专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]半导体装置-CN201911081130.1有效
  • 斋藤顺;山下侑佑;浦上泰 - 株式会社电装
  • 2019-11-07 - 2023-10-20 - H01L29/78
  • 半导体装置具备:半导体基板;覆盖半导体基板的上表面的一部分的绝缘膜;隔着绝缘膜而与半导体基板的上表面对向的栅电极。在半导体基板,通过体层而向上表面延伸的漂移层隔着绝缘膜而与栅电极对向。绝缘膜从半导体基板的上表面通过栅电极与上表面电极之间延伸至栅电极的上表面,在栅电极的上表面划定开口。在通过与栅电极对向的漂移层的对向面并与该对向面垂直的直线的集合即第一区域内,在栅电极的上表面不存在绝缘膜。
  • 半导体装置
  • [发明专利]半导体装置-CN202310189575.1在审
  • 登尾正人;新林智文;斋藤顺 - 株式会社电装;丰田自动车株式会社;未来瞻科技株式会社
  • 2023-03-02 - 2023-09-08 - H01L29/423
  • 半导体装置(1)具备衬底(10)、第1导电型的漂移层(12)、多个栅极电极(26)以及多个第2导电型的重复区域(40)。设穿过栅极电极(26)的排列方向上的栅极电极(26)的中心并且在衬底(10)的厚度方向上延伸的中心线为单元中心线(Oc),在栅极电极(26)的排列方向上,设相邻的单元中心线(Oc)彼此之间的距离为单元间距(Pc),设穿过栅极电极(26)的排列方向上的重复区域(40)的中心并且在衬底(10)的厚度方向上延伸的中心线为重复中心线(Or),在栅极电极(26)的排列方向上,设相邻的重复中心线(Or)彼此之间的距离为重复间距(Pr),单元间距(Pc)与重复间距(Pr)不同。
  • 半导体装置
  • [发明专利]用于制造半导体器件的方法-CN202010076372.8有效
  • 梶爱子;山之内义明;斋藤顺 - 株式会社电装
  • 2020-01-23 - 2023-08-11 - H01L21/336
  • 一种半导体器件的制造方法包括:在第一导电类型层(5、40、50)上方形成第二导电类型层(6、41、51);以及通过借助于等离子体蚀刻工艺蚀刻所述第二导电类型层以露出第一导电类型层而形成沟槽(11、43、53)。第二导电类型层的蚀刻包括:对等离子体的光发射执行光谱分析;基于发射强度的变化检测第一导电类型层和第二导电类型层之间的界面;以及在基于界面的检测结果确定终结点时,停止对第二导电类型层的蚀刻。
  • 用于制造半导体器件方法
  • [发明专利]半导体装置-CN202080023863.4有效
  • 浦上泰;斋藤顺;山下侑佑 - 株式会社电装
  • 2020-03-26 - 2023-08-04 - H01L21/28
  • 设单元部(1)中的在漂移层(12)与基体区域(13)的层叠方向上与保护膜(60)重叠的区域为第1单元部(1a),设与第1单元部(1a)不同的区域为第2单元部(1b),在第1单元部(1a)及第2单元部(1b)形成有栅极构造。并且,第1电极(20)中,设位于第1单元部(1a)的部位为第1部位(20a),设位于第2单元部(1b)的部位为第2部位(20b),设从半导体基板(10)的一面(100a)到第1电极(20)中的与一面(100a)相反侧的表面之间的长度为膜厚,第1部位(20a)具有膜厚比第2部位(20b)厚的部分。
  • 半导体装置
  • [发明专利]半导体器件及其制造方法-CN202211382957.8在审
  • 岩桥洋平;斋藤顺 - 株式会社电装;丰田自动车株式会社;未来瞻科技株式会社
  • 2022-11-07 - 2023-05-12 - H01L29/06
  • 在半导体器件中,在漂移层(19)中设置在沟道栅极结构的沟道(25)下方并与沟道分离的第一深层(15)在沿深度方向的杂质浓度浓度曲线中具有高浓度区(15a)和低浓度区(15b)。高浓度区具有杂质浓度最大的高浓度峰,并且包括在断开状态下不耗尽的区域。低浓度区(15b)比高浓度区更靠近高浓度层(11)设置,具有杂质浓度变化梯度小于预定值的区域,并且在断开状态下耗尽。在第一深层中最靠近基底层的第一位置(P1)和高浓度峰的第二位置(P2)之间的第一长度(L1)小于第二位置和在低浓度区中最靠近基底层的第三位置(P3)之间的第二长度(L2)。
  • 半导体器件及其制造方法
  • [发明专利]半导体装置及其制造方法-CN202211208581.9在审
  • 岩桥洋平;斋藤顺 - 株式会社电装;丰田自动车株式会社;未来瞻科技株式会社
  • 2022-09-30 - 2023-04-11 - H01L27/088
  • 本公开涉及一种半导体装置及其制造方法,在该半导体装置中,在沿深度方向上的杂质浓度的浓度分布中,在位于与栅极电极(27)的下端部相同深度处的部分和位于与栅极电极的上端部相同深度处的部分之间的位置处,基层(21)具有低浓度峰值。杂质区域(22)在第一峰值位置与第二峰值位置之间的位置处在深度方向上具有与基层的边界,在所述第一峰值位置处,在位于与下端部相同深度处的部分与低浓度峰的位置之间基层的杂质浓度最大,在所述第二峰值位置处,在低浓度峰值的位置与位于跟上端部分相同深度处的部分之间基层的杂质浓度最大。
  • 半导体装置及其制造方法
  • [发明专利]半导体装置-CN201980102660.1在审
  • 斋藤顺;片冈惠太;山下侑佑;渡边行彦;朽木克博;阴泳信 - 株式会社电装
  • 2019-12-03 - 2022-09-20 - H01L29/78
  • 一种半导体装置,外周区域具有p型的多个表面耐压区域和配置在比上述多个表面耐压区域靠下侧的p型的多个深部耐压区域。将内周侧表面耐压区域与外周侧表面耐压区域之间的间隔的宽度设为Ws(m),将上述内周侧表面耐压区域与上述外周侧表面耐压区域之间的表面间隔区域的n型杂质浓度设为Ns(m-3),将位于上述表面耐压区域与上述深部耐压区域之间的深度范围内的漂移区域的n型杂质浓度设为Nv(m-3),将上述内周侧表面耐压区域与特定深部耐压区域之间的间隔的宽度设为W v1(m),将上述外周侧表面耐压区域与特定深部耐压区域之间的间隔的宽度设为Wv2(m)时,满足Nv(Wv1+Wv2)2<Ns·Ws2的关系。
  • 半导体装置
  • [发明专利]开关元件-CN201980102398.0在审
  • 斋藤顺;阴泳信;片冈惠太;山下侑佑;渡边行彦;朽木克博 - 株式会社电装
  • 2019-11-22 - 2022-07-15 - H01L29/78
  • 开关元件具备设置有沟槽的半导体基板、栅极绝缘膜以及栅极电极。半导体基板具有源极区、体区、漂移区、第一电场缓和区以及连接区。漂移区在体区的下侧的沟槽的侧面及沟槽的底面与栅极绝缘膜相接。第一电场缓和区被配置于漂移区的内部,与沟槽的底面隔开间隔地被配置于沟槽的下部,沿着沟槽的底面延伸。连接区以到达第一电场缓和区的方式从体区向下侧突出,在从上方俯视时,在与沟槽交叉的方向上较长地延伸。在将连接区的介电常数设为ε(F/cm)、将连接区的临界电场强度设为Ec(V/cm)、将元电荷设为e(C)、将从上方俯视位于沟槽的下部的连接区时的p型杂质的面密度设为Q(cm‑2)时,满足Qε·Ec/e。
  • 开关元件
  • [发明专利]开关元件-CN201980101194.5在审
  • 斋藤顺;片冈惠太;山下侑佑;渡边行彦;朽木克博;浦上泰 - 株式会社电装
  • 2019-10-11 - 2022-05-27 - H01L29/78
  • 一种开关元件,具有沟槽型的多个栅极电极。半导体基板具有:n型的漂移区域,在各所述沟槽的底面以及侧面与栅极绝缘膜相接;p型的体区域,在所述漂移区域的上侧与所述栅极绝缘膜相接;p型的多个底部区域,配置于所述沟槽的正下方并且是从所述栅极绝缘膜离开的位置;以及p型的连接区域,将各所述底部区域与所述体区域连接。使相邻的所述底部区域之间的间隔耗尽化所需的耗尽层伸展距离的一半比使体区域与沟槽的下端之间的间隔耗尽化所需的耗尽层伸展距离以及使底部区域与沟槽的下端之间的间隔耗尽化所需的耗尽层伸展距离长。
  • 开关元件
  • [发明专利]半导体开关元件-CN201680082465.3有效
  • 斋藤顺;青井佐智子;浦上泰 - 丰田自动车株式会社;株式会社电装
  • 2016-12-26 - 2021-09-03 - H01L29/78
  • 提供了一种沟槽栅半导体开关元件。该元件的半导体衬底包括:第二导电类型的底部区,其在沟槽的底表面处与栅极绝缘层接触;以及第一导电类型的第二半导体区,其从与体区的下表面接触的位置延伸到与底部区的下表面接触的位置,并且在体区的下侧与栅极绝缘层接触。底部区包括:低浓度区,其在底表面之中的位于沟槽在纵向上的端部处的第一范围中与栅极绝缘层接触;以及高浓度区,其在底表面之中的与第一范围相邻的第二范围中与栅极绝缘层接触。
  • 半导体开关元件
  • [发明专利]半导体开关元件-CN201680082528.5有效
  • 斋藤顺;青井佐智子;浦上泰 - 丰田自动车株式会社;株式会社电装
  • 2016-12-26 - 2021-09-03 - H01L29/78
  • 提供了一种沟槽栅半导体开关元件。所述元件的半导体衬底包括:第二导电类型底部区,其与所述沟槽的底表面处的所述栅极绝缘层接触;以及第一导电类型第二半导体区,其从与所述体区的下表面接触的位置延伸到与所述底部区的下表面接触的位置。所述底部区包括:第一底部区,其与位于所述沟槽的纵向上的端部处的所述底表面的第一范围中的所述栅极绝缘层接触,并且从所述底表面延伸到第一位置;以及第二底部区,其与在邻近所述第一范围的第二范围中的所述栅极绝缘层接触,并且从所述底表面延伸到比所述第一位置更低的第二位置。
  • 半导体开关元件

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