换。
一种气动控制低能切换装置

[发明专利]一种适合现场的电位切换装置-CN202210372457.X在审
发明人：何珍光;李士会;李红赛;张冰;季杰 -专利权人：北京烁科中科信电子装备有限公司
申请日： 2022-04-11 - 公布日： 2022-06-14 - 主分类号： H01H35/38 文献下载
摘要：本发明提供一种适合现场的电位切换装置。所述适合现场的电位切换装置包括第一接线端、第二接线端、顶柱、上缸盖、缸筒、下缸盖、插线板、活塞、活塞拉杆、磁环、滑轮和钢丝绳；所述第一接线端设于所述插线板内，所述第二接线端的一端与第一接线端连接，另一端与顶柱连接；所述活塞配装于所述缸筒内，所述滑轮可转动的安装在所述下缸盖中；所述活塞的上端设有所述磁环，所述活塞拉杆穿过所述活塞和磁环，所述活塞拉杆通过所述钢丝绳与所述滑轮连接；所述活塞在所述缸筒内上下位移，使所述活塞拉杆与顶柱接触或脱离。与相关技术相比，本发明避免因高电位和低电位距离近产生打火现象，且在满足电气间隙情况下实现不同能量之间的切换。
一种适合现场电位切换装置

[发明专利]一种具有防堵塞功能的园林花卉施肥装置-CN202210151993.7在审
发明人： 李士会;王永军;刘心力 -专利权人： 李士会;王永军;刘心力
申请日： 2022-02-18 - 公布日： 2022-06-07 - 主分类号： A01C15/02 文献下载
摘要：本发明涉及花卉施肥技术领域，涉及一种具有防堵塞功能的园林花卉施肥装置；本装置在肥料斗内设置了隔板和封板，将肥料斗分隔成两个容纳腔，可分别装入固态肥料和液态肥料；并在封板下方设置了切换组件，在进行施肥时控制驱动组件单向转动，通过传动组件与切换组件实现配合，实现肥料斗向下肥管下料；并根据手轮转向的不同，可进行下固态肥料或液态肥料的切换；驱动组件还使一号齿轮带着五号轴转动，这样曲拐随即带着套筒转动，并通过一号杆、二号杆使一号连杆沿着滑槽移动，从而带动活动挡板产生往复升降，这样二号连杆随即跟着带动疏通杆升降，对下肥管进行疏通，避免堵塞。
一种具有堵塞功能园林花卉施肥装置

[实用新型]高速公路隧道人行通道智能报警装置-CN202122230834.X有效
发明人：江永钦;王新;王群;钟加晓;张鑫;杨昌贵;李士会;周伟武;蔡俊峰;卢志晓;李浩 -专利权人：浙江台州甬台温高速公路有限公司
申请日： 2021-09-15 - 公布日： 2022-05-03 - 主分类号： E04H1/12 文献下载
摘要：高速公路隧道人行通道智能报警装置，高速公路隧道的一侧成形有人行通道，所述高速隧道的侧壁上形成有门洞，人行通道与门洞连接，在人行通道内布设有检测提示组件，通过门洞的设置，便于疏散隧道内人员，通过在人行通道内设置检测提示组件，便于工作人员通过监控判断隧道内是否发生事故，从而便于快速对事故进行应急处理。
高速公路隧道通道智能报警装置

[实用新型]高速公路出入口感应预警装置-CN202122230254.0有效
发明人：周伟武;詹良志;马学挺;钟加晓;张鑫;杨昌贵;李士会;卢志晓;李浩 -专利权人：浙江台州甬台温高速公路有限公司
申请日： 2021-09-15 - 公布日： 2022-04-19 - 主分类号： G08G1/16 文献下载
摘要：高速公路出入口感应预警装置，所述高速公里包括主道路和停车区，停车区连接在主道路的一侧，包括停车区监控装置和主道路提示装置，停车区监控装置固定安装在停车区内，主道路提示装置固定安装在主道路的一侧，停车区监控装置包括感应器和发车提示器，感应器分别与发车提示器、主道路提示装置连接，通过发车提示器对停车区内的车辆进行提示，通过主道路提示装置对主道路上的车辆进行提示，实现双重提示，使管理车辆进出高速更加安全。
高速公路出入口感应预警装置

[实用新型]高速公路隧道紧急停车带自动警告装置-CN202122230287.5有效
发明人：金明龙;周伟武;赵玮;卢利宾;张光彩;张鑫;张路君;钟加晓;李士会;杨昌贵;李浩 -专利权人：浙江台州甬台温高速公路有限公司
申请日： 2021-09-15 - 公布日： 2022-04-15 - 主分类号： G08G1/14 文献下载
摘要：高速公路隧道紧急停车带自动警告装置，所述高速功率隧道包括主路面和停车带，停车带布设在主路面的一侧，主路面上安装有路面提示件，停车带内固定连接有声光提示组件和感应装置，感应装置分别与声光提示组件、路面提示件连接，通过感应装置对停车带内是否停放有车辆进行检测，并将检测结构通过路面提示件、声光提示组件进行显示，从而提示后方车辆，提高车辆驶入、驶出停车带的安全性。
高速公路隧道紧急车带自动警告装置

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