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专利名称

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申请人
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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]调节装置及控制所述调节装置的方法-CN202310430784.0在审
发明人：尹锺旭;徐章源;文寿泳;金京焕;权泰庆 -专利权人：恩普士(上海)国际贸易有限公司
申请日： 2023-04-20 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： B24B53/017 文献下载
摘要：本公开涉及一种调节装置，包括：喷射器，用于将蒸汽喷射到旋转的抛光垫上；以及喷射器支架，支撑所述喷射器。所述喷射器包括用于向所述抛光垫喷射所述蒸汽的多个喷嘴和用于加热多个所述喷嘴的喷嘴加热器。所述喷嘴加热器将多个所述喷嘴中对应于所述抛光垫的外围区域的喷嘴加热到比多个所述喷嘴中对应于所述抛光垫的中心区域的喷嘴更高的温度。
调节装置控制方法

[发明专利]用于制备抛光垫的树脂组合物混合装置及抛光垫制备方法-CN202210564015.5在审
发明人：李正男;尹晟勋;徐章源;权泰庆 -专利权人： SKC索密思株式会社
申请日： 2022-05-23 - 公布日： 2022-11-29 - 主分类号： B29C44/34 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于制备抛光垫的树脂组合物混合装置等，该用于制备抛光垫的树脂组合物混合装置包括：原料混合部，用于制备包括预聚物和发泡剂的混合原料，过滤单元，与上述原料混合部连接，对上述混合原料进行过滤，以及垫组合物形成部，与上述过滤单元连接，以制备包含过滤后的混合原料和固化剂的可固化混合物；上述原料混合部包括具有彼此不同的转速的多个旋转工具。
用于制备抛光树脂组合混合装置方法

[发明专利]防泄漏抛光垫及其制造方法-CN201811102874.2有效
发明人：尹晟勋;徐章源;权泰庆;安宰仁;尹钟旭;许惠映 -专利权人： SKC索密思株式会社
申请日： 2018-09-20 - 公布日： 2021-10-12 - 主分类号： B24B37/20 文献下载
摘要：实施方案涉及一种用于化学机械平坦化工艺并具有防泄漏效果的抛光垫及其制造方法。一实施方案提供一种抛光垫，其包括：具备第一通孔的抛光层；设置于所述抛光层下面的支撑层；以及设置于所述第一通孔中的窗户，并且包括选自第一压缩区域及第二压缩区域的一个以上的压缩区域，在所述第一压缩区域，所述支撑层设置在与所述窗户的外周边区域相对应的区域中，在所述第二压缩区域，所述支撑层设置在与所述窗户的内周边区域相对应的区域中。该抛光垫气密性优异，从而具有防止在化学机械平坦化工艺期间有可能发生的泄漏的效果。
泄漏抛光及其制造方法

[发明专利]抛光垫及其制备方法-CN201880006761.4在审
发明人：柳俊城;权泰庆;徐章源;尹晟勋 -专利权人： SKC株式会社
申请日： 2018-01-18 - 公布日： 2019-08-27 - 主分类号： B24D18/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种生产抛光垫的方法，该方法包括如下步骤：提供抛光层；形成穿透抛光层的第一通孔；提供面向抛光层的支撑层；在具有第一通孔的抛光层和支撑层之间插入粘接层，且通过该粘接层将抛光层和支撑层彼此粘接；以第一通孔为参考点，形成穿透粘接层在其设定区域上的第三通孔，以及形成穿透支撑层在其设定区域上的第二通孔；以及在第一通孔内部嵌入窗口。
通孔抛光层支撑层粘接层穿透抛光垫参考点粘接制备嵌入生产

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