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[发明专利]碳纳米管的制造装置和制造方法-CN202080054471.4有效
发明人：野田优;并木克也;张子豪;大沢利男;杉目恒志 -专利权人：学校法人早稻田大学;株式会社名城毫微碳
申请日： 2020-07-27 - 公布日： 2023-06-30 - 主分类号： C01B32/162 文献下载
摘要：本发明提供一种碳纳米管的制造装置和制造方法。所述碳纳米管的制造装置以及制造方法能够在浮游催化剂化学气相沉积(FCCVD)法中实现催化剂原料的高温加热，且能够提高被合成的碳纳米管的品质和产量。碳纳米管的制造装置1包含：用于合成碳纳米管的合成炉2、将用于合成碳纳米管的催化剂原料供给至合成炉2的催化剂原料供给喷嘴3、以及能够将催化剂原料供给喷嘴3的内腔部4的温度设定为比合成炉2的反应场5的温度高的喷嘴温度调整单元6。通过将催化剂原料加热至催化剂金属不凝缩的温度，且将已被分解的催化剂原料供给至合成炉2，并且将已被分解的催化剂原料在合成炉2内迅速地冷却至CVD温度，能够在反应场5的空间中高密度地生成微小的催化剂金属粒子，从而能够以高密度使小直径的碳纳米管气相沉积。
纳米制造装置方法

[发明专利]碳-金属结构体以及碳-金属结构体的制造方法-CN201980070030.0在审
发明人：野田优;北川纱映;安井浩太郎;杉目恒志;高桥大造;锦织祐市;越智隼人;高桥怜那;深井利真 -专利权人：学校法人早稻田大学;株式会社明电舍
申请日： 2019-10-21 - 公布日： 2021-06-08 - 主分类号： H01J35/06 文献下载
摘要：一种在金属基座(4)上具备碳纳米管层(2)(是CNT层2。下同。)的CNT器件(1)(碳‑金属构造体)。将金属基座(4)经由焊料层(3)钎焊于CNT层(2)。在制造CNT器件(1)时，首先在耐热凹凸衬底(6)形成CNT层(2)。接着，将金属基座(4)经由焊料层(3)钎焊于耐热凹凸衬底(6)上的CNT层(2)。随后，自耐热凹凸衬底(6)剥离金属基座(4)(以及CNT层2)，将CNT层(2)自耐热凹凸衬底(6)转印于金属基座(4)。
金属结构以及制造方法

[发明专利]碳纳米管和氢的同时制造方法以及碳纳米管和氢的同时制造装置-CN201080039891.1无效
发明人：野田优;金东荣;大泽利男;杉目恒志;长谷川馨;羽场英介 -专利权人：国立大学法人东京大学;日立化成工业株式会社
申请日： 2010-09-09 - 公布日： 2012-05-30 - 主分类号： C01B31/02 文献下载
摘要：本发明的碳纳米管和氢的同时制造方法，其特征在于，是使用含有碳原子和氢原子并且在加热状态下被分解的碳源、和用于由该碳源生成碳纳米管和H2的催化剂，在反应器中配置的加热状态的支承体上合成所述碳纳米管，同时从所述碳源合成所述H2的碳纳米管和氢的同时制造方法，具有如下合成工序：通过使含所述碳源的原料气体在担载有所述催化剂的所述支承体上流通，在所述支承体上合成所述碳纳米管，同时在气流中合成所述H2。
纳米同时制造方法以及装置

[发明专利]碳纳米管的制造方法及碳纳米管的制造装置-CN200980108102.2有效
发明人：野田优;杉目恒志;山口由岐夫;大泽利男;笕和宪;长谷川馨;金东荣 -专利权人：日立化成工业株式会社
申请日： 2009-03-06 - 公布日： 2011-01-26 - 主分类号： C01B31/02 文献下载
摘要：本发明提供一种碳纳米管的制造方法，其特征在于，使用含碳且在加热状态下分解的碳源和成为用于由该碳源生成碳纳米管的催化剂的催化剂，在配置于反应器中的加热状态的支撑体上合成所述碳纳米管，其中，具有：通过使成为所述催化剂的原料的催化剂原料在所述支撑体上流通，使所述支撑体上担载所述催化剂的催化剂担载工序；通过使所述碳源在所述支撑体上流通，在所述支撑体上合成所述碳纳米管的合成工序；通过使分离气体流在所述支撑体上流通，从所述支撑体分离所述碳纳米管的分离工序，在将所述支撑体保持在所述加热状态下，边切换所述催化剂原料、所述碳源、及所述分离气体流边进行所述催化剂担载工序、所述合成工序、及所述分离工序。
纳米制造方法装置

[发明专利]场致发射装置及其制造方法-CN200910132528.3无效
发明人：野田优;古市考次;白鸟洋介;辻佳子;杉目恒志 -专利权人：国立大学法人东京大学;大日本网屏制造株式会社
申请日： 2009-03-31 - 公布日： 2009-10-07 - 主分类号： H01J1/304 文献下载
摘要：本发明的目的是提供一种可有效使电场集中放出电子从而采用低驱动电压实现高发射电流密度的场致发射装置(101)，该装置具有：由导电体构成的阴极层(102)、在阴极层上配置的绝缘层(103)、绝缘层(103)上配置的由设置有狭缝(106)的导电体构成的栅极层(104)及发射极(105)，其中，绝缘层(103)设置有从该狭缝(106)至上述阴极层(102)中与该狭缝(106)相对向的对向区域(108)的空隙(107)，发射极(105)由在该对向区域(108)上配置的多根典型的单层～3层的细碳纳米管络合的具有荆棘状尖端的结构体构成。
发射装置及其制造方法