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专利名称

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申请人
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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[实用新型]机械臂模块-CN202220260638.9有效
发明人：王敏敏;吴智翔;刘鹏;施龚伟 -专利权人：上海华力微电子有限公司
申请日： 2022-02-07 - 公布日： 2022-06-28 - 主分类号： B25J13/08 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种机械臂模块，其包括：侦测组件和基体组件；所述基体组件具有横向连接杆和竖向连接杆，所述横向连接杆围绕所述竖向连接杆的轴线可转动地与所述竖向连接杆连接；所述侦测组件包括光电单元和反射件，所述反射件设置于所述横向连接杆上；所述光电单元包括发射端和接收端，所述发射端用于发出光线；所述接收端用于接收经所述反射件反射后的所述光线；所述侦测组件还包括逻辑组件，所述逻辑组件与所述光电单元通信连接，所述逻辑组件被配置为，根据所述接收端是否接收到所述光线，确定所述机械臂模块的偏移情况。如此配置，使得机械臂模块能够在竖向连接杆仍在侦测范围内的情况下，确认横向连接杆的偏移情况。
机械模块

[实用新型]一种氮气水发生装置-CN202123457224.X有效
发明人： 施龚伟;吴智翔;刘鹏;张弢 -专利权人：上海华力微电子有限公司
申请日： 2021-12-30 - 公布日： 2022-06-28 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种氮气水发生装置，包括产水单元、排液单元、检测单元和氮气吹扫单元。其中，产水单元用于产生氮气水。排液单元包括一排液管，与产水单元的底端相连。检测单元设置于排液管的外壁，用于检测排液管的内壁的氮气水。氮气吹扫单元用于吹扫排液管的内壁，以清除排液管的内壁残留的氮气水。在本实用新型中，在排液管完成排液后，通过氮气吹扫单元吹扫排液管的内壁，以清除排液管的内壁残留的氮气水，如此，可以减少检测单元产生误检测，进而减少人工介入的次数，减少晶圆清洗设备的宕机时间，提高晶圆清洗的效率。
一种氮气水发装置

[实用新型]一种晶圆检测装置及半导体设备-CN202123436186.X有效
发明人：金春锋;施龚伟;刘鹏 -专利权人：上海华力微电子有限公司
申请日： 2021-12-30 - 公布日： 2022-06-14 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种晶圆检测装置及半导体设备。晶圆检测装置包括至少一组检测组件，每组所述检测组件包括相对设置的发射装置和接收装置，所述发射装置用于从晶圆放置区域的下方发射光束，所述接收装置用于从晶圆放置区域的上方接收所述光束，并根据是否接收到光束判断出所述晶圆放置区域内是否放置有晶圆。本实用新型通过设置发射装置从晶圆放置区域的下方发射光束，即使发出的光束照射在晶圆的背面，以减小晶圆对光束的影响，从而有效降低误检频率，提高检测的精确性。
一种检测装置半导体设备

[实用新型]喷管卡盘模块-CN202220097836.8有效
发明人：田青利;吴智翔;刘鹏;施龚伟 -专利权人：上海华力微电子有限公司
申请日： 2022-01-14 - 公布日： 2022-06-14 - 主分类号： F16M11/04 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种喷管卡盘模块，其包括：喷管组件以及卡盘组件；所述喷管组件包括接头件、固定件和柔性管件，所述接头件可拆卸地与所述柔性管件连接；所述卡盘组件包括卡盘，所述卡盘具有第一通孔，所述接头件可活动地穿设在所述第一通孔中，且所述接头件通过所述固定件可拆卸地与所述卡盘连接。由此，当需要对装置进行更换时，只需要将接头件与柔性管件分离，再将固定件与接头件从卡盘的通孔中取出即可，降低了更换难度的同时，也减少了更换步骤，缩短了更换时间。
喷管卡盘模块

[实用新型]保护装置及单片机清洗机台-CN201921576377.6有效
发明人： 施龚伟;张弢;刘鹏 -专利权人：上海华力微电子有限公司
申请日： 2019-09-20 - 公布日： 2020-11-27 - 主分类号： B08B13/00 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种保护装置，用于保护陶瓷片，包括：呈马蹄形的卡座，所述卡座卡在所述陶瓷片的侧面。本实用新型还提供了一种单片机清洗机台，包括：基座、位于在所述基座上的保护装置，所述保护装置设置在所述陶瓷片的侧面，以及位于所述陶瓷片上的夹头销。在本实用新型实施例提供的保护装置及单片机清洗机台中，使用马蹄形的卡座作为保护装置，可以在更换夹头销的时候保护陶瓷片不被损坏，节约更换陶瓷片的人力和财力。
保护装置单片机清洗机台

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