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[发明专利]一种超润湿缓冲氧化物蚀刻液、其制备方法与用途-CN202310760835.6在审
发明人：侯军;赵晓莹;武文东;孙昊然;曲延琦 -专利权人：浙江奥首材料科技有限公司
申请日： 2023-06-27 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： C09K13/08 文献下载
摘要：本发明涉及一种超润湿缓冲氧化物蚀刻液，按照重量份计算，包括如下组分：49％的氢氟酸2‑30份；40％的氟化铵5‑50份；复合功能剂0.1‑10份；去离子水10‑60份。复合功能剂是由醚类化合物和胺类化合物复配得到。本发明还公开了该蚀刻液的制备方法以及使用方法。本发明的复合功能剂中胺类化合物具有胺基特性，可与氟离子发生反应，从而更好地分散在体系中；酚醚中的羟基和醚键，可与水分子形成氢键，使得蚀刻液体系中各组分分子结合更紧密，溶液更稳定。本发明的蚀刻液具有低表面张力、高铺展性能的优势，因其组分的高分散性能，避免了制备工艺因长时间搅拌带来的蚀刻液有效组分挥发的问题，可以广泛应用于二氧化硅薄膜蚀刻领域。
一种润湿缓冲氧化物蚀刻制备方法用途

[发明专利]一种用于纳米尺寸氧化硅层的蚀刻液及其制备方法-CN202310761188.0在审
发明人：侯军;赵晓莹;武文东;孙昊然;曲延琦 -专利权人：浙江奥首材料科技有限公司
申请日： 2023-06-27 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： C09K13/08 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于纳米尺寸氧化硅层的蚀刻液，按照重量份计算包括如下组分：49％的氢氟酸5‑30份；40％的氟化铵5‑50份；复合改性剂0.5‑10份；润湿流平剂0.1‑1份；去离子水20‑60份。复合改性剂是阴阳离子表面活性剂的复配物；润湿流平剂为氟改性有机硅聚合物。同时本发明提供了利用上述蚀刻液对二氧化硅结构片进行蚀刻的方法。本发明采用复合改性剂不仅可以提高表面活性，降低表面张力，还可以提高各组分在基材表面的吸附量，表面吸附层分子排列更加紧密。复合改性剂和润湿流平剂一方面可以使溶液体系表面张力降低；另一方面可以使蚀刻角度减小，孔结构可控。同时氟的引入可显著降低蚀刻液的表面张力，提高对基材的润湿性，整体复合了流平、润湿和消泡功能。
一种用于纳米尺寸氧化蚀刻及其制备方法

[发明专利]一种LED粗化液，其制备方法与应用-CN202310780436.6在审
发明人：侯军;田继升;武文东;曲延琦;孙昊然 -专利权人：浙江奥首材料科技有限公司
申请日： 2023-06-29 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： C09K13/08 文献下载
摘要：本发明提供一种LED粗化液，其制备方法与应用，所述LED粗化液包括重量配比如下的各组分：无机酸10‑20份；有机酸10‑20份；烷基盐类化合物0.01‑0.1份；铵盐20‑40份；超纯水20‑60份。所述烷基盐类化合物为烷基溴化铵和/或烷基磺酸钠。本发明还公开了LED粗化液的制备方法。本发明LED粗化液具有粗化颗粒细密、LED表面粗化均匀的特性，能应用于Mini/Micro‑LED领域，能够有效增加红黄光Mini/Micro‑LED的外量子效率，提高提亮比，解决由于折射率过大而造成的AlGaInP外延发光效率低的问题。解决了现有技术中技术问题。
一种 led 粗化液制备方法应用

[发明专利]蚀刻液组合物、蚀刻液及其制备方法-CN202211689609.5在审
发明人：武文东;侯军;赵晓莹;曲延琦;田继升 -专利权人：浙江奥首材料科技有限公司
申请日： 2022-12-27 - 公布日： 2023-04-28 - 主分类号： C09K13/08 文献下载
摘要：本发明提供一种蚀刻液组合物、蚀刻液及其制备方法。蚀刻液组合物包括混合酸剂、含氟化合物、不饱和烃化合物、表面活性剂以及溶剂；其中，所述混合酸剂包含有氢氟酸；所述不饱和烃化合物为含有氨基、酰胺基或亚氨基中的至少一种的不饱和烃化合物；所述表面活性剂包含有磷酸酯类表面活性剂。本发明的蚀刻液组合物在用于去除晶圆表面氧化层时速度快，选择性高，均一性优异。并且，本发明的蚀刻液组合物对后续的清洗工艺无特殊要求，仅需纯水冲洗即可清除残留，操作工艺简单。
蚀刻组合及其制备方法

[发明专利]一种温和条件下制备异丙嗪金属盐的方法-CN201810460647.0在审
发明人：张鹏;曲延琦;郭放 -专利权人：辽宁大学
申请日： 2018-05-15 - 公布日： 2018-09-07 - 主分类号： C07D279/26 文献下载
摘要：本发明公开一种温和条件下制备异丙嗪金属盐的方法。以盐酸异丙嗪和金属氯化物为原料，在常温条件下，利用一步固态研磨法和溶剂挥发制得相应的金属氢键盐。本发明采用药物分子盐酸异丙嗪和氯化锌、氯化钴等金属化合物，经固态合成和溶剂挥发法，即可制得相应的异丙嗪金属盐。该方法选用异丙嗪作为配体通过与金属氯化物成盐作用得到新型药物分子金属盐，由于同时拥有药物分子异丙嗪和金属离子，对细菌病毒等微生物具有潜在抑制作用，具备抗菌，抗病毒等特性；可以影响人体中的某些生理活动，从而达到治疗某些疾病的目的，是具有一定应用价值的特殊功能材料。
异丙嗪金属盐金属氯化物盐酸异丙嗪温和条件药物分子制备金属化合物溶剂挥发法常温条件成盐作用分子金属功能材料固态合成金属离子溶剂挥发生理活动细菌病毒新型药物影响人体金属氢抗病毒氯化锌氯化钴研磨法抗菌配体微生物疾病治疗应用