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[实用新型]一种晶圆吸附载台-CN202122949520.5有效
发明人：刘钦源;郑少宇 -专利权人： 普雷赛斯（苏州）智能科技有限公司
申请日： 2021-11-29 - 公布日： 2023-05-26 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种晶圆吸附载台，包括：载板；至少两个同心设置的第一定位槽，位于所述载板上，以容置并定位不同尺寸的晶圆；至少两个真空腔，位于所述载板上，且与所述第一定位槽背向设置，所述真空腔与所述第一定位槽一一对应，所述真空腔设有贯通至所述第一定位槽的槽底的吸附孔；其中，所述载板上设有多个真空通道，多个所述真空通道分别与不同的所述真空腔相连通。本实用新型设有多个定位槽，以兼容多种晶圆，且可根据需要控制不同定位槽上的吸附孔产生或取消吸附力，以避免吸附孔处于空置状态，节约载台作业时的能耗。
一种吸附

[实用新型]一种晶圆移动平台及具有其的测量设备-CN202123036611.6有效
发明人：刘钦源;郑少宇 -专利权人： 普雷赛斯（苏州）智能科技有限公司
申请日： 2021-12-06 - 公布日： 2023-05-09 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种晶圆移动平台及具有其的测量设备，包括：底板；X轴滑动板，设于所述底板上；Y轴滑动板，设于所述X轴滑动板上；第一滑动机构，连接在所述底板和所述X轴滑动板之间，以驱使所述X轴滑动板的第一伸出侧沿着X轴方向滑出所述底板；以及第二滑动机构，连接在所述X轴滑动板和所述Y轴滑动板之间，以驱使所述Y轴滑动板的第二伸出侧沿着Y轴方向滑出所述X轴滑动板；其中，所述Y轴滑动板与所述第一伸出侧相对的一侧设有第一加重件，所述X轴滑动板与所述第二伸出侧相对的一侧设有第二加重件。本实用新型能够提高移动平台在移动过程中的稳定性，进而保证晶圆待测端面始终保持一致的角度，确保晶圆测量的准确性。
一种移动平台具有测量设备

[实用新型]晶圆卡塞盒载具定位机构-CN202223365930.6有效
发明人：刘钦源;雷剑锋;郑少宇 -专利权人： 普雷赛斯（苏州）智能科技有限公司
申请日： 2022-12-15 - 公布日： 2023-05-02 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本实用新型涉及晶圆加工技术领域，涉及一种晶圆卡塞盒载具定位机构。本实用新型通过定位组件对卡塞盒顶部进行定位，压料组件将卡塞盒压紧在定位组件上，以此完成卡塞盒的周向和竖直方向定位，保证卡塞盒取放晶圆时的稳定性，支撑板上支撑槽与固定凹槽同步对卡塞盒上的晶圆进行平稳支撑，有效防止晶圆的移动，又可避免磨损晶圆的边缘，可保证晶圆在运输和取放料过程中的安全。
晶圆卡塞盒载具定位机构

[实用新型]晶圆取放牙叉机构-CN202223513875.0有效
发明人：刘钦源;雷剑锋;郑少宇 -专利权人： 普雷赛斯（苏州）智能科技有限公司
申请日： 2022-12-28 - 公布日： 2023-05-02 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本实用新型涉及半导体晶圆制造领域，涉及一种晶圆取放牙叉机构。本实用新型的驱动组件带动安装座上的搬运架运动，用以带动两搬运板对晶圆进行取料后，在驱动组件的驱动下将取料后的晶圆搬运至定位台上进行检测，保证晶圆生产质量，实现晶圆检测的自动化取放料，晶圆的取放流程更加稳定，极大的降低了作业人员工作量，而且避免了存取过程中由于人为因素造成的晶圆损坏；驱动组件可以保证晶圆在取放过程始终处于同一个水平面的高度，避免晃动造成冲击从而使得晶圆跌落。
晶圆取放牙叉机构

[实用新型]晶圆寻边结构及具有其的检测设备-CN202223513876.5有效
发明人：刘钦源;雷剑锋;郑少宇 -专利权人： 普雷赛斯（苏州）智能科技有限公司
申请日： 2022-12-28 - 公布日： 2023-05-02 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本实用新型涉及半导体加工技术领域，涉及一种晶圆寻边结构及具有其的检测设备。本实用新型通过视觉机构对旋转治具上的晶圆进行位姿检测后，旋转组件带动旋转治具上的晶圆转动以调整晶圆的位姿，能够对晶圆片进行定位整形并寻边，旋转组件带动晶圆转动可使得晶圆旋转至指定位置，从而保证后续加工的精度，提高产品质量，旋转治具上设置的真空吸附部件可增加晶圆旋转时的稳定性，提高定位寻边效果，降低晶圆碎裂的可能。
晶圆寻边结构具有检测设备

[发明专利]一种基于面阵测量的等效光路系统、扫描仪及测量设备-CN202111428958.7在审
发明人：刘钦源;郑少宇 -专利权人： 普雷赛斯（苏州）智能科技有限公司
申请日： 2021-11-29 - 公布日： 2023-03-07 - 主分类号： G01B11/00 文献下载
摘要：一种基于面阵测量的等效光路系统、扫描仪及测量设备，包括：探头；分光镜，经所述探头射出的光可由所述分光镜分成两束；以及多个反射镜，其中一束由所述分光镜分出的光可经多个所述反射镜反射后射回所述探头，以形成参考光路，其中另一束由所述分光镜分出的光可射向待测物，并由所述待测物反射回所述探头，以形成测量光路；其中，多个所述反射镜中的至少部分在垂直所述探头射光方向上的位置可调，以调节所述参考光路的光程。本发明能够消除参考镜与待测物之间的距离限制，从而便于试验与调试，以及减小整体测量空间。
一种基于测量等效系统扫描仪设备

[实用新型]一种晶圆智能量测载台-CN202122175095.9有效
发明人：刘钦源 -专利权人： 普雷赛斯（苏州）智能科技有限公司
申请日： 2021-09-09 - 公布日： 2022-04-01 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本实用新型提供一种晶圆智能量测载台，包括：载台主体，用于承载晶圆；定位机构，包括安装盘、至少两个转动连接在所述安装盘上的抵持组件以及活动安装在所述安装盘上并与所述抵持组件相对应的至少两个传动组件，所述抵持组件围设在所述载台主体的外周；其中，所述传动组件可推动所述抵持组件转向所述载台主体的中心。本实用新型中的载台主体由于未设置槽状定位结构，从而便于晶圆的放置，且通过设置可转动的抵持组件和推动抵持组件转动的传动组件，当晶圆放置在载台主体上后，传动组件可推动抵持组件转向载台主体的中心，从而实现晶圆的固定和定位，进而提高量测精度。
一种智能量测载台

[发明专利]一种在面阵测量方式中的多平面拼接数据处理方法-CN202110999037.X在审
发明人：刘钦源;郑少宇;雷剑锋 -专利权人： 普雷赛斯（苏州）智能科技有限公司
申请日： 2021-08-28 - 公布日： 2021-12-31 - 主分类号： G06T3/40 文献下载
摘要：本发明公开了一种在面阵测量方式中的多平面拼接数据处理方法，包括：获取晶圆在不同位置下量测的量测数据；通过对各个位置的量测数据进行分离获取晶圆数据和背景数据；通过对各个位置的晶圆数据进行质心算法运算获取在各自坐标系下的晶圆质心坐标；以任一位置下晶圆数据的坐标系为基准，获得坐标系间的平移表达式以及平移后的其余位置在基准的坐标系下的晶圆数据和坐标系间的旋转角度；基于平移表达式和旋转角度将其余位置的量测数据转移到所述基准的坐标系下并与所述基准的量测数据合并得到所述基准位置拼接后的量测数据；本发明能够有效的将所有位置的量测数合并到一起，从而提升使用面阵测量方式对晶圆量测的精度。
一种测量方式中的平面拼接数据处理方法

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