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[发明专利]通过激光结晶设施实施的Mura量化系统以及Mura量化方法-CN201610371257.7有效
发明人： 朴宪旭;赵相熙;苏二彬;金贤中;梁相熙 -专利权人： AP系统股份有限公司
申请日： 2016-05-30 - 公布日： 2021-06-15 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明涉及Mura量化系统与方法，即，通过包括激光结晶装置的激光结晶设施实施的Mura量化系统，其中Mura量化装置设置在激光结晶设施中，使得基板通过激光结晶装置结晶，并且当结晶基板移动时利用紫外线源实时进行Mura量化，以及通过激光结晶设施的Mura量化方法。
通过激光结晶设施实施 mura 量化系统以及方法

[发明专利]激光处理设备以及使用所述激光处理设备的激光处理方法-CN201710285019.9有效
发明人： 朴宪旭;苏二彬;赵珉煐;池昊眞 -专利权人： AP系统股份有限公司
申请日： 2017-04-26 - 公布日： 2021-06-08 - 主分类号： B23K26/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种激光处理设备。所述激光处理设备包括：激光产生单元，其经配置以产生照射到用于处理的目标的激光束的振荡信号，且使多个激光束振荡；激光处理单元，其安置于由所述激光产生单元振荡的所述激光束的传播路径上，且经配置以处理所述激光束；以及激光观测单元，其在所述传播路径上连接到所述激光产生单元和所述激光处理单元中的至少一个以检测所述激光束的振荡且通过处理以及分析检测到的数据而确定所述激光产生单元的操作状态。本发明另提供一种使用所述激光处理设备的激光处理方法。本发明可以立即检测且校正激光振荡中的问题，且可以视需要改变用于多个激光的振荡方法，且因此可以增大激光处理工序的生产率。
激光处理设备以及使用方法

[发明专利]电力转换装置-CN201510037512.X有效
发明人： 朴宪旭;郑和;金成桓;李享度;梁相熙 -专利权人： AP系统股份有限公司
申请日： 2015-01-26 - 公布日： 2019-05-14 - 主分类号： H02M5/12 文献下载
摘要：本发明涉及一种电力转换装置，且更确切地说，涉及一种用于将在电力转换操作期间发生火灾的风险降至最低的电力转换装置。本发明的示例性实施例提供一种电力转换装置，电力转换装置接收引入到初级侧中的电力并且通过线圈的电磁感应转换电力的强度以将经转换电力供应到次级侧中，电力转换装置包含：第一温度传感器，第一温度传感器经配置以测量线圈的温度以产生第一测量温度；电力阻断开关，电力阻断开关经配置以将引入到初级侧中的外部电力传递到线圈，或阻止外部电力传递到线圈；以及电力线控制单元，电力线控制单元经配置以控制电力阻断开关以当第一测量温度高于或等于预设第一参考温度时阻止引入到初级侧中的电力传递到线圈。
电力转换装置

[发明专利]激光处理装置及其控制方法-CN201210559128.2有效
发明人： 朴宪旭;林基锡;金圣进;崔东奎 -专利权人： AP系统股份有限公司
申请日： 2012-12-20 - 公布日： 2013-06-26 - 主分类号： B23K26/00 文献下载
摘要：本文提供一种激光处理装置及其控制方法，其能够仅对衬底的待进行激光处理的部分选择性地进行激光处理，并且能够防止气体存留在衬底与平台之间直到衬底放置在平台上。该激光处理装置包括：平台，其被放置在反应室内且在该平台上放置衬底；真空单元，被提供给平台以将氧气从位于衬底与平台之间的空间排放到反应室的外部；以及控制器，当衬底放置在平台上时，其将操作信号发送到真空单元，使得从平台的中心部向其外围依序执行氧气排放操作。
激光处理装置及其控制方法

[发明专利]具有激光束分析器的激光加工装置-CN201010592908.8有效
发明人：柳孝京;金贤中;朴宪旭;郑和 -专利权人： AP系统股份有限公司
申请日： 2010-12-16 - 公布日： 2011-06-22 - 主分类号： B23K26/00 文献下载
摘要：本发明提供一种激光加工装置，其特征在于：包括把长度与电路板41对齐的线状激光21照射到上述电路板41的激光照射装置20；放置上述电路板41，可按上述激光21的长度方向水平移动的电路板支撑台40；与上述激光21线条相向地设置在上述电路板支撑台40边缘部位，上述电路板支撑台40水平移动时，与之一起移动，对上述激光21的长度方向上的强度分布的光束分析器130。本发明通过对线状照射的激光检测其长度方向上的光束分布，可以提高激光长度方向上的热处理均匀程度，而且在与电路板高度相同的高度直接检测光束分布，可以得到更准确的激光束分布。
具有激光束分析器激光加工装置