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[发明专利]电子束团注入系统和极紫外光源-CN202111443651.4在审
发明人：唐传祥;潘志龙;李任恺;张晓阳;黄鹏玮;黄文会;杜应超;施嘉儒;陈怀璧;邓秀杰;赵午 -专利权人：清华大学
申请日： 2021-11-30 - 公布日： 2023-06-02 - 主分类号： H05H7/00 文献下载
摘要：本公开的实施例涉及电子束团注入系统和极紫外(EUV)光源。该电子束团注入系统包括：光阴极电子枪、直线加速器和展束环。光阴极电子枪用于产生特定时间结构、特定电荷量的电子束团串，直线加速器用于对电子枪产生的电子束团串进行加速并保证其发射度在一定的范围内，展束环用于对多个电子束团进行展束，以形成长度至少为1ns的连续电子束团。该注入系统可以为一种加速器型的极紫外光源装置提供高流强的均匀电子源，从而实现kW量级的EUV平均输出功率。
电子束注入系统紫外光源

[发明专利]太赫兹辐射的产生系统及方法-CN202310137903.3在审
发明人：颜立新;唐传祥;梁一凡;刘卓辕;杜应超;田其立;李任恺 -专利权人：清华大学
申请日： 2023-02-06 - 公布日： 2023-05-16 - 主分类号： H01S1/00 文献下载
摘要：本申请涉及一种太赫兹辐射的产生系统及方法。其中光阴极电子枪用于接收激光脉冲串并产生电子束；加速管用于将电子束加速至相对论能量；第一聚焦螺线管位于光阴极电子枪的出口处，用于提高电子束的电荷密度，第二聚焦螺线管环绕加速管，用于在电子束于加速管中加速时，调节电子束的电荷密度至目标电荷密度；束线管用于传输能量调制的电子束；色散节包括上半色散节与下半色散节，束线管自上半色散节与下半色散节之间穿过，用于在能量调制的电子束于束线管中传输时，将能量调制的电子束转换为密度调制的电子束；辐射装置用于接收密度调制的电子束，并通过密度调制的电子束产生太赫兹辐射。本系统可以工作在一般的直线加速器上，降低对加速器的需求。
赫兹辐射产生系统方法

[发明专利]基于电子直线加速的伽马射线源装置-CN202011587010.1有效
发明人：唐传祥;杜应超;黄文会;李任恺;颜立新;陈怀璧;施嘉儒;查皓;张鸿泽;陈寒 -专利权人：清华大学
申请日： 2020-12-29 - 公布日： 2023-03-24 - 主分类号： H05G2/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于电子直线加速的伽马射线源装置，包括沿电子束直线运动方向顺次布置的：S或C波段光阴极电子枪，用于产生并发射电子束；S或C波段聚束腔，用于压缩所经过的电子束的束长；S或C波段加速管，用于冻结所经过的电子束的束长和发射度；X波段加速管组，用于加速所经过的电子束；四极透镜组，用于聚焦所经过的电子束；作用室，用于将进入其中的散射激光和电子束进行逆康普顿散射以产生伽马射线。本发明的基于电子直线加速的伽马射线源装置，实现了伽马射线源的小型化，缩减了空间占用，并且所产生的伽马射线具有大范围、准单能的特点，从而满足了多种场景中的灵活应用，可满足乏燃料的检测和物品安检等方面的需求。
基于电子直线加速伽马射线装置

[发明专利]电子透镜球差调节装置、电子透镜装置和电子显微镜系统-CN202110405488.6有效
发明人： 李任恺;黄鹏玮;查皓;杜应超;黄文会;陈怀璧;唐传祥 -专利权人：清华大学
申请日： 2021-04-15 - 公布日： 2022-09-23 - 主分类号： H01J37/141 文献下载
摘要：本发明公开了一种电子透镜球差调节装置、电子透镜装置和电子显微镜系统，主要包括：微波腔组，与电子透镜共同设置于电子束的传播方向上；微波功率源，连接于微波腔组，为微波腔组提供能量。本发明利用由微波功率源提供能量的微波腔组对入射电子束进行球差控制，进而在电子束经过微波腔组和电子透镜后，微波腔组对电子束所产生的负球差与电子透镜对电子束所产生的正球差相抵消，从而当电子束通过整个电子透镜装置或整个电子显微镜系统后便能够减小甚至消除由电子透镜所产生的球差，提高了电子显微镜空间分辨率。另外，本发明在电子束路径上的设备器件占用空间更小、重量更轻，有利于电子透镜装置和电子显微镜系统的装配和调节以及降低设备成本。
电子透镜调节装置电子显微镜系统

[发明专利]一种电子成像探测器及其制备方法和电子显微成像系统-CN202010483963.7有效
发明人：邓智;李任恺;魏桐 -专利权人：清华大学
申请日： 2020-06-01 - 公布日： 2022-03-29 - 主分类号： H01L31/028 文献下载
摘要：本发明公开了一种电子成像探测器及其制备方法，以及采用该电子成像探测器的电子显微成像系统。该电子成像探测器包括：探测器灵敏区，由金刚石材料构成，具有相对而设的第一表面和第二表面；平面电极，设置于第一表面；像素电极，设置于第二表面。本发明中，由于探测器灵敏区所采用的金刚石材料在室温下具有禁带宽度大、电阻率高、抗辐照性能强等特点，因此，不需要通过掺杂等工艺形成的PN结，降低了制备复杂程度。同时，由于金刚石材料的原子序数小、电子散射小，进而降低了电子成像探测器中电子的散射，提高了电子探测的位置分辨率，从而能够获得更加清晰的图像。
一种电子成像探测器及其制备方法显微系统

[发明专利]具有高重复频率微波电子枪的电子层叠成像系统-CN202110272263.8有效
发明人： 李任恺;杜应超;王翼安;李雪明;邓智;于荣;王宏伟;朱静 -专利权人：清华大学
申请日： 2021-03-12 - 公布日： 2022-03-25 - 主分类号： H01J37/22 文献下载
摘要：本发明涉及一种电子层叠成像系统，具有光阴极微波电子枪，该光阴极微波电子枪的光阴极表面的电子受驱动激光脉冲的激发而产生电子束团；磁透镜，所述磁透镜用于对所述电子束团进行横向调制；聚束腔，该聚束腔用于对所述电子束团进行纵向调制；样品室，该样品室用于放置待测样品，样品与所述样品室能够相对于运动以使所述电子束团在样品不同位置处成像；探测装置，该探测装置用于探测与所述样品室内放置的样品作用后的成像电子束获得成像信息；图像重建装置，该图像重建装置用于根据所述探测装置获得的成像信息对样品进行图像重建。
具有重复频率微波电子枪电子层叠成像系统

[发明专利]光阴极微波电子枪-CN202010664695.9有效
发明人： 李任恺;黄鹏玮;杜应超;郑连敏;唐传祥;黄文会;陈怀璧;施嘉儒 -专利权人：清华大学
申请日： 2020-07-10 - 公布日： 2021-05-14 - 主分类号： H01J3/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种光阴极微波电子枪，该光阴极微波电子枪包括：若干加速腔，所述加速腔沿轴线相互连通；光阴极，所述光阴极布置在所述加速腔的轴线上；波导管(102)，所述波导管(102)与所述加速腔相连通；阴极盘(121)，所述阴极盘(121)的盘面中心容纳所述光阴极，所述阴极盘(121)的围绕盘面中心的位置处设有若干真空通道(123)，每个所述真空通道(123)连通所述阴极盘(121)的盘面两侧；以及真空腔(131)，所述真空腔(131)和所述加速腔分别连接所述阴极盘(121)的盘面两侧，通过所述阴极盘(121)上的所述真空通道(123)相互连通。
阴极微波电子枪

[发明专利]核素检测装置和核素检测方法-CN202011586938.8在审
发明人：唐传祥;杜应超;张鸿泽;黄文会;李任恺;陈怀璧 -专利权人：清华大学
申请日： 2020-12-29 - 公布日： 2021-05-07 - 主分类号： G01T1/16 文献下载
摘要：本发明公开了一种核素检测装置和核素检测方法，该装置包括：逆康普顿散射伽马射线源，用于产生单色、双色或多色伽马射线；第一屏蔽体，开设有供伽马射线穿过的第一开孔；第二屏蔽体，开设有供伽马射线穿过第二开孔，被检测样品位于第一开孔和第二开孔之间，伽马射线从第一屏蔽体远离被检测样品的一侧沿第一开孔的轴线经由第一开孔照射于被检测样品；检测片，位于第二屏蔽体远离被检测样品的一侧，以接收经过第二开孔的伽马射线；探测器，位于第二屏蔽体和检测片之间，以接收检测片所产生核共振荧光光子。采用本发明技术方案一方面无需直接接触被检测样品，另一方面利用双色或多色伽马射线提升了检测效率，实现了对被测样品的高效间接无损检测。
核素检测装置方法

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