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专利名称

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申请人
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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]周边啮合电极载架以及包含所述载架的总成-CN200980125831.9有效
发明人：杰森·奥古斯蒂诺;阿芒·阿沃扬;方言;杜安·奥特卡;石洪;斯特芬·惠藤 -专利权人：朗姆研究公司
申请日： 2009-06-26 - 公布日： 2011-05-25 - 主分类号： H05H1/34 文献下载
摘要：根据本公开的一种实施方式，提供了一种包含多部件电极和周边啮合电极载架的总成。所述周边啮合电极载架包含托架和多个往复电极支座。所述多部件电极位于所述托架的所述电极安装孔里。所述电极的所述垫板包含多个形成于其周边的安装凹口。所述往复电极支座可以往复进出所述安装凹口。范围较宽和较窄的其它实施方式是可以预料的。
周边啮合电极以及包含述载架总成

[发明专利]整修多部件电极的方法-CN200980125834.2有效
发明人：阿芒·阿沃扬;方言;杜安·奥特卡;石洪;斯特芬·惠藤 -专利权人：朗姆研究公司
申请日： 2009-06-23 - 公布日： 2011-05-25 - 主分类号： H05H1/34 文献下载
摘要：本发明提供了一种整修多部件电极的方法，所述多部件电极包含连接在导电垫板上的硅电极。所述方法包括：(i)去除多部件电极上的金属离子，所用方法为将多部件电极在基本上无醇的并且包含硫酸、过氧化氢和水的磷酸氢二钠(DSP)溶液中浸泡，接着用去离子水清洗所述多部件电极；(ii)去除所述多部件电极上的金属离子后，将所述多部件电极抛光；并且(iii)去除所述多部件电极硅表面的杂质，所用方法为用包含氢氟酸、硝酸、醋酸和水的混合酸溶液处理所述已抛光的多部件电极，接着用去离子水清洗所述经处理的多部件电极。范围更宽和更窄的其它实施方式是可以预料的。
整修部件电极方法

[发明专利]背面安装电极载架和结合该载架的组件-CN200980126144.9有效
发明人：杰森·奥古斯蒂诺;阿芒·阿沃扬;方言;杜安·奥特卡;石洪;斯特芬·惠藤 -专利权人：朗姆研究公司
申请日： 2009-06-26 - 公布日： 2011-05-25 - 主分类号： H05H1/38 文献下载
摘要：提供一种载架组件，包括背面安装电极载架和电极安装硬件。该背面安装电极载架包括电极容纳孔，其转而包括构造为限制设在该孔中的电极的横向移动的侧壁结构。该电极容纳孔进一步包括一个或多个侧壁突出部，其支撑设在该孔中的电极的重量。该电极安装硬件构造为从该载架的背面啮合设在该电极容纳孔中的电极，并且促使该电极抵靠该侧壁突出部以便限制在该电极容纳孔中的电极的轴向移动。还考虑范围更广和更窄的额外实施方式。
背面安装电极结合组件

[发明专利]粘合的硅电极的清洁-CN200880010263.3有效
发明人：杜安·奥特卡;杰森·奥古斯蒂诺;阿芒·阿沃扬;斯特芬·惠藤;洪·希赫;方言 -专利权人：朗姆研究公司
申请日： 2008-03-27 - 公布日： 2010-02-10 - 主分类号： H01L21/306 文献下载
摘要：清洁等离子体处理室元件的方法，包括用清洁溶液接触该硅表面，同时避免该清洁溶液对该元件的其他表面或区域造成的损害。一种待清洁的示例性等离子体处理室元件是弹性体粘合电极组件，其具有暴露于等离子体的硅表面的硅构件、支撑构件和该硅表面和该支撑构件之间的粘合材料。
粘合电极清洁

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